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一種新型硅晶爐加熱器裝置的制作方法

文檔序號(hào):12826324閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種新型硅晶爐加熱器裝置,其特征在于:包括第一U型臂(1)和第二U型臂(2),第二U型臂的中心點(diǎn)樞接在第一U型臂的中心處,第二U型臂可沿著樞接點(diǎn)自轉(zhuǎn),在第一U型臂和第二U型臂的內(nèi)壁上都設(shè)有多個(gè)側(cè)壁加熱電極(a),在第二的中心點(diǎn)出設(shè)有底壁加熱電極(1a)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型硅晶爐加熱器裝置,其特征在于:所述的第二U型臂的寬度小于第一U型臂的寬度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型硅晶爐加熱器裝置,其特征在于:所述的第一U型臂和第二U型臂都有底臂和沿著底壁的兩端向上延伸的側(cè)臂組成,所述的第一U型臂和第二U型臂的側(cè)壁的內(nèi)表面各設(shè)有三個(gè)加熱電極。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型硅晶爐加熱器裝置,其特征在于:還包括加熱圈(3),所述的加熱圈固定在第一U型臂的開(kāi)口內(nèi),所述的第二U型壁位于加熱圈內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型硅晶爐加熱器裝置,其特征在于:所述的加熱圈的內(nèi)表面均勻設(shè)置有多個(gè)加熱電極。

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