技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種提高碳化硅單晶生長(zhǎng)過(guò)程中溫度測(cè)量準(zhǔn)確性的裝置，包括：帶氣孔的圓環(huán)形管路、進(jìn)氣管法蘭、玻璃視窗、測(cè)溫孔和紅外測(cè)溫儀，其中所述圓環(huán)形管路兩端各連一支進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管一端連接圓環(huán)形管路，另一端貫穿法蘭，與外部的進(jìn)氣管路相連，保持氣體流通順暢，所述氣孔位于圓環(huán)形管路內(nèi)側(cè)管壁，其開(kāi)孔方向與水平面夾角范圍為0度到90度，使氣體直接吹掃玻璃視窗內(nèi)側(cè)表面，同時(shí)，產(chǎn)生的氣流阻止粉塵向視窗方向運(yùn)動(dòng)，保證了視窗內(nèi)表面的潔凈度。本實(shí)用新型解決了測(cè)溫窗口粉末聚集影響測(cè)溫準(zhǔn)確度的問(wèn)題，提高了紅外測(cè)溫儀測(cè)量溫度時(shí)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：牛曉龍;楊昆;高宇;鄭清超
受保護(hù)的技術(shù)使用者：河北同光晶體有限公司
文檔號(hào)碼：201621345309
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.09
技術(shù)公布日：2017.06.13