技術(shù)總結(jié)
一種乙硅烷的制造方法，以硅化鎂與氯化氨為原料進(jìn)行反應(yīng)，在液氨及催化劑存在下生成乙硅烷氣體，反應(yīng)溫度為?10℃??50℃，反應(yīng)壓力為0.2?1MPa，所述硅化鎂與氯化氨的摩爾比為1:2?5，所述催化劑為鋅的配合物。本發(fā)明方法中乙硅烷是生產(chǎn)過程的主產(chǎn)品，因而可解決大規(guī)模生產(chǎn)乙硅烷的副產(chǎn)品問題，大大提高生產(chǎn)高純乙硅烷的生產(chǎn)效率，耗能低，降低生產(chǎn)成本。

技術(shù)研發(fā)人員：黃曉東;謝嵩嶽
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江迅鼎半導(dǎo)體材料科技有限公司
文檔號(hào)碼：201610299473
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.09
技術(shù)公布日：2017.03.22