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一種失效堿性含銅蝕刻液的回收方法與流程

文檔序號:12910557閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:
1.一種失效堿性含銅蝕刻液的回收方法,其特征在于,包括如下步驟:a、將失效堿性含銅蝕刻液置于容器一中,向所述失效堿性含銅蝕刻液中加入氧化劑,所述氧化劑為氧氣、過氧化氫或臭氧中的任意一種,在常溫下反應(yīng)8~10min;b、經(jīng)過步驟b反應(yīng)后,向失效堿性含銅蝕刻液中加入二乙基二硫代氨基甲酸銨,勻速攪拌,在常溫下反應(yīng)8~10min后,在所述容器一中有褐色沉淀生成,過濾獲得褐色沉淀;c、將步驟b中過濾所得的褐色沉淀置于容器二中,再向所述容器二中加入氨水,直至褐色沉淀全部溶解,在所述容器二中有藍色沉淀生成,過濾獲得藍色沉淀;d、將步驟c中過濾所得的藍色沉淀置于容器三中,向容器三中加入硫酸溶液至沉淀全部溶解,不斷攪拌,并控制容器三內(nèi)溶液的pH為5~6;e、加熱經(jīng)過步驟d反應(yīng)后容器三中的溶液至沸騰,蒸發(fā)溶劑,當(dāng)液面出現(xiàn)晶膜時,停止加熱,攪拌溶液,使晶膜分散到溶液中,停止攪拌溶液,將溶液冷卻至室溫,在溶液中有藍色晶體析出,過濾獲得藍色晶體;其中,所述氧氣的加入量與失效堿性含銅蝕刻液中銅物質(zhì)的摩爾之比為0.95~1.05:2;在步驟a中將氧氣以0.1~0.2L/s的速度通入失效堿性含銅蝕刻液中;步驟b中,二乙基二硫代氨基甲酸銨的加入量與失效堿性含銅蝕刻液中銅物質(zhì)的摩爾之比為0.95~1.05:1。2.如權(quán)利要求1所述的失效堿性含銅蝕刻液的回收方法,其特征在于:所述氧氣的加入量與失效堿性含銅蝕刻液中銅物質(zhì)的摩爾之比為1:2。3.如權(quán)利要求1所述的失效堿性含銅蝕刻液的回收方法,其特征在于:步驟b中,二乙基二硫代氨基甲酸銨的加入量與失效堿性含銅蝕刻液中銅物質(zhì)的摩爾之比為1:1。4.如權(quán)利要求1所述的失效堿性含銅蝕刻液的回收方法,其特征在于:步驟中控制容器三內(nèi)溶液的pH為5.5。
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