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一種利用多晶硅片生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢硅粉制備二氧化硅氣凝膠的方法與流程

文檔序號(hào):12390179閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種利用多晶硅片生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢硅粉制備二氧化硅氣凝膠的方法,其特征在于,所用原料為生產(chǎn)多晶硅片產(chǎn)生的廢硅粉。

2.如權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,稱取20g硅粉與去離子水200-300g混合后在35-55℃水浴環(huán)境下攪拌2-6小時(shí),使硅粉活化。

3.如權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,硅粉活化后,稱取0.15-0.35g氫氧化鈉加入反應(yīng)物,反應(yīng)物在水浴溫度為50-100℃下反應(yīng)生成硅酸。

4.如權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,需另外配制反應(yīng)液,另外配制的反應(yīng)液由5g水玻璃、0.05g氫氧化鈉和50g去離子水組成,反應(yīng)液分4-6次加入權(quán)利要求3中的反應(yīng)體系,反應(yīng)6-10h后抽濾得到硅溶膠,并回收未反應(yīng)硅粉。

5.如權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,用草酸調(diào)節(jié)權(quán)利要求4中硅溶膠的pH值到4-7,靜置得到水凝膠后,將其置于干燥箱中30-50℃干燥及冷凍干燥,得到二氧化硅氣凝膠。

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