一種用于真空氮化的高精度真空動態(tài)控制系統(tǒng)的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及熱處理設備制造領域，具體涉及一種用于真空氮化的高精度真空動態(tài)控制系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]真空氮化具有能耗低、滲速快、無污染、表面凈化等特點，特別適合于盲孔、狹縫、接觸面等部位的均勻滲氮。近年來，真空氮化在航空、航天、汽車、風電、船舶等工業(yè)中得到越來越多應用。真空氮化的效果很大程度上依賴于真空氮化控制系統(tǒng)，現(xiàn)有的真空氮化控制系統(tǒng)，真空爐罐內的氣氛壓強波動大，特別是當真空爐罐內的氣氛壓強較低時尤為嚴重，影響真空爐罐內的氮勢氣氛均勻性和穩(wěn)定性，從而影響氮化工件的質量穩(wěn)定性和重現(xiàn)性，難于達到航空、航天等高要求處理件的質量指標。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型要解決的技術問題是，如何克服現(xiàn)有技術中真空爐罐內的氣氛壓強波動大影響氮化處理工件的質量穩(wěn)定性和重現(xiàn)性的問題，為解決上述技術問題，本實用新型提出了如下技術方案:
[0004]—種用于真空氮化的高精度真空動態(tài)控制系統(tǒng)，包括真空爐罐、進氣系統(tǒng)和排氣系統(tǒng)，所述進氣系統(tǒng)與所述排氣系統(tǒng)通過所述真空爐罐相連接，所述進氣系統(tǒng)包括第一進氣管道及第二進氣管道;所述排氣系統(tǒng)包括排氣管道，所述排氣管道上設有抽真空系統(tǒng);所述第一進氣管道上設有第一進氣控制裝置，所述第一進氣控制裝置用于控制所述第一進氣管道的進氣量;所述第二進氣管道上設有第二進氣控制裝置，所述第二進氣控制裝置用于控制所述第二進氣管道的進氣量;所述排氣管道上設有排氣控制裝置，所述排氣控制裝置用于控制所述排氣管道的排氣量。
[0005]作為本實用新型的進一步改進，所述第一進氣控制裝置包括第一壓力繼電器、第一減壓閥、第一主路真空角閥及第一傍路真空角閥，所述第二進氣控制裝置包括第二壓力繼電器、第二減壓閥、第二主路真空角閥及第二傍路真空角閥。
[0006]作為本實用新型的進一步改進，所述第一進氣管道上還設有第一質量流量計及第一流量計，所述第二進氣管道上還設有第二質量流量計及第二流量計。
[0007]作為本實用新型的進一步改進，所述第二進氣管道上設有單向閥。
[0008]作為本實用新型的進一步改進，所述排氣控制裝置包括蝶形角閥、排氣真空角閥及真空比例閥。
[0009]作為本實用新型的進一步改進，所述排氣管道上設有熱交換器。
[0010]作為本實用新型的進一步改進，所述排氣管道上設有波紋管。
[0011]作為本實用新型的進一步改進，其還包括與所述真空爐罐連接的真空度檢測系統(tǒng)，所述真空度檢測系統(tǒng)包括智能壓力變送器及真空計探頭。
[0012]作為本實用新型的進一步改進，所述抽真空系統(tǒng)包括羅茨栗和旋片干栗。
[0013]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型提出的用于真空氮化的高精度真空動態(tài)控制系統(tǒng)，通過精確動態(tài)控制進氣和出氣量，并達到穩(wěn)定動態(tài)平衡，顯著降低真空爐罐內的壓強波動，進而確保氮化處理工件的質量穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型的一實施方式的結構示意圖；
[0015]圖1中包括真空爐罐1、第一進氣管道2、第二進氣管道3、排氣管道4、真空度檢測系統(tǒng)5、第一壓力繼電器21、第一減壓閥22、第一質量流量計23、第一主路真空角閥24、第一流量計25、第一傍路真空角閥26、第二壓力繼電器31、第二減壓閥32、第二質量流量計33、第二主路真空角閥34、第二流量計35、第二傍路真空角閥36、單向閥37、熱交換器41、排氣真空角閥42、真空比例閥43、羅茨栗44、旋片干栗45、真空波紋管46、蝶形角閥47、智能壓力變送器51、檢測真空角閥52及真空計探頭53。
【具體實施方式】
[0016]如圖1所示，本實施例中的用于真空氮化的高精度真空動態(tài)控制系統(tǒng)，包括真空爐罐1、進氣系統(tǒng)和排氣系統(tǒng)。
[0017]進氣系統(tǒng)包括第一進氣管道2和第二進氣管道3。第一進氣管道2上設有第一進氣控制裝置，第一進氣控制裝置包括第一壓力繼電器21、第一減壓閥22、第一主路真空角閥24及第一傍路真空角閥26;第二進氣管道3上設有第二進氣控制裝置，第二進氣控制裝置包括第二壓力繼電器31、第二減壓閥32、第二主路真空角閥34及第二傍路真空角閥36。
[0018]作為一個優(yōu)選實施例，本實施例中，第二進氣管道3上還設有單向閥37，用于防止所述第二進氣管道3中的氣體倒流。第一進氣管道2上還設有第一質量流量計23及第一流量計25，第一質量流量計計23及第一流量計25分別用來精確計量第一管道2的第一主路管道(未圖示)及第一傍路管路(未圖示)的進氣量。第二進氣管道3上還設有第二質量流量計33及第二流量計35，第二質量流量計計33及第二流量計35分別用來精確計量第二管道3的第二主路管道(未圖示)及第二傍路管道(未圖示)的進氣量。
[0019]排氣系統(tǒng)包括排氣管道4，排氣管道4上設有排氣控制裝置及抽真空裝置;排氣控制裝置包括排氣真空角閥42、真空比例閥43及蝶形角閥47。真空氮化狀態(tài)下，蝶形角閥47關閉，排氣真空角閥42打開;非真空氮化狀態(tài)下，蝶形角閥47打開，排氣真空角閥42關閉。抽真空裝置包括羅茨栗44及旋片干栗45，需要快速排氣時，可以同時打開羅茨栗44及旋片干栗45;僅需慢速排氣時，可以只打開旋片干栗45 ο作為一個優(yōu)選實施例，本實施例中的排氣管道4上還設有熱交換器41及真空波紋管46，熱交換器41用于降低排出氣體的溫度，防止高溫氣體損壞所述抽真空系統(tǒng)，真空波紋管46起到位置補償及減震作用。
[0020]作為一個優(yōu)選實施例，本實施例中的用于真空氮化的高精度真空動態(tài)控制系統(tǒng)還包括與真空爐罐I連接的真空度檢測系統(tǒng)5，真空度檢測系統(tǒng)5包括智能壓力變送器51、檢測真空角閥52及真空計探頭53。真空氮化狀態(tài)下，智能壓力變送器51打開，檢測真空角閥52關閉，智能壓力變送器51實時檢測真空爐罐I內的真空度，并將真空度數(shù)據(jù)發(fā)送至外部的程控器(未圖示)；非真空氮化狀態(tài)下，智能壓力變送器51關閉，檢測真空角閥52打開，真空計探頭53檢測所述真空爐罐I內的真空度并加以顯示。
[0021]可見，本實施例中的用于真空氮化的高精度真空動態(tài)控制系統(tǒng)包括五部分:真空爐罐1、第一進氣管道2、第二進氣管道3、排氣管道4及真空檢測裝置5。