技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積裝置，涉及化學(xué)氣相沉積設(shè)備領(lǐng)域。該沉積裝置包括具有反應(yīng)腔的反應(yīng)室，反應(yīng)腔中設(shè)有用于托放工件的圓盤支架，圓盤支架的上表面設(shè)有用于固定工件的安放槽和貫通圓盤支架的通孔，安放槽的槽底設(shè)有磁片，反應(yīng)腔中在位于圓盤支架的上方設(shè)有圓盤狀的電極，反應(yīng)室的下表面室壁上嵌設(shè)有環(huán)形導(dǎo)熱體，環(huán)形導(dǎo)熱體的上部散熱面位于反應(yīng)腔中，反應(yīng)室的下表面室壁在對(duì)應(yīng)于環(huán)形導(dǎo)熱體的下部導(dǎo)熱面連接有電熱器，反應(yīng)腔連通有氣熱機(jī)構(gòu)，反應(yīng)室的側(cè)壁設(shè)有第一氣態(tài)反應(yīng)劑進(jìn)氣管和第二氣態(tài)反應(yīng)劑進(jìn)氣管，反應(yīng)室的下表面設(shè)有若干排氣通道，排氣通道連接有真空泵。本實(shí)用新型在沉積時(shí)工件固定牢靠，薄膜沉積均勻，良品率高。

技術(shù)研發(fā)人員：孔令乾;趙金生;鞠秀萍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：聊城大學(xué)東昌學(xué)院
文檔號(hào)碼：201620958295
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.20
技術(shù)公布日：2017.01.25