技術特征：

技術總結(jié)
本發(fā)明公開了一種激光誘導石墨烯微納結(jié)構(gòu)的加工方法及其系統(tǒng)，本方法首先制備氧化物?石墨烯?基底材料三明治結(jié)構(gòu)樣品；其次，樣品通過激光直寫系統(tǒng)進行加工；超過閾值光強的區(qū)域內(nèi)石墨烯在激光誘導下和氧化物發(fā)生碳熱還原反應而被破壞，其他部分的石墨烯則不會被破壞得以保留，從而形成石墨烯微納結(jié)構(gòu)。本發(fā)明方法及系統(tǒng)操作簡單，不需要借助掩模板進行曝光，避免了離子束加工中二次濺射的問題，能實現(xiàn)高精度的石墨烯結(jié)構(gòu)及圖案的加工，加工分辨率可通過激光光斑大小和激光能量調(diào)控，有利于復雜結(jié)構(gòu)石墨烯圖案的快速加工及高質(zhì)量石墨烯結(jié)構(gòu)器件的制備，可廣泛的推廣應用。

技術研發(fā)人員：張心正;許京軍;石彬;徐曉丹;劉洋;任夢昕;蔡衛(wèi);吳強;伊瑞娜
受保護的技術使用者：南開大學
技術研發(fā)日：2017.06.14
技術公布日：2017.10.13