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一種新型結構多晶鑄錠爐用的坩堝的制作方法

文檔序號:12430978閱讀:來源:國知局
技術總結
一種新型結構多晶鑄錠爐用的坩堝,包括方形的坩堝本體及坩堝本體內的多個豎直的隔板,所述隔板將坩堝本體分隔成多個區(qū)間,所述隔板與所述坩堝本體可拆卸地連接,所述坩堝本體的內表面及所述隔板的表面依次凃敷有氧化硅層、氮化硅層、多晶硅顆粒層,所述多晶硅顆粒層上設置多個凹陷。本實用新型通過設置隔板將坩堝分隔成多個結晶區(qū)間,提高多晶硅的生產(chǎn)速度,坩堝本體的內壁和隔板的壁面通過多晶硅顆粒層和凹陷形成凹凸起伏的形貌,引導多晶硅在坩堝本體及隔板的壁面上生長大小均勻的小晶粒,保證多晶硅均勻快速地生長,且該隔板與坩堝本體凃敷保護涂層,以防止二氧化硅和熔融硅發(fā)生反應,進而避免硅錠污染和開裂。

技術研發(fā)人員:裘承;邱小林;彭健飛;薛德均;甘志凱
受保護的技術使用者:南昌理工學院
文檔號碼:201620523674
技術研發(fā)日:2016.05.31
技術公布日:2016.12.14

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