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一種防止石墨坩堝氧化和SiC蒸汽逸出的裝置的制作方法

文檔序號(hào):12636471閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種防止石墨坩堝氧化和SiC蒸汽逸出的裝置,其特征在于:包括:坩堝、頂保溫層、側(cè)保溫層、底保溫層、感應(yīng)線圈、主加熱器和碳化硼涂料板;所述的坩堝側(cè)、底和頂三圍包覆有側(cè)保溫層、底保溫層和頂保溫層,所述的頂保溫層上端設(shè)置有凹槽;所述的主加熱器設(shè)置在側(cè)保溫層和底保溫層與坩堝之間位置;所述的碳化硼涂料板垂直固定設(shè)置在坩堝頂部上表面,完全覆蓋坩堝頂部上表面;所述的坩堝內(nèi)部包括原料區(qū)和籽晶區(qū)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防止石墨坩堝氧化和SiC蒸汽逸出的裝置,其特征在于:所述的碳化硼涂料板根據(jù)需要選擇不同厚度。

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