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一種顆粒狀多晶硅流化床加熱器的制作方法

文檔序號:11348829閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種顆粒狀多晶硅流化床加熱器,包括導(dǎo)熱骨架主體和多個加熱器(2),其特征在于:所述的導(dǎo)熱骨架主體由多段相互獨立的導(dǎo)熱骨架(1)組成,導(dǎo)熱骨架(1)之間相互間隔包覆于流化床(4)的床體,每個所述加熱器(2)設(shè)置對應(yīng)的熱電偶(3),每段所述的導(dǎo)熱骨架(1)外圍分布加熱器(2)和熱電偶(3),加熱器(2)與熱電偶(3)通過保溫層(5)隔離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顆粒狀多晶硅流化床加熱器,其特征在于:所述的導(dǎo)熱骨架(1)之間的間隔距離相等。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種顆粒狀多晶硅流化床加熱器,其特征在于:所述的加熱器(2)為電阻加熱器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顆粒狀多晶硅流化床加熱器,其特征在于:所述的加熱器(2)和所述的熱電偶(3)之間相互間隔依次排列。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種顆粒狀多晶硅流化床加熱器,其特征在于:所述分設(shè)于每段導(dǎo)熱骨架(1)上的熱電偶(3)數(shù)量和加熱器(2)數(shù)量都為12個。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顆粒狀多晶硅流化床加熱器,其特征在于:流化床(4)上的硅粉成品料輸送是通過連接在流化床(4)上的硅粉進(jìn)料管線上的硅粉輸送噴射器噴射輸送。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種顆粒狀多晶硅流化床加熱器,其特征在于:所述硅粉輸送噴射器與所述硅粉進(jìn)料管線上設(shè)有一可調(diào)節(jié)流量的電動旋轉(zhuǎn)閥。

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