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一種高效光熱轉(zhuǎn)換多晶硅板及其制備方法與流程

文檔序號(hào):11937890閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種高效光熱轉(zhuǎn)換多晶硅板及其制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

(1)首先提供一坩堝,在坩堝的表面從內(nèi)到外依次設(shè)置第一涂層、第二涂層和第三涂層,第一涂層為硼化硅涂層、第二涂層為氮化硅涂層,第三涂層為碳化硅涂層,在碳化硅涂層上涂敷晶態(tài)硅粉涂層;

(2)在上述涂敷后的坩堝內(nèi)側(cè)的底部鋪設(shè)一定厚度的隔離層,并在隔離層上鋪設(shè)一層碎硅料,然后放入多晶硅原料;

(3)將裝有多晶硅原料的坩堝放置于置于帶有電子束發(fā)生裝置的熔化爐,采用波長為1.2-1.8μm激光在80-90A、0.6-20ms、1Hz條件下輻照處理20-25min,然后控制所述坩堝內(nèi)部自下而上形成遞增的溫度梯度,保持6-10h,得到硅熔液,以60-80℃/h的速度階梯式冷卻得到硅錠,粉碎至60目,進(jìn)行酸洗,清洗后烘干,得到第一處理料然后加熱使所述多晶硅料熔化進(jìn)入長晶階段;

(4)進(jìn)入長晶階段后調(diào)節(jié)控溫?zé)犭娕嫉臏囟群蛡?cè)部隔熱籠向上移動(dòng)的速率,使熱量向下輻射而使熔硅在豎直向上的溫度梯度下自下向上生長,同時(shí)通入摻有水蒸汽和氫氣的氬氣,在1450-1500℃下保持1-1.5h,定向凝固;

(5)待所述熔硅結(jié)晶完后經(jīng)退火和冷卻形成高效光熱轉(zhuǎn)換多晶硅板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效光熱轉(zhuǎn)換多晶硅板及其制備方法,其特征在于,所述的步驟(1)中的氮化硅涂層的厚度為50-70um,純度大于99.9%。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效光熱轉(zhuǎn)換多晶硅板及其制備方法,其特征在于,所述的步驟(1)中的晶態(tài)硅粉涂層的厚度為40-50um。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效光熱轉(zhuǎn)換多晶硅板及其制備方法,其特征在于,所述的步驟(1)中的晶態(tài)硅粉涂層的原材料為晶態(tài)硅粉,該晶態(tài)硅粉的平均粒徑為10-15um,純度大于99.9%。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效光熱轉(zhuǎn)換多晶硅板及其制備方法,其特征在于,所述的步驟(2)中所述的隔離層采用純度大于99.9%的致密塊狀材料均勻鋪設(shè)形成,且該隔離層的厚度為15-25mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效光熱轉(zhuǎn)換多晶硅板及其制備方法,其特征在于,所述的致密塊狀材料為硅塊、或碳化硅、或氮化硅、或氮化鋁、或石英材料。

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