1.一種提高碳化硅單晶生長(zhǎng)過程中溫度測(cè)量準(zhǔn)確性的裝置，其特征在于，包括：吹掃器、法蘭、玻璃視窗、測(cè)溫孔和紅外測(cè)溫儀，其中，所述吹掃器固定于測(cè)溫孔處的法蘭內(nèi)側(cè)，所述法蘭位于測(cè)溫孔的上方，所述玻璃視窗位于所述法蘭上側(cè)，所述紅外測(cè)溫儀位于所述玻璃視窗上方并與測(cè)溫孔相對(duì)應(yīng)，其中：所述吹掃器包括：帶氣孔的圓環(huán)形管路和進(jìn)氣管，所述圓環(huán)形管路兩端各連一支進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管一端連接圓環(huán)形管路，另一端貫穿所述法蘭與外部的進(jìn)氣管路相連，所述氣孔位于所述圓環(huán)形管路內(nèi)側(cè)管壁，其開孔方向與水平面夾角范圍為0-90度，用于使氣體直接吹掃玻璃視窗內(nèi)側(cè)表面，產(chǎn)生的氣流阻止粉塵向視窗方向運(yùn)動(dòng)，保證視窗內(nèi)表面的潔凈度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高碳化硅單晶生長(zhǎng)過程中溫度測(cè)量準(zhǔn)確性的裝置，其特征在于，所述吹掃器通過焊接的方式固定于法蘭上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高碳化硅單晶生長(zhǎng)過程中溫度測(cè)量準(zhǔn)確性的裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣管內(nèi)通過的氣體流量大小可以調(diào)節(jié)，確保沒有粉塵附著在玻璃視窗內(nèi)壁。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高碳化硅單晶生長(zhǎng)過程中溫度測(cè)量準(zhǔn)確性的裝置，其特征在于，所述吹掃器材質(zhì)為金屬或者金屬合金。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高碳化硅單晶生長(zhǎng)過程中溫度測(cè)量準(zhǔn)確性的裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣管與圓環(huán)形管路為中空結(jié)構(gòu)，管壁厚1-3mm，其中進(jìn)氣管為直管。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高碳化硅單晶生長(zhǎng)過程中溫度測(cè)量準(zhǔn)確性的裝置，其特征在于，所述圓環(huán)形管路的圓環(huán)截面的外徑為測(cè)溫窗口法蘭高度的50-70%。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高碳化硅單晶生長(zhǎng)過程中溫度測(cè)量準(zhǔn)確性的裝置，其特征在于，所述位于圓環(huán)形管路的氣孔，數(shù)量有多個(gè)，均勻分布于圓環(huán)形管路內(nèi)側(cè)管壁。