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一種消除多晶硅錠微晶的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):11556644閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種消除多晶硅錠微晶的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),其特征在于,包括爐體(1)、加熱裝置(6)和坩堝(10),所述爐體(1)的內(nèi)部設(shè)置有隔熱板(4),所述隔熱板(4)的內(nèi)部設(shè)置有保溫板(11),所述保溫板(11)的內(nèi)部設(shè)置有坩堝(10),所述坩堝(10)的外側(cè)設(shè)置有加熱裝置(6),所述加熱裝置(6)由若干加熱管(15)組成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種消除多晶硅錠微晶的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述爐體(1)的表面設(shè)置有控制面板(16),所述控制面板(16)與若干加熱管(15)均電性連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種消除多晶硅錠微晶的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述保溫板(11)的內(nèi)部設(shè)置有冷卻管(5),所述保溫板(11)的一側(cè)設(shè)置有冷卻管進(jìn)口(13),所述保溫板(11)的另一側(cè)設(shè)置有冷卻管出口(14)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種消除多晶硅錠微晶的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述隔熱板(4)的頂部設(shè)置有通風(fēng)管道a(9),所述隔熱板(4)的底部設(shè)置有通風(fēng)管道b(12)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種消除多晶硅錠微晶的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述通風(fēng)管道a(9)、通風(fēng)管道b(12)均與控制面板(16)電性連接,所述控制面板(16)的表面設(shè)置有顯示器(17),所述顯示器(17)的一側(cè)設(shè)置有控制按鈕(18)。

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