電極82的內(nèi)螺紋821配合連接，從而將坩堝11固定在固定底臺(tái)7上。熱電偶9穿過(guò)通孔73后插入盲孔1123中，用于測(cè)量坩堝11底部的溫度。
[0039]圖6是圖1所示的電阻加熱裝置10與另一個(gè)坩堝15裝配后的正視圖。如圖6所示，坩堝15由不易成型的材質(zhì)制造的呈一端開(kāi)口的筒狀，電阻絲4套設(shè)在坩堝15的外側(cè)壁上，固定底臺(tái)7的內(nèi)表面74與坩堝15的底部相接觸，用于支撐坩堝15及其內(nèi)部的蒸發(fā)物料。
[0040]在本發(fā)明的另一種裝配方式中，電阻絲4緊密纏繞坩堝15，并將坩堝15支撐起來(lái)，使得坩堝15的底部靠近(即不接觸)固定底臺(tái)7的內(nèi)表面74，這樣可以根據(jù)實(shí)際需要調(diào)節(jié)蒸發(fā)源的安裝角度。
[0041]本發(fā)明的電阻加熱裝置10可以對(duì)不同的坩堝進(jìn)行固定并加熱，當(dāng)需要蒸發(fā)不同的蒸發(fā)物料時(shí)，只需要更換坩堝即可。例如，待坩堝冷卻后，沿一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)外電極81從而將內(nèi)電極51和外電極81分開(kāi)，同樣沿一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)外電極82從而將內(nèi)電極52和外電極82分開(kāi)。將原坩堝取出來(lái)，將新坩堝放置在固定底臺(tái)7的內(nèi)表面74上，再將電阻絲4套設(shè)在坩堝上，最后沿著相反方向旋轉(zhuǎn)外電極81使其和內(nèi)電極51可拆卸連接，且沿著相反方向旋轉(zhuǎn)外電極82使其和內(nèi)電極52可拆卸連接。因此本發(fā)明的電阻加熱裝置10增加了在鍍膜工藝中的應(yīng)用范圍，節(jié)約了成本。
[0042]圖7是本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例的電阻加熱式蒸發(fā)源的正視圖。電阻加熱式蒸發(fā)源100包括電阻加熱裝置10 (參見(jiàn)圖1-3)、熱屏蔽套2、熱屏蔽蓋I和位于熱屏蔽套2中的坩堝11或15 (參見(jiàn)圖5-6)。熱屏蔽套2呈兩端開(kāi)口的筒狀，熱屏蔽蓋I呈平板狀，熱屏蔽蓋I上具有通孔(圖7未示出)，該通孔用于將坩堝11或15內(nèi)的蒸發(fā)物料通向所需的位置。在熱屏蔽套2的軸向上，熱屏蔽蓋I與熱屏蔽套2的上端開(kāi)口相對(duì)齊且固定連接，同時(shí)固定底臺(tái)7與熱屏蔽套2的下端開(kāi)口相對(duì)齊且可拆卸連接(例如螺紋連接或螺栓連接)。其中電阻加熱裝置10中的內(nèi)電極51、52，電阻絲4和坩堝11或15位于熱屏蔽套2中，外電極81,82位于熱屏蔽套2的外部。本領(lǐng)域的技術(shù)人員可知，為了示出電阻加熱裝置10和熱屏蔽套2的連接關(guān)系，電阻加熱式蒸發(fā)源100并未示出其中的電源供應(yīng)裝置、溫度控制裝置和冷卻裝置，其結(jié)構(gòu)和連接關(guān)系為本領(lǐng)域技術(shù)人員公知，在此不再贅述。
[0043]圖8是本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施例的電阻加熱裝置20的剖視圖。其與圖3基本相同，區(qū)別在于內(nèi)電極51’和內(nèi)電極52 ’分別具有內(nèi)螺紋511’和521’，外電極81’、82 ’分別具有與內(nèi)螺紋511’和521，相配合連接的外螺紋811’和821’，外螺紋811’和821，分別可以穿過(guò)通孔71、72與內(nèi)螺紋511’和521’相配合連接。
[0044]圖9是本發(fā)明第三個(gè)實(shí)施例的電阻加熱裝置30的正視圖。其與圖1基本相同，區(qū)別在于，還包括坩堝容納筒14，坩堝容納桶14包括容納桶和固定底板，容納桶和坩堝筒111的形狀相同，固定底板和坩堝底板112的形狀相同，在此不再贅述，因此圖9和圖4完全相同。坩堝容納桶14可以是一體成型，從而具有最大的機(jī)械強(qiáng)度和最小的裂縫。本發(fā)明的坩堝容納桶14采用蒸發(fā)物料所允許的材料制造時(shí)，坩堝容納桶14即可以容納不同材質(zhì)、不同形狀的坩堝。還可以直接作為坩堝使用(此時(shí)可以裝較多的蒸發(fā)物料，延長(zhǎng)蒸發(fā)源的單次使用時(shí)間)。
[0045]在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，還可以采用圖8中的內(nèi)電極51’、52’和外電極81’、82’分別替換圖9中的內(nèi)電極51、52和外電極81、82。
[0046]在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，內(nèi)電極和相對(duì)應(yīng)的外電極還可以是通過(guò)螺栓在通孔71、72處連接。
[0047]雖然本發(fā)明已經(jīng)通過(guò)優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了描述，然而本發(fā)明并非局限于這里所描述的實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明范圍的情況下還包括所作出的各種改變以及變化。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種電阻加熱裝置，其特征在于，包括: 固定底臺(tái)，所述固定底臺(tái)具有相對(duì)設(shè)置的內(nèi)表面和外表面，所述固定底臺(tái)還具有貫穿所述內(nèi)表面和外表面的第一電極通孔和第二電極通孔； 位于所述內(nèi)表面一側(cè)的電阻絲； 與所述電阻絲的兩端分別電連接的第一內(nèi)電極和第二內(nèi)電極；以及 第一外電極和第二外電極，所述第一外電極與所述第一內(nèi)電極在所述第一電極通孔處可拆卸電連接，所述第二外電極與所述第二內(nèi)電極在所述第二電極通孔處可拆卸電連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電阻加熱裝置，其特征在于，所述固定底臺(tái)還具有貫穿所述內(nèi)表面和外表面的第三通孔，所述電阻加熱裝置還包括穿設(shè)在所述第三通孔中的熱電偶。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電阻加熱裝置，其特征在于，所述電阻加熱裝置還包括坩堝容納筒，所述坩堝容納筒包括: 容納筒，所述容納筒呈一端開(kāi)口的筒狀；以及 固定底板，所述固定底板具有分別與所述第一電極通孔和第二電極通孔對(duì)應(yīng)的第一底板通孔和第二底板通孔，所述固定底板通過(guò)所述第一內(nèi)電極、第一外電極、第二內(nèi)電極和第二外電極與所述固定底臺(tái)相連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電阻加熱裝置，其特征在于，所述第一內(nèi)電極和第一外電極中的其中一個(gè)穿過(guò)所述第一電極通孔和第一底板通孔與另一個(gè)可拆卸連接，所述第二內(nèi)電極和第二外電極中的其中一個(gè)穿過(guò)所述第二電極通孔和第二底板通孔與另一個(gè)可拆卸連接。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電阻加熱裝置，其特征在于，所述第一內(nèi)電極和第二內(nèi)電極分別具有第一外螺紋和第二外螺紋，所述第一外電極和第二外電極分別具有第一內(nèi)螺紋和第二內(nèi)螺紋，所述第一內(nèi)電極的第一外螺紋依次穿過(guò)所述第一底板通孔和第一電極通孔后與所述第一外電極的第一內(nèi)螺紋配合連接，所述第二內(nèi)電極的第二外螺紋依次穿過(guò)所述第二底板通孔和第二電極通孔后與所述第二外電極的第二內(nèi)螺紋配合連接。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電阻加熱裝置，其特征在于，所述第一外電極和第二外電極分別具有第一外螺紋和第二外螺紋，所述第一內(nèi)電極和第二內(nèi)電極分別具有第一內(nèi)螺紋和第二內(nèi)螺紋，所述第一外電極的第一外螺紋依次穿過(guò)所述第一電極通孔和第一底板通孔后與所述第一內(nèi)電極的第一內(nèi)螺紋配合連接，所述第二外電極的第二外螺紋依次穿過(guò)所述第二電極通孔和第二底板通孔后與所述第二內(nèi)電極的第二內(nèi)螺紋配合連接。7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電阻加熱裝置，其特征在于，所述第一內(nèi)電極和第一外電極中的其中一個(gè)穿過(guò)所述第一電極通孔與另一個(gè)可拆卸連接，所述第二內(nèi)電極和第二外電極中的其中一個(gè)穿過(guò)所述第二電極通孔與另一個(gè)可拆卸連接。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電阻加熱裝置，其特征在于，所述第一內(nèi)電極和第二內(nèi)電極分別具有第一外螺紋和第二外螺紋，所述第一外電極和第二外電極分別具有第一內(nèi)螺紋和第二內(nèi)螺紋，所述第一內(nèi)電極的第一外螺紋穿過(guò)所述第一電極通孔后與所述第一外電極的第一內(nèi)螺紋配合連接，所述第二內(nèi)電極的第二外螺紋穿過(guò)所述第二電極通孔后與所述第二外電極的第二內(nèi)螺紋配合連接。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電阻加熱裝置，其特征在于，所述第一外電極和第二外電極分別具有第一外螺紋和第二外螺紋，所述第一內(nèi)電極和第二內(nèi)電極分別具有第一內(nèi)螺紋和第二內(nèi)螺紋，所述第一外電極的第一外螺紋穿過(guò)所述第一電極通孔后與所述第一內(nèi)電極的第一內(nèi)螺紋配合連接，所述第二外電極的第二外螺紋穿過(guò)所述第二電極通孔后與所述第二內(nèi)電極的第二內(nèi)螺紋配合連接。10.一種電阻加熱式蒸發(fā)源，其特征在于，包括: 如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的電阻加熱裝置；以及 坩堝。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供了一種電阻加熱裝置及電阻加熱式蒸發(fā)源，電阻加熱裝置包括固定底臺(tái)，所述固定底臺(tái)具有相對(duì)設(shè)置的內(nèi)表面和外表面，所述固定底臺(tái)還具有貫穿所述內(nèi)表面和外表面的第一電極通孔和第二電極通孔；位于所述內(nèi)表面一側(cè)的電阻絲；與所述電阻絲的兩端分別電連接的第一內(nèi)電極和第二內(nèi)電極；以及第一外電極和第二外電極，所述第一外電極與所述第一內(nèi)電極在所述第一電極通孔處可拆卸電連接，所述第二外電極與所述第二內(nèi)電極在所述第二電極通孔處可拆卸電連接。本發(fā)明的電阻加熱裝置能夠固定不同形狀的坩堝并加熱，當(dāng)需要更換蒸發(fā)物料時(shí)，只需要更換坩堝即可，且更換方便，從而節(jié)約了成本。
【IPC分類(lèi)】C23C14/26
【公開(kāi)號(hào)】CN105568225
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410538769
【發(fā)明人】閆凌昊, 郇慶, 任金東, 武榮庭, 任俊海, 吳澤賓, 高鴻鈞
【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院物理研究所
【公開(kāi)日】2016年5月11日
【申請(qǐng)日】2014年10月13日