技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及碳化硅溶液法領(lǐng)域，尤其涉及一種碳化硅溶液法中實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并調(diào)整固液界面高度的裝置，采用一種高精密度電流計(jì)并與晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)形成電流回路的感應(yīng)裝置，然后再通過(guò)PID反饋回路，自動(dòng)調(diào)節(jié)固液界面的高度實(shí)現(xiàn)；此外本裝置無(wú)需人工耗時(shí)觀察，避免熔融液與外界的氣氛對(duì)流，避免了觀察耗時(shí)久、工時(shí)長(zhǎng)、滯后不及時(shí)等弊端，解決了溶液法中存在的這一難題，更利于生產(chǎn)高品質(zhì)單晶SiC材料。

技術(shù)研發(fā)人員：朱燦;呂宇君;竇文濤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：山東天岳晶體材料有限公司
文檔號(hào)碼：201620652451
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.28
技術(shù)公布日：2017.03.15