[0022]真空氮化過程中，為了保證真空爐罐I內(nèi)的壓強(qiáng)穩(wěn)定，需要及時(shí)控制第一進(jìn)氣管道3和第二進(jìn)氣管道4向所述真空爐罐I的進(jìn)氣量及排氣管道4對(duì)真空爐罐I的排氣量。其中，第一進(jìn)氣管道2的進(jìn)氣量可以通過設(shè)置在第一進(jìn)氣管道2上的第一進(jìn)氣控制裝置加以控制;第二進(jìn)氣管道3的進(jìn)氣量可以通過設(shè)置在第二進(jìn)氣管道3上的第二進(jìn)氣控制裝置加以控制;排氣管道4的排氣量可通過設(shè)置在排氣管道4上的排氣控制裝置加以控制。
[0023]在一個(gè)具體實(shí)施例中，第一進(jìn)氣管道2作為為氨氣的進(jìn)氣管道，第二進(jìn)氣管道3作為氮?dú)獾倪M(jìn)氣管道，以下將描述在真空氮化處理過程中，第一進(jìn)氣管道2及第二進(jìn)氣管道3如何控制氨氣及氮?dú)獾倪M(jìn)氣量，及排氣管道4如何控制排氣量。
[0024]氨氣進(jìn)氣量控制:當(dāng)真空爐罐I中的壓力過大時(shí)，第一壓力繼電器21發(fā)出壓力過大報(bào)警信號(hào)，此時(shí)關(guān)閉第一主路真空角閥24，打開第一傍路真空角閥26，氨氣流經(jīng)第一壓力繼電器21及第一減壓閥22后，通過第一流量計(jì)25及第一傍路真空角閥26所在的第一傍路管道慢速微流量進(jìn)入所述真空爐罐I，從而降低了氨氣的進(jìn)氣量，此時(shí)的氨氣進(jìn)氣量可以通過第一流量計(jì)25精確獲取。當(dāng)真空爐罐I中的壓力過小時(shí)，第一壓力繼電器21發(fā)出壓力過小報(bào)警信號(hào)，此時(shí)打開第一主路真空角閥24，關(guān)閉第一傍路真空角閥26，氨氣流經(jīng)第一壓力繼電器21及第一減壓閥22后，通過第一質(zhì)量流量計(jì)23及第一主路真空角閥24所在的第一主路管道快速大流量地進(jìn)入所述真空爐罐I，此時(shí)的氨氣進(jìn)氣量可以通過第一質(zhì)量流量計(jì)23精確獲取。
[0025]氮?dú)膺M(jìn)氣量控制:當(dāng)真空爐罐I中的壓力過大時(shí)，第二壓力繼電器31發(fā)出壓力過大報(bào)警信號(hào)，此時(shí)關(guān)閉第二主路真空角閥34，打開第二傍路真空角閥36，氮?dú)饬鹘?jīng)第二壓力繼電器31及第二減壓閥32后，通過第二流量計(jì)35及第二傍路真空角閥36所在的第二傍路管路慢速微流量進(jìn)入所述真空爐罐I，從而降低了氮?dú)獾倪M(jìn)氣量，此時(shí)的氮?dú)膺M(jìn)氣量可以通過第二流量計(jì)35精確獲取。當(dāng)真空爐罐I中的壓力過小時(shí)，第二壓力繼電器31發(fā)出壓力過小報(bào)警信號(hào)，此時(shí)打開第二主路真空角閥34，關(guān)閉第二傍路真空角閥36，氮?dú)饬鹘?jīng)第二壓力繼電器31及第二減壓閥32后，通過第二質(zhì)量流量計(jì)33及第二主路真空角閥34所在的第二主路管路快速大流量地進(jìn)入所述真空爐罐I，此時(shí)的氮?dú)膺M(jìn)氣量可以通過第二質(zhì)量流量計(jì)33精確獲取。
[0026]排氣量控制過程:非真空氮化狀態(tài)下，所述蝶形角閥47打開，所述排氣真空角閥42關(guān)閉，排出氣體通過熱交換器41、蝶形角閥47、羅茨栗44、旋片干栗45及波紋管46排出；真空氮化狀態(tài)下，所述蝶形角閥47關(guān)閉，所述排氣真空角閥42打開，排出氣體經(jīng)過熱交換器41、排氣真空角閥42及真空比例閥43、羅茨栗44、旋片干栗45及波紋管46排出，通過調(diào)節(jié)真空比例閥43及所述旋片干栗45，可以實(shí)現(xiàn)排氣量的精確控制。
[0027]上文對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了足夠詳細(xì)的具有一定特殊性的描述。所屬領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解，實(shí)施例中的描述僅僅是示例性的，在不偏離本實(shí)用新型的真實(shí)精神和范圍的前提下做出所有改變都應(yīng)該屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。本實(shí)用新型所要求保護(hù)的范圍是由所述的權(quán)利要求書進(jìn)行限定的，而不是由實(shí)施例中的上述描述來限定的。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，包括真空爐罐、進(jìn)氣系統(tǒng)和排氣系統(tǒng)，所述進(jìn)氣系統(tǒng)與所述排氣系統(tǒng)通過所述真空爐罐相連接，所述進(jìn)氣系統(tǒng)包括第一進(jìn)氣管道及第二進(jìn)氣管道;所述排氣系統(tǒng)包括排氣管道，所述排氣管道上設(shè)有抽真空系統(tǒng)，其特征在于: 所述第一進(jìn)氣管道上設(shè)有第一進(jìn)氣控制裝置，所述第一進(jìn)氣控制裝置用于控制所述第一進(jìn)氣管道的進(jìn)氣量； 所述第二進(jìn)氣管道上設(shè)有第二進(jìn)氣控制裝置，所述第二進(jìn)氣控制裝置用于控制所述第二進(jìn)氣管道的進(jìn)氣量； 所述排氣管道上設(shè)有排氣控制裝置，所述排氣控制裝置用于控制所述排氣管道的排氣量。2.如權(quán)利要求1所述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征在于: 所述第一進(jìn)氣控制裝置包括第一壓力繼電器、第一減壓閥、第一主路真空角閥及第一傍路真空角閥； 所述第二進(jìn)氣控制裝置包括第二壓力繼電器、第二減壓閥、第二主路真空角閥及第二傍路真空角閥。3.如權(quán)利要求2所述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征在于: 所述第一進(jìn)氣管道上還設(shè)有第一質(zhì)量流量計(jì)及第一流量計(jì)； 所述第二進(jìn)氣管道上還設(shè)有第二質(zhì)量流量計(jì)及第二流量計(jì)。4.如權(quán)利要求3所述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第二進(jìn)氣管道上設(shè)有單向閥。5.如權(quán)利要求1所述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征在于，所述排氣控制裝置包括蝶形角閥、排氣真空角閥及真空比例閥。6.如權(quán)利要求5所述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征在于，所述排氣管道上設(shè)有熱交換器。7.如權(quán)利要求5述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征在于，所述排氣管道上設(shè)有波紋管。8.如權(quán)利要求1所述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征在于，其還包括與所述真空爐罐連接的真空度檢測(cè)系統(tǒng)，所述真空度檢測(cè)系統(tǒng)包括智能壓力變送器及真空計(jì)探頭。9.如權(quán)利要求1所述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征在于，所述抽真空系統(tǒng)包括羅茨栗和旋片干栗。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，包括真空爐罐、進(jìn)氣系統(tǒng)和排氣系統(tǒng)，所述進(jìn)氣系統(tǒng)與所述排氣系統(tǒng)通過所述真空爐罐相連接，所述進(jìn)氣系統(tǒng)包括第一進(jìn)氣管道及第二進(jìn)氣管道；所述排氣系統(tǒng)包括排氣管道，所述排氣管道上設(shè)有抽真空系統(tǒng)，所述第一進(jìn)氣管道上設(shè)有第一進(jìn)氣控制裝置，所述第一進(jìn)氣控制裝置用于控制所述第一進(jìn)氣管道的進(jìn)氣量；所述第二進(jìn)氣管道上設(shè)有第二進(jìn)氣控制裝置，所述第二進(jìn)氣控制裝置用于控制所述第二進(jìn)氣管道的進(jìn)氣量；所述排氣管道上設(shè)有排氣控制裝置，所述排氣控制裝置用于控制所述排氣管道的排氣量。本實(shí)用新型通過精確動(dòng)態(tài)控制進(jìn)氣及出氣量，顯著降低了真空爐罐內(nèi)的壓強(qiáng)波動(dòng)，確保氮化處理工件的質(zhì)量穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。
【IPC分類】C23C8/24
【公開號(hào)】CN205223334
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520939008
【發(fā)明人】黃躍學(xué), 鄧喬楓, 卞健, 林國強(qiáng)
【申請(qǐng)人】江蘇豐東熱技術(shù)股份有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請(qǐng)日】2015年11月23日