技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種多晶硅還原尾氣回收方法，包括：向還原尾氣中通入外補(bǔ)的氯化氫氣體，并使還原尾氣中的無(wú)定形硅粉與其中的氯化氫氣體及外補(bǔ)的氯化氫氣體充分反應(yīng)；通過(guò)分離膜將已去除無(wú)定形硅粉的還原尾氣中的氫氣和少量的氯化氫的混合氣與氣相氯硅烷分離；對(duì)所述混合氣進(jìn)行吸附處理；對(duì)氣相氯硅烷進(jìn)行加壓冷凝處理，從而將液相的三氯氫硅與氣相的四氯化硅、二氯二氫硅和少量的三氯氫硅分離；對(duì)氣相的四氯化硅、二氯二氫硅和少量的三氯氫硅再進(jìn)行加壓冷凝處理，從而將四氯化硅富液與富含二氯二氫硅的不凝氣分離。相應(yīng)地，提供一種多晶硅還原尾氣回收系統(tǒng)。本發(fā)明所述回收方法和系統(tǒng)的工藝流程簡(jiǎn)單、能耗少且有效去除了還原尾氣中的無(wú)定形硅粉。

技術(shù)研發(fā)人員：邱成武;周玲英;東曉庚;孫榮義
受保護(hù)的技術(shù)使用者：新特能源股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.04.18
技術(shù)公布日：2017.10.31