玻璃基板的切割方法以及磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及玻璃基板的切割方法以及磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 例如，作為從形成為平板狀的玻璃板切割圓盤形狀的玻璃基板的制造方法，存在 如下的方法：從具有規(guī)定尺寸的正方形狀的玻璃板切出圓盤形狀的玻璃基板，對該玻璃基 板的表面進(jìn)行磨削加工而使其成為規(guī)定的厚度，然后對玻璃基板的端面進(jìn)行磨削/研磨 (例如參照專利文獻(xiàn)1)。此外，在從正方形的玻璃板切割圓盤形狀的玻璃基板之際，使用具 有圓筒形狀的金剛石磨輪的空心鉆進(jìn)行切割工序。像這樣形成為圓筒形狀的空心鉆利用金 屬結(jié)合劑將金剛石磨粒粘接于圓筒形狀的基體件的端部，且具有規(guī)定的鉆頭寬度。此外，在 利用空心鉆切割玻璃板之際，會(huì)受到金剛石磨粒的粒度、磨粒的集中度、粘接劑的種類、結(jié) 合度、磨削條件（旋轉(zhuǎn)速度、磨削液、進(jìn)給速度等）的影響。
[0003] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2008 - 243292號(hào)公報(bào)
[0004] 但是，在使旋轉(zhuǎn)的空心鉆的端部與玻璃板接觸來切割圓盤狀玻璃基板之際，根據(jù) 金剛石磨粒的粒度、磨粒的集中度、各磨粒的結(jié)合度等條件，當(dāng)作為磨削加工時(shí)的切削刃 的磨粒的大小、磨粒的形狀、各磨粒的間隔、保持各磨粒的結(jié)合力變化從而磨削能力（鋒利 度）降低時(shí)，存在容易在作為脆性材料的玻璃板產(chǎn)生破片（chipping)的問題。
[0005] 此外，在當(dāng)切割玻璃基板之際高速旋轉(zhuǎn)的空心鉆中，當(dāng)圓筒形狀的磨削部不是正 圓、或者在相對于基體件更換磨削部之際磨削部的中心從軸心（旋轉(zhuǎn)中心）偏離時(shí)會(huì)引起 振動(dòng)，無法確保磨削的精度。此外，空心鉆存在當(dāng)磨削加工時(shí)磨削部的金剛石砂輪形狀變形 而失去圓度的情況。
[0006] 因此，在空心鉆的制造工序以及維護(hù)中，進(jìn)行調(diào)整各磨粒的大小或形狀的偏差、各 磨粒從保持各磨粒的粘接劑層突出的突出量的偏差的修正/修銳（truinganddressing) 處理等調(diào)整作業(yè)。此時(shí)，對設(shè)置于空心鉆的磨削部的磨粒的形狀或突出量進(jìn)行整修的調(diào)整 作業(yè)耗費(fèi)時(shí)間，存在生產(chǎn)性降低的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 因此，鑒于上述情況，本發(fā)明的目的在于提供一種解決了上述課題的玻璃基板的 切割方法以及磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法。
[0008] 在一個(gè)方案中，提供一種玻璃基板的切割方法，使用空心鉆從玻璃板切割圓盤狀 玻璃基板，其特征在于，
[0009] 上述空心鉆具有圓筒形狀的磨削部，在該磨削部利用結(jié)合劑固定有磨粒，
[0010] 上述磨削部具有：
[0011] 前端部，在該前端部，上述磨粒以及上述結(jié)合劑露出；以及
[0012] 側(cè)面部，在該側(cè)面部，在上述圓筒形狀的側(cè)面的上述結(jié)合劑的表面形成保護(hù)膜，
[0013] 上述磨削部的磨粒含有量為體積比率6%~15%。
[0014] 根據(jù)一個(gè)方面，能夠利用形成于磨削部的側(cè)面的結(jié)合劑的表面的保護(hù)膜減輕摩擦 阻力，抑制磨削部的發(fā)熱，并且能夠抑制磨削部的磨削能力（鋒利度）的降低從而抑制從玻 璃板切割圓盤狀玻璃基板之際的破片的產(chǎn)生。此外，能夠使不進(jìn)行伴隨著研磨加工的磨削 部的修正/修銳處理而能夠連續(xù)加工的張數(shù)增加從而提高圓盤狀玻璃基板的生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0015] 圖1是示出玻璃基板的切割方法以及磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法的各工 序的一例的圖。
[0016] 圖2是示出從玻璃板拔出玻璃基板的工序的加工步驟的圖。
[0017] 圖3是不出從玻璃板拔出玻璃基板的工序的分解立體圖。
[0018] 圖4是例示玻璃基板的形狀的立體圖。
[0019] 圖5是示出內(nèi)徑加工用空心鉆的結(jié)構(gòu)的縱剖視圖。
[0020] 圖6是示出外徑加工用空心鉆的結(jié)構(gòu)的圖。
[0021] 圖7是將各空心鉆的磨削部放大示出的縱剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022] 以下，參照附圖對用于實(shí)施本發(fā)明的方式進(jìn)行說明。
[0023] [實(shí)施方式1]
[0024] 圖1是示出玻璃基板的切割方法以及磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法的各工 序的一例的圖。圖2是示出從玻璃板拔出玻璃基板的工序的加工步驟的圖。圖3是示出從 玻璃板拔出玻璃基板的工序的分解立體圖。
[0025] 此處，參照圖1~圖3對使用空心鉆從玻璃板切割玻璃基板的方法以及磁記錄介 質(zhì)用玻璃基板的制造方法的各工序進(jìn)行說明。
[0026] [玻璃板的加工工序]
[0027]準(zhǔn)備將利用浮法（floatprocess)、加壓成形法（pressforming)、重新引下法 (redrawprocess)或者恪融法（fusionmethod)等成形為板狀的玻璃板切割成規(guī)定長度的 四邊形狀（長方形狀或者正方形狀）的玻璃板。此外，玻璃板被加工成與作為產(chǎn)品的玻璃 基板的規(guī)格相應(yīng)的規(guī)定厚度（S11)。
[0028] [拔出工序]
[0029] 使用高速旋轉(zhuǎn)的內(nèi)徑加工用、外徑加工用空心鉆拔出圓盤狀玻璃基板（S12)。
[0030] 此處，參照圖2的（A)~（D)對拔出工序的加工步驟進(jìn)行說明。
[0031] 如圖2的（A)所示，在加工步驟1中，將切割成正方形狀的玻璃板10裝配于空心 鉆加工機(jī)的工作臺(tái)20。然后，以使得被夾在工作臺(tái)20上的玻璃基板10的中心與內(nèi)徑加工 用空心鉆40的旋轉(zhuǎn)中心一致的方式進(jìn)行定位。在工作臺(tái)20的上表面，設(shè)置有供內(nèi)徑加工 用空心鉆40的磨削部插入的貫通孔22、以及供形成為圓筒形狀的外徑加工用空心鉆50的 磨削部插入的環(huán)狀凹部24。另外，貫通孔22、環(huán)狀凹部24設(shè)置成在切割加工時(shí)不與空心鉆 40、50的磨削部接觸。
[0032] 如圖2的⑶所示，在加工步驟2中，使內(nèi)徑加工用空心鉆40 -邊高速旋轉(zhuǎn)一邊 下降，使形成為圓筒形狀的磨削部（金剛石砂輪）42的前端（端部）與玻璃板10的上表面 接觸。因此，利用內(nèi)徑加工用空心鉆40進(jìn)行的磨削加工開始，并且朝磨削部42供給磨削液 (冷卻劑）。然后，內(nèi)徑加工用空心鉆40下降，由此磨削部42貫通玻璃板10,從而內(nèi)周部分 被從玻璃板10切割。由此，在玻璃板10的中心形成有中心孔。
[0033] 如圖2的（C)所示，在加工步驟3中，使外徑加工用空心鉆50從上方下降。外徑 加工用空心鉆50的旋轉(zhuǎn)中心與內(nèi)徑加工用空心鉆40同軸，因此，也以與玻璃板10的中心 一致的方式被定位。
[0034] 如圖2的（D)所示，在加工步驟4中，使外徑加工用空心鉆50 -邊高速旋轉(zhuǎn)一邊 下降，使形成為圓筒形狀的磨削部（金剛石砂輪）52的前端（端部）與玻璃板10的上表面 接觸。因此，利用外徑加工用空心鉆50進(jìn)行的磨削加工開始，并且朝磨削部52供給磨削液 (冷卻劑）。然后，使外徑加工用空心鉆50下降，由此磨削部52貫通玻璃板10,從而圓盤狀 玻璃基板100被從玻璃板10切割。
[0035] 如圖2的（E)所示，在切割完成后，外徑加工用空心鉆50上升，在工作臺(tái)20上殘 留有切割而成的圓盤狀玻璃基板100、以及與該圓盤狀玻璃基板100分離的角部16。之后， 圓盤狀玻璃基板100作為產(chǎn)品被回收，而角部16被除去。
[0036] 如圖3所示，借助利用內(nèi)徑加工用空心鉆40與外徑加工用空心鉆50進(jìn)行的磨削 加工，圓盤狀玻璃基板100和內(nèi)周部分110被從玻璃板10切割并單獨(dú)地分離。因此，在正 方形狀的玻璃板10的中心切出具有同心圓狀的大徑、小徑的圓形切割面的圓盤狀玻璃基 板 100〇
[0037] 另一方面，在玻璃板10,通過圓盤狀玻璃基板100被拔出，殘留有與該圓盤狀玻璃 基板100的外周對應(yīng)的圓形孔12。該圓形孔12位于正方形的玻璃板10的中心，因此，與玻 璃板10的各邊之間的相連部分14的寬度窄于玻璃板10的角部16的寬度。因此，在圓盤 狀玻璃基板100被從玻璃板10切割之際，寬度窄的相連部分14變得脆弱，在磨削部42、52 貫通玻璃板10之際，在圓盤狀玻璃基板100產(chǎn)生破片的可能性高。但是，在本實(shí)施方式中， 借助利用后述的外徑加工用空心鉆50進(jìn)行的切割方法，能夠抑制該破片的產(chǎn)生。
[0038] 此處，再次返回圖1，對圓盤狀玻璃基板的制造方法的各工序進(jìn)行說明。
[0039] [倒角工序]
[0040] 利用旋轉(zhuǎn)的倒角用砂輪對所切出的圓盤狀玻璃基板的外周端面以及內(nèi)周端面進(jìn) 行磨削，進(jìn)行外周端面以及內(nèi)周端面的各倒角加工（S13)。
[0041] 圖4是例示圓盤狀玻璃基板的形狀的圖。如圖4所示，利用空心鉆40、50將圓盤 狀玻璃基板100的內(nèi)周端面103以及外周端面105切割成圓形形狀，并從玻璃板10拔出該 圓盤狀玻璃基板100。此外，在從玻璃板10切割內(nèi)周端面103