本發(fā)明涉及蝕刻液技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液及其制備方法。

背景技術(shù)：

在平板顯示器的制備工藝過程中，需要使用導(dǎo)電玻璃。隨著生產(chǎn)廠家越來越多的采用將導(dǎo)電玻璃進(jìn)行減薄的方法，導(dǎo)電玻璃的蝕刻成為重要的問題。通常使用的減薄方法有兩種，一種是物理方法，即使用拋光粉進(jìn)行拋光研磨，這種方法減薄時(shí)間長，精度不好控制，產(chǎn)品良率低；另一種方法為使用蝕刻液的化學(xué)蝕刻法，這種方法減薄時(shí)間短，設(shè)備投入小，且減薄液的成分簡(jiǎn)單，逐漸成為了主流技術(shù)方法。

現(xiàn)有技術(shù)的蝕刻液對(duì)基板的蝕刻速率較快，蝕刻量不容易控制，有的無法有效溶解硅酸鹽，有的會(huì)產(chǎn)生較強(qiáng)的電離作用，導(dǎo)致蝕刻速率不易控制，有時(shí)蝕刻液會(huì)產(chǎn)生大量氣泡。因此，需要提供一種蝕刻液及蝕刻導(dǎo)電玻璃的方法，能夠有效去除雜質(zhì)，提高產(chǎn)品合格率，同時(shí)可以對(duì)導(dǎo)電玻璃基板的厚度控制提供保證。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液及其制備方法，該蝕刻液可以通過對(duì)導(dǎo)電玻璃基板表面的雜質(zhì)進(jìn)行溶解和蝕刻，達(dá)到去除基板表面雜質(zhì)的技術(shù)效果，從而有效解決基板由于顆粒狀附著而降低良率的問題。

本發(fā)明解決技術(shù)問題采用如下技術(shù)方案：

一種用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液，包括以下重量份的原料：氫氟酸30～50份、磷酸20～30份、氟化鈣5～10份、硫酸銨1～6份、硫酸鎂1～6份、磷酸鉀5～10份、氟化氫鉀1～6份、硅酸鈉6～12份、氟硼酸鈉5～10份、瓊脂1～5份、海藻酸鈉1～6份、納米二氧化硅1～3份、防凍劑0.2～0.6份、陰離子表面活性劑0.01～0.05份、硫酸溶液40～60份、去離子水120～160份；其中，硫酸溶液的質(zhì)量濃度為10～20%。

優(yōu)選地，所述蝕刻液包括以下重量份的原料：氫氟酸42份、磷酸25份、氟化鈣8份、硫酸銨2份、硫酸鎂3份、磷酸鉀6份、氟化氫鉀3份、硅酸鈉10份、氟硼酸鈉7份、瓊脂3份、海藻酸鈉5份、納米二氧化硅2份、防凍劑0.5份、陰離子表面活性劑0.02份、硫酸溶液50份、去離子水150份。

優(yōu)選地，所述防凍劑為乙二醇、丙三醇、二甘醇、乙二醇丁醚、乙二醇丁醚醋酸酯、二甲亞砜中的一種或多種的組合。

優(yōu)選地，所述陰離子表面活性劑為十二烷基苯磺酸鈉、十二烷基磺酸鈉、脂肪醇醚硫酸鈉、乙氧基化脂肪酸甲酯磺酸鈉中的一種或多種的組合。

上述用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液的制備方法，包括以下步驟：

（1）在冰浴條件下，使用恒壓滴液漏斗將硫酸溶液緩慢滴加到去離子水中，混合攪拌30～50min后，再緩慢加入氫氟酸、磷酸，攪拌均勻后，放入超聲清洗機(jī)中超聲處理5～10min，得到混合酸溶液；

（2）將混合酸溶液、氟化鈣、硫酸銨、硫酸鎂、磷酸鉀、氟化氫鉀、硅酸鈉、氟硼酸鈉、瓊脂、海藻酸鈉、納米二氧化硅、防凍劑、陰離子表面活性劑依次加入反應(yīng)釜中，升溫至100～150℃，攪拌30～50min后，陳化30～50小時(shí)得到該蝕刻液。

優(yōu)選地，所述超聲處理的頻率范圍為30～40khz，超聲功率為600w，超聲溫度為40～60℃。

優(yōu)選地，所述反應(yīng)釜采用耐酸不銹鋼反應(yīng)釜，攪拌轉(zhuǎn)速為60～80r/min。

優(yōu)選地，所述步驟（2）升溫至135℃，攪拌40min后，陳化42小時(shí)得到該蝕刻液。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有如下的有益效果：

（1）本發(fā)明的蝕刻液，可以通過對(duì)導(dǎo)電玻璃基板表面的雜質(zhì)進(jìn)行溶解和蝕刻，達(dá)到去除基板表面雜質(zhì)的技術(shù)效果，從而有效解決基板由于顆粒狀附著而降低良率的問題。

（2）本發(fā)明的蝕刻液，選擇了多種含氟物質(zhì)，如氫氟酸、氟化鈣、氟化氫鉀、氟硼酸鈉、作為氟離子的來源，配比合理，協(xié)同作用，調(diào)節(jié)了蝕刻液活性，防止反應(yīng)過快或過慢，配合多種硫酸鹽、磷酸鹽、瓊脂、海藻酸鈉，納米二氧化硅，起到緩釋作用，防止腐蝕面的繼續(xù)腐蝕，有利于形成均勻細(xì)微的毛面，減小蝕刻面的厚度，保持顯示屏的畫面真實(shí)美觀。

（3）本發(fā)明通過各原料的性能協(xié)同互補(bǔ)，蝕刻液處理后的導(dǎo)電玻璃透光率和霧化度較高，厚度質(zhì)量穩(wěn)定，表面不易留下劃痕，具有良好的經(jīng)濟(jì)效益。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的描述。

實(shí)施例1

一種用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液，包括以下重量份的原料：氫氟酸42份、磷酸25份、氟化鈣8份、硫酸銨2份、硫酸鎂3份、磷酸鉀6份、氟化氫鉀3份、硅酸鈉10份、氟硼酸鈉7份、瓊脂3份、海藻酸鈉5份、納米二氧化硅2份、防凍劑丙三醇0.5份、陰離子表面活性劑十二烷基苯磺酸鈉0.02份、硫酸溶液50份、去離子水150份；其中，硫酸溶液的質(zhì)量濃度為20%。

上述用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液的制備方法，包括以下步驟：

（1）在冰浴條件下，使用恒壓滴液漏斗將硫酸溶液緩慢滴加到去離子水中，混合攪拌40min后，再緩慢加入氫氟酸、磷酸，攪拌均勻后，放入超聲清洗機(jī)中超聲處理8min，得到混合酸溶液；超聲處理的頻率范圍為30～40khz，超聲功率為600w，超聲溫度為46℃。

（2）將混合酸溶液、氟化鈣、硫酸銨、硫酸鎂、磷酸鉀、氟化氫鉀、硅酸鈉、氟硼酸鈉、瓊脂、海藻酸鈉、納米二氧化硅、防凍劑、陰離子表面活性劑依次加入耐酸不銹鋼反應(yīng)釜，攪拌轉(zhuǎn)速為60r/min，升溫至135℃，攪拌40min后，陳化42小時(shí)得到該蝕刻液。

實(shí)施例2

一種用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液，包括以下重量份的原料：氫氟酸36份、磷酸27份、氟化鈣5份、硫酸銨3份、硫酸鎂2份、磷酸鉀7份、氟化氫鉀5份、硅酸鈉8份、氟硼酸鈉6份、瓊脂3份、海藻酸鈉5份、納米二氧化硅1份、防凍劑乙二醇0.2份、陰離子表面活性劑十二烷基磺酸鈉0.03份、硫酸溶液50份、去離子水134份；其中，硫酸溶液的質(zhì)量濃度為17%。

上述用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液的制備方法，包括以下步驟：

（1）在冰浴條件下，使用恒壓滴液漏斗將硫酸溶液緩慢滴加到去離子水中，混合攪拌45min后，再緩慢加入氫氟酸、磷酸，攪拌均勻后，放入超聲清洗機(jī)中超聲處理7min，得到混合酸溶液；超聲處理的頻率范圍為30～40khz，超聲功率為600w，超聲溫度為48℃。

（2）將混合酸溶液、氟化鈣、硫酸銨、硫酸鎂、磷酸鉀、氟化氫鉀、硅酸鈉、氟硼酸鈉、瓊脂、海藻酸鈉、納米二氧化硅、防凍劑、陰離子表面活性劑依次加入耐酸不銹鋼反應(yīng)釜，攪拌轉(zhuǎn)速為65r/min，升溫至140℃，攪拌36min后，陳化34小時(shí)得到該蝕刻液。

實(shí)施例3

一種用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液，包括以下重量份的原料：氫氟酸42份、磷酸26份、氟化鈣7份、硫酸銨3份、硫酸鎂5份、磷酸鉀8份、氟化氫鉀3份、硅酸鈉10份、氟硼酸鈉6份、瓊脂3份、海藻酸鈉5份、納米二氧化硅2份、防凍劑二甘醇0.5份、陰離子表面活性劑脂肪醇醚硫酸鈉0.03份、硫酸溶液52份、去離子水150份；其中，硫酸溶液的質(zhì)量濃度為17%。

上述用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液的制備方法，包括以下步驟：

（1）在冰浴條件下，使用恒壓滴液漏斗將硫酸溶液緩慢滴加到去離子水中，混合攪拌42min后，再緩慢加入氫氟酸、磷酸，攪拌均勻后，放入超聲清洗機(jī)中超聲處理6min，得到混合酸溶液；超聲處理的頻率范圍為30～40khz，超聲功率為600w，超聲溫度為55℃。

（2）將混合酸溶液、氟化鈣、硫酸銨、硫酸鎂、磷酸鉀、氟化氫鉀、硅酸鈉、氟硼酸鈉、瓊脂、海藻酸鈉、納米二氧化硅、防凍劑、陰離子表面活性劑依次加入耐酸不銹鋼反應(yīng)釜，攪拌轉(zhuǎn)速為80r/min，升溫至150℃，攪拌50min后，陳化40小時(shí)得到該蝕刻液。

實(shí)施例4

一種用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液，包括以下重量份的原料：氫氟酸47份、磷酸23份、氟化鈣8份、硫酸銨2份、硫酸鎂1份、磷酸鉀5份、氟化氫鉀3份、硅酸鈉10份、氟硼酸鈉7份、瓊脂3份、海藻酸鈉5份、納米二氧化硅3份、防凍劑乙二醇丁醚醋酸酯0.5份、陰離子表面活性劑乙氧基化脂肪酸甲酯磺酸鈉0.03份、硫酸溶液55份、去離子水150份；其中，硫酸溶液的質(zhì)量濃度為12%。

上述用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液的制備方法，包括以下步驟：

（1）在冰浴條件下，使用恒壓滴液漏斗將硫酸溶液緩慢滴加到去離子水中，混合攪拌50min后，再緩慢加入氫氟酸、磷酸，攪拌均勻后，放入超聲清洗機(jī)中超聲處理10min，得到混合酸溶液；超聲處理的頻率范圍為30～40khz，超聲功率為600w，超聲溫度為60℃。

（2）將混合酸溶液、氟化鈣、硫酸銨、硫酸鎂、磷酸鉀、氟化氫鉀、硅酸鈉、氟硼酸鈉、瓊脂、海藻酸鈉、納米二氧化硅、防凍劑、陰離子表面活性劑依次加入耐酸不銹鋼反應(yīng)釜，攪拌轉(zhuǎn)速為80r/min，升溫至120℃，攪拌47min后，陳化45小時(shí)得到該蝕刻液。

實(shí)施例5

一種用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液，包括以下重量份的原料：氫氟酸50份、磷酸28份、氟化鈣6份、硫酸銨3份、硫酸鎂2份、磷酸鉀8份、氟化氫鉀6份、硅酸鈉11份、氟硼酸鈉8份、瓊脂4份、海藻酸鈉5份、納米二氧化硅3份、防凍劑丙三醇0.5份、陰離子表面活性劑十二烷基磺酸鈉0.05份、硫酸溶液60份、去離子水160份；其中，硫酸溶液的質(zhì)量濃度為16%。

上述用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液的制備方法，包括以下步驟：

（1）在冰浴條件下，使用恒壓滴液漏斗將硫酸溶液緩慢滴加到去離子水中，混合攪拌45min后，再緩慢加入氫氟酸、磷酸，攪拌均勻后，放入超聲清洗機(jī)中超聲處理10min，得到混合酸溶液；超聲處理的頻率范圍為30～40khz，超聲功率為600w，超聲溫度為60℃。

（2）將混合酸溶液、氟化鈣、硫酸銨、硫酸鎂、磷酸鉀、氟化氫鉀、硅酸鈉、氟硼酸鈉、瓊脂、海藻酸鈉、納米二氧化硅、防凍劑、陰離子表面活性劑依次加入耐酸不銹鋼反應(yīng)釜，攪拌轉(zhuǎn)速為80r/min，升溫至150℃，攪拌45min后，陳化46小時(shí)得到該蝕刻液。

實(shí)施例6

一種用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液，包括以下重量份的原料：氫氟酸50份、磷酸30份、氟化鈣10份、硫酸銨6份、硫酸鎂6份、磷酸鉀10份、氟化氫鉀6份、硅酸鈉12份、氟硼酸鈉10份、瓊脂5份、海藻酸鈉6份、納米二氧化硅3份、防凍劑乙二醇丁醚醋酸酯0.6份、陰離子表面活性劑十二烷基苯磺酸鈉0.05份、硫酸溶液53份、去離子水158份；其中，硫酸溶液的質(zhì)量濃度為15%。

上述用于導(dǎo)電玻璃的蝕刻液的制備方法，包括以下步驟：

（1）在冰浴條件下，使用恒壓滴液漏斗將硫酸溶液緩慢滴加到去離子水中，混合攪拌42min后，再緩慢加入氫氟酸、磷酸，攪拌均勻后，放入超聲清洗機(jī)中超聲處理10min，得到混合酸溶液；超聲處理的頻率范圍為30～40khz，超聲功率為600w，超聲溫度為50℃。

（2）將混合酸溶液、氟化鈣、硫酸銨、硫酸鎂、磷酸鉀、氟化氫鉀、硅酸鈉、氟硼酸鈉、瓊脂、海藻酸鈉、納米二氧化硅、防凍劑、陰離子表面活性劑依次加入耐酸不銹鋼反應(yīng)釜，攪拌轉(zhuǎn)速為80r/min，升溫至150℃，攪拌50min后，陳化46小時(shí)得到該蝕刻液。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，本發(fā)明的保護(hù)范圍并不僅局限于上述實(shí)施例，凡屬于本發(fā)明思路下的技術(shù)方案均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理前提下的若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。