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一種有效防止揮發(fā)物干擾的提拉法單晶生長(zhǎng)爐用測(cè)溫裝置的制作方法

文檔序號(hào):12001515閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種有效防止揮發(fā)物干擾的提拉法單晶生長(zhǎng)爐用測(cè)溫裝置,所述的測(cè)溫裝置設(shè)置于晶體生長(zhǎng)爐(1)爐腔之上的爐體蓋(2)上,所述的測(cè)溫裝置之測(cè)溫儀(4)通過(guò)安裝孔密封設(shè)置于爐體蓋(2)中,測(cè)溫儀(4)之測(cè)溫探頭朝向熔湯,其特征在于:所述爐體蓋(2)底部對(duì)應(yīng)于測(cè)溫儀(4)測(cè)溫探頭(4)設(shè)置清理裝置(5),所述清理裝置(5)一側(cè)設(shè)置開(kāi)口并通過(guò)氣管(9)連通氣源;所述測(cè)溫儀(4)與清理裝置之間設(shè)置石英窗口(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有效防止揮發(fā)物干擾的提拉法單晶生長(zhǎng)爐用測(cè)溫裝置,其特征在于:所述爐體蓋(2)設(shè)有安裝通孔,且安裝通孔呈倒置的凸字形,所述安裝通孔設(shè)置在爐體蓋(2)的中心與邊緣位置之間,密封圈(7)配合石英窗口(6)通過(guò) 固定組件(10)壓緊設(shè)置在安裝通孔的肩部上,所述測(cè)溫儀(4)與安裝通孔之間通過(guò)固定組件(10)密封固定配合設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有效防止揮發(fā)物干擾的提拉法單晶生長(zhǎng)爐用測(cè)溫裝置,其特征在于:所述的清理裝置(5)包括氣管(9)、清掃室(8)和密封結(jié)構(gòu)件(3),所述清掃室(8)一端同軸連接爐體蓋(2)的安裝通孔,另一端朝向晶體生長(zhǎng)爐(1)的原料熔液面,氣管(9)一端穿過(guò)爐體蓋(2)后與處于爐腔內(nèi)的清掃室(8)連接,另一端連通氣源。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有效防止揮發(fā)物干擾的提拉法單晶生長(zhǎng)爐用測(cè)溫裝置,其特征在于:所述清掃室(8)為底部設(shè)置開(kāi)口的“U”型結(jié)構(gòu),即底部設(shè)置測(cè)溫通孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有效防止揮發(fā)物干擾的提拉法單晶生長(zhǎng)爐用測(cè)溫裝置,其特征在于:所述清掃室(8)為底部設(shè)置開(kāi)口的“U”型結(jié)構(gòu),即底部設(shè)置測(cè)溫通孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有效防止揮發(fā)物干擾的提拉法單晶生長(zhǎng)爐用測(cè)溫裝置,其特征在于:所述清掃室(8)之軸向縱截面呈圓弧形,圓弧中心設(shè)置測(cè)溫通孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有效防止揮發(fā)物干擾的提拉法單晶生長(zhǎng)爐用測(cè)溫裝置,其特征在于:所述清理裝置(8)之軸向縱截面呈對(duì)稱的“L”形,其折角呈90°。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有效防止揮發(fā)物干擾的提拉法單晶生長(zhǎng)爐用測(cè)溫裝置,其特征在于:所述的石英窗口(6)的材料為石英。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的有效防止揮發(fā)物干擾的提拉法單晶生長(zhǎng)爐用測(cè)溫裝置,其特征在于:所述的測(cè)溫儀(4)為非接觸測(cè)溫儀。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有效防止揮發(fā)物干擾的提拉法單晶生長(zhǎng)爐用測(cè)溫裝置,其特征在于:所述的氣管(9)通過(guò)密封結(jié)構(gòu)件(3)與爐體蓋(2)密封配合。

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