本實用新型涉及納米氧化鋅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及納米氧化鋅連續(xù)式制備裝置。

背景技術(shù)：

納米氧化鋅是一種新型高功能精細無機產(chǎn)品，由于顆粒尺寸的細微化，比表面積急劇增加，使得納米氧化鋅產(chǎn)生了其本體塊狀物料不具備的表面效應(yīng)、小尺寸效應(yīng)和宏觀量子隧道效應(yīng)等。因而，納米氧化鋅在磁、光、電、敏感等方面具有一般氧化鋅產(chǎn)品無法比擬的特殊性能和新用途。利用納米氧化鋅的紫外屏蔽能力，可制成紫外線過濾器、化妝品防曬霜；利用氧化鋅的電阻變化，可制成報警器、吸濕離子、傳導(dǎo)溫度計；利用氧化鋅半導(dǎo)體光敏理論，納米氧化鋅可作為高效光催化劑，用于降解廢水中有機污染物，凈化環(huán)境。由于納米氧化鋅具有許多優(yōu)異的性能，被廣泛地用于各個領(lǐng)域，受到科技工作者的廣泛關(guān)注。

目前，通過磁控濺射、激光脈沖等一系列物理方法進行晶種層的制備成本高，對襯底的質(zhì)量要求高，不易實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)；通過溶膠凝膠法制備晶種層耗時高，需要多步進行才能生長出晶種層，該晶種層的生長取向性不如磁控濺射、激光脈沖方法長出來的效果好。此為現(xiàn)有技術(shù)的不足之處。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的主要是為了解決上述技術(shù)問題，而提供納米氧化鋅連續(xù)式制備裝置。

本實用新型包括納米氧化鋅晶體生長襯底制作槽、噴霧裝置、機械手、氣動爪、納米氧化鋅高壓反應(yīng)釜、馬弗爐和自動控制器，所述噴霧裝置通過支架固定安裝在納米氧化鋅晶體生長襯底制作槽的頂部，所述機械手設(shè)置在納米氧化鋅晶體生長襯底制作槽一側(cè)，且機械手的活動范圍覆蓋納米氧化鋅晶體生長襯底制作槽，所述納米氧化鋅高壓反應(yīng)釜設(shè)有A電動蓋，所述馬弗爐設(shè)有B電動蓋，所述納米氧化鋅高壓反應(yīng)釜和馬弗爐分別設(shè)置在機械手的兩側(cè)，且位于機械手的活動臂的活動范圍內(nèi)，所述自動控制器分別與噴霧裝置、A電動蓋、B電動蓋、機械手和氣動爪的執(zhí)行器控制相連。噴霧裝置采用現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)，噴霧裝置用于醋酸鋅溶液沉積到溫度為300攝氏度的襯底上。

還有一組溫度傳感器，所述一組溫度傳感器分別監(jiān)測米氧化鋅晶體生長襯底制作槽、納米氧化鋅高壓反應(yīng)釜和馬弗爐的溫度，并與自動控制器通信相連。溫度傳感器選用已有的pt100溫度傳感器，將溫度變量轉(zhuǎn)換為可傳送的標(biāo)準(zhǔn)化輸出信號。

所述自動控制器是基于PLC的自動控制器，所述自動控制器上設(shè)有計時單元、機械手控制單元和測溫單元?；赑LC的可邏輯編程技術(shù)已經(jīng)很成熟，PLC控制器可以選擇市面上常用的型號。

所述機械手是五軸伺服機械手。機械手用于將襯底從高壓釜中取出，放入馬弗爐。

還有監(jiān)控攝像頭，所述監(jiān)控攝像頭監(jiān)測納米氧化鋅各生產(chǎn)設(shè)備的工作情況。監(jiān)控攝像頭選用常規(guī)攝像頭，市面上產(chǎn)品類型很多，屬于現(xiàn)有技術(shù)。

本實用新型優(yōu)點是：本實用新型提供納米氧化鋅連續(xù)式制備裝置，結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，控制器控制超聲噴霧裝置將醋酸鋅溶液沉積到溫度為300攝氏度的襯底上，在襯底上生長出晶種層，機械手將生長好晶種層的襯底放入高壓釜中，倒入硝酸鋅和六次甲基四胺配比組成的生長溶液，在一定溫度下生長計時單元設(shè)定的時間，當(dāng)高壓釜內(nèi)的測溫裝置測試到高壓釜降低到室溫后，機械手將襯底從高壓釜中取出，放入馬弗爐，在馬弗爐中進行快速退火，即得到氧化鋅納米結(jié)構(gòu)樣品。本實用新型減少晶種層制備的時間，能耗少，對襯底質(zhì)量要求低，且能生長出結(jié)晶質(zhì)量好的納米氧化鋅結(jié)構(gòu)，易于實現(xiàn)連續(xù)大規(guī)模生產(chǎn)。

附圖說明

圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實用新型電器控制原理示意圖。

圖中：1、納米氧化鋅晶體生長襯底制作槽；2、噴霧裝置；3、機械手；4、氣動爪；5、納米氧化鋅高壓反應(yīng)釜；5-1、A電動蓋；6、馬弗爐；6-1、B電動蓋；7、自動控制器；8、一組溫度傳感器；9、監(jiān)控攝像頭。

具體實施方式

為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式做詳細的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本實用新型。但是本實用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實用新型內(nèi)涵的情況下做類似改進，因此本實用新型不受下面公開的具體實施例的限制。

除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本實用新型的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本實用新型的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實施方式的目的，不是旨在于限制本實用新型。

如圖1、2所示，本實用新型包括納米氧化鋅晶體生長襯底制作槽1、噴霧裝置2、機械手3、氣動爪4、納米氧化鋅高壓反應(yīng)釜5、馬弗爐6和自動控制器7，所述噴霧裝置2通過支架固定安裝在納米氧化鋅晶體生長襯底制作槽1的頂部，所述機械手3設(shè)置在納米氧化鋅晶體生長襯底制作槽1一側(cè)，且機械手3的活動范圍覆蓋納米氧化鋅晶體生長襯底制作槽1，所述納米氧化鋅高壓反應(yīng)釜5設(shè)有A電動蓋5-1，所述馬弗爐6設(shè)有B電動蓋6-1，所述納米氧化鋅高壓反應(yīng)釜5和馬弗爐6分別設(shè)置在機械手3的兩側(cè)，且位于機械手3的活動臂的活動范圍內(nèi)，所述自動控制器7分別與噴霧裝置2、A電動蓋5-1、B電動蓋6-1、機械手3和氣動爪4的執(zhí)行器控制相連。噴霧裝置2采用現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)，噴霧裝置用于醋酸鋅溶液沉積到溫度為300攝氏度的襯底上。

還有一組溫度傳感器8，所述一組溫度傳感器8分別監(jiān)測米氧化鋅晶體生長襯底制作槽1、納米氧化鋅高壓反應(yīng)釜5和馬弗爐6的溫度，并與自動控制器7通信相連。溫度傳感器8選用已有的pt100溫度傳感器，將溫度變量轉(zhuǎn)換為可傳送的標(biāo)準(zhǔn)化輸出信號。

所述自動控制器7是基于PLC的自動控制器，所述自動控制器7上設(shè)有計時單元、機械手控制單元和測溫單元。基于PLC的可邏輯編程技術(shù)已經(jīng)很成熟，PLC控制器可以選擇市面上常用的型號。

所述機械手3是五軸伺服機械手。機械手用于將襯底從高壓釜中取出，放入馬弗爐。還有監(jiān)控攝像頭9，所述監(jiān)控攝像頭9監(jiān)測納米氧化鋅各生產(chǎn)設(shè)備的工作情況。監(jiān)控攝像頭9選用常規(guī)攝像頭，市面上產(chǎn)品類型很多，屬于現(xiàn)有技術(shù)。

工作方式及原理：控制器控制超聲噴霧裝置將醋酸鋅溶液沉積到溫度為300攝氏度的襯底上，在襯底上生長出晶種層，機械手將生長好晶種層的襯底放入高壓釜中，倒入硝酸鋅和六次甲基四胺配比組成的生長溶液，在一定溫度下生長計時單元設(shè)定的時間，當(dāng)高壓釜內(nèi)的測溫裝置測試到高壓釜降低到室溫后，機械手將襯底從高壓釜中取出，放入馬弗爐，在馬弗爐中進行快速退火，即得到氧化鋅納米結(jié)構(gòu)樣品。

以上所述實施例的各技術(shù)特征可以進行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實施例中的各個技術(shù)特征所有可能的組合都進行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾，都應(yīng)當(dāng)認為是本說明書記載的范圍。

以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。因此，本實用新型專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。