技術總結
本實用新型公開了一種電離氨清洗裝置，包括密封腔室、氨氣供給裝置以及用于對鍍膜前硅片進行電離氨清洗的清洗裝置，清洗裝置設置在密封腔室內，氨氣供給裝置通過管道與清洗裝置連通。上述電離氨清洗裝置結構簡單、使用方便、能有效提高硅片表面清潔度，很大程度上解決因晶體硅片表面沾污引起的成品電池外觀質量問題，具有很高的實用性。

技術研發(fā)人員：張大雨;田娜;楊雄磊;馬相龍
受保護的技術使用者：巨力新能源股份有限公司
文檔號碼：201720353014
技術研發(fā)日：2017.04.06
技術公布日：2017.11.14