技術總結(jié)
本實用新型提供了一種用于半導體級硅單晶爐的底部加熱器，它由發(fā)熱體、支撐柱、連接螺栓、支撐柱絕熱子、墊片組成，其特征在于：發(fā)熱體采用對稱式環(huán)形板狀結(jié)構(gòu)，其內(nèi)外環(huán)均勻設置多道溝槽、圓孔；支撐柱裝配于發(fā)熱體兩端設有的安裝定位孔位處，并通過連接螺栓分別與發(fā)熱體緊固連接；發(fā)熱體與支撐柱之間、支撐柱底部分別設有墊片；支撐柱絕熱子裝配于支撐柱內(nèi)孔中，通過與內(nèi)部收緊止口咬合固定。其優(yōu)點在于：增大發(fā)熱面積，提高溫度場的均勻與穩(wěn)定性；增加加熱器的柔性，有助于抵抗高熱負荷條件下的變形，延長其使用壽命；采用高純度石墨、固化碳氈等材料，減少爐內(nèi)污染，晶體純度得以顯著提高。

技術研發(fā)人員：潘清躍;姜宏偉
受保護的技術使用者：南京晶能半導體科技有限公司
文檔號碼：201720392783
技術研發(fā)日：2017.04.14
技術公布日：2017.11.14