座92沿第二軌跡直線運(yùn)動(dòng)，又可以轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而使與主軸17連接的沉積基底可沿X-Y-Z軸移動(dòng)，并繞Z軸旋轉(zhuǎn)，沉積基底的沉積面擴(kuò)大，合成石英玻璃熔制過程中3102顆粒分布更均勻，溫度場也分布更均勻，使得制備出的石英玻璃產(chǎn)品的光學(xué)均勻性較佳。其中，通過本實(shí)用新型實(shí)施例石英玻璃制砣機(jī)合成的石英玻璃的光學(xué)均勻性由IX 10 5提高到(2?5) X 10 6O
[0041]這里需要說明的是:為了實(shí)現(xiàn)上述的主軸17可轉(zhuǎn)動(dòng)地豎直設(shè)置在第二滑座92上的目的，本實(shí)用新型實(shí)施例可以提供如下的實(shí)施方式:如圖1所示，第二滑座92上可以設(shè)置主軸箱12，該主軸箱12上可以設(shè)置蝸輪蝸桿減速機(jī)(圖中未標(biāo)示)和旋轉(zhuǎn)電機(jī)13。該蝸輪蝸桿減速機(jī)包括輸入端和輸出端，旋轉(zhuǎn)電機(jī)13的輸出端與蝸輪蝸桿減速機(jī)的輸入端驅(qū)動(dòng)連接，蝸輪蝸桿減速機(jī)的輸出端與主軸17驅(qū)動(dòng)連接，以驅(qū)動(dòng)主軸17轉(zhuǎn)動(dòng)。其中，主軸箱12上可以設(shè)置有注油孔15、泄油孔16和油位器14，以便于對主軸箱12內(nèi)部機(jī)構(gòu)進(jìn)行潤滑。
[0042]具體在實(shí)施時(shí)，如圖2和圖3所示，上述的升降機(jī)構(gòu)可以包括升降絲杠5、絲杠螺母23和升降動(dòng)力裝置。升降絲杠5可升降地豎直設(shè)置在底座I上。該升降絲杠5作為升降機(jī)構(gòu)的輸出端與升降座8連接。優(yōu)選的，升降絲杠5的頂端與升降座8連接(如圖1所示)。絲杠螺母23套設(shè)在升降絲杠5上，且與升降絲杠5的外壁螺紋連接。絲杠螺母23可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在底座I上，絲杠螺母23包括旋轉(zhuǎn)動(dòng)力輸入端。升降動(dòng)力裝置的輸出端與旋轉(zhuǎn)動(dòng)力輸入端驅(qū)動(dòng)連接。其中，升降絲杠5和絲杠螺母23形成絲杠螺母副。由于絲杠螺母23可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在底座I上，當(dāng)升降動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)絲杠螺母23轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，升降絲杠5升降運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)升降座8一起升降運(yùn)動(dòng)。
[0043]當(dāng)然，在一個(gè)替代的實(shí)施例中，前述的升降機(jī)構(gòu)也可以不包括升降絲杠5、絲杠螺母23和升降動(dòng)力裝置。在該替代的實(shí)施例中，前述的升降機(jī)構(gòu)可以包括驅(qū)動(dòng)缸，該驅(qū)動(dòng)缸可以為液壓缸或氣壓缸等。驅(qū)動(dòng)缸的輸出軸與升降座8連接，以驅(qū)動(dòng)升降座8升降。其中，升降機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)可以根據(jù)用戶的實(shí)際需求設(shè)置，只要保證升降機(jī)構(gòu)可以驅(qū)動(dòng)升降座8升降位移即可。
[0044]具體在實(shí)施時(shí)，如圖2和圖3所示，前述的底座I可以包括基座102和傳動(dòng)箱101。傳動(dòng)箱101設(shè)置在基座102上。傳動(dòng)箱101具有內(nèi)腔。絲杠螺母23置于傳動(dòng)箱101內(nèi)部，升降絲杠5穿過該傳動(dòng)箱101?；?02具有供升降絲杠5升降的升降空間。在一個(gè)實(shí)施例中，絲杠螺母23可以整體為單個(gè)部件，絲杠螺母23下端的側(cè)壁沿徑向向內(nèi)凹陷形成第一卡臺(圖中未標(biāo)示)。內(nèi)腔的上腔壁上設(shè)有與絲杠螺母23的上端相適配的第一軸孔(圖中未標(biāo)示)。內(nèi)腔的下腔壁上設(shè)有與絲杠螺母23的下端相適配的第二軸孔(圖中未標(biāo)示)。絲杠螺母23的上端插入第一軸孔內(nèi)，絲杠螺母23的下端插入第二軸孔內(nèi)。第一卡臺與第二軸孔的上端面轉(zhuǎn)動(dòng)配合。絲杠螺母23在兩端之間的外環(huán)壁上設(shè)有驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)作為前述的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力輸入端。其中，第一軸孔和第二軸孔可以保證絲杠螺母23的自由轉(zhuǎn)動(dòng)，并且還可以對絲杠螺母23提供穩(wěn)定的徑向支撐。第二軸孔的上端面通過第一卡臺對絲杠螺母23提供軸向支撐。
[0045]這里需要說明的是:上述的基座102可以由水泥、鋼鐵等重量較重的材料制成，基座102的重量較大，可以為整個(gè)設(shè)備提供穩(wěn)定的支撐。水泥基座可以埋設(shè)在地面內(nèi)，水泥基座內(nèi)設(shè)有供升降絲杠5插入的導(dǎo)向筒(圖中未標(biāo)示)，該導(dǎo)向筒可以對升降絲杠5導(dǎo)向，以提高升降絲杠5的升降精度。
[0046]進(jìn)一步的，為了減小絲杠螺母23在旋轉(zhuǎn)時(shí)，第一卡臺與第二軸孔的上端面之間的摩擦阻力，本實(shí)用新型實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)還可以包括推力球軸承231。該推力球軸承231設(shè)置在傳動(dòng)箱101內(nèi)，推力球軸承231的內(nèi)圈作為前述的第二軸孔，推力球軸承231上環(huán)的端面作為第二軸孔的上端面。通過設(shè)置的推力球軸承231，當(dāng)絲杠螺母23轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，絲杠螺母23通過第一卡臺帶動(dòng)推力球軸承231的上環(huán)一起轉(zhuǎn)動(dòng)，從而可以將絲杠螺母23與第二軸孔上端面之間的滑動(dòng)摩擦轉(zhuǎn)化為推力球軸承231的滾動(dòng)摩擦，以減小摩擦阻力。
[0047]推力球軸承231采用高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)可承受推力載荷的設(shè)計(jì)，由帶有球滾動(dòng)的滾道溝的墊圈狀套圈構(gòu)成。推力球軸承231可承受軸向載荷，以對絲杠螺母23提供支撐。
[0048]如圖1和圖2所示，前述的升降動(dòng)力裝置可以包括諧波減速機(jī)4、第一升降電機(jī)2和第二升降電機(jī)3。諧波減速機(jī)4設(shè)置在傳動(dòng)箱101上，諧波減速機(jī)4包括第一輸入端、第二輸入端和輸出端。諧波減速機(jī)4的輸出端作為前述升降動(dòng)力裝置的輸出端。第一升降電機(jī)2輸出端與第一輸入端驅(qū)動(dòng)連接。第二升降電機(jī)3的輸出端與第二輸入端驅(qū)動(dòng)連接。其中，諧波減速機(jī)4的具體結(jié)構(gòu)為現(xiàn)有技術(shù)中的常用技術(shù)，可以根據(jù)需要在現(xiàn)有技術(shù)中選取，在此不再贅述。
[0049]上述的諧波減速機(jī)4可以為雙速比諧波減速機(jī)，第一升降電機(jī)2和第二升降電機(jī)3分別通過該雙速比諧波減速機(jī)控制升降座8的快速升降和慢速升降。在一個(gè)具體的應(yīng)用示例中，該諧波減速機(jī)4的快速減速比為20，慢速減速比為10萬。
[0050]上述的第一升降電機(jī)2和第二升降電機(jī)3可以設(shè)置在諧波減速機(jī)4上，也可以單獨(dú)設(shè)置在一側(cè)，具體可以根據(jù)用戶的實(shí)際需求設(shè)置，只要保證第一升降電機(jī)2的輸出端與第一輸入端驅(qū)動(dòng)連接，第二升降電機(jī)3的輸出端與第二輸入端驅(qū)動(dòng)連接即可。
[0051]上述的第一升降電機(jī)2和第二升降電機(jī)3可以均為伺服電機(jī)，用戶可以通過PLC和工控機(jī)對伺服電機(jī)進(jìn)行控制，可靈活編制沉積基地的運(yùn)行軌跡。其中，第一升降電機(jī)2上帶抱閘，以進(jìn)行急?？刂啤?br>[0052]如圖2所示，諧波減速機(jī)4的輸出端連接有輸出軸。該輸出軸上固定地套置有主動(dòng)齒輪21。前述絲杠螺母23上的驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)為齒輪結(jié)構(gòu)。諧波減速機(jī)4的輸出端通過該主動(dòng)齒輪21與驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)連接。其中，采用齒輪驅(qū)動(dòng)連接，傳動(dòng)精度較高。
[0053]如圖2和圖3所示，本實(shí)用新型實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)可以包括旋轉(zhuǎn)編碼器24。旋轉(zhuǎn)編碼器24設(shè)置在傳動(dòng)箱101上。諧波減速機(jī)4的輸出端與旋轉(zhuǎn)編碼器24的輸入軸驅(qū)動(dòng)連接。因?yàn)橹C波減速機(jī)4還作為升降機(jī)構(gòu)的動(dòng)力輸入裝置，通過旋轉(zhuǎn)編碼器24對升降機(jī)構(gòu)的升降位置進(jìn)行測量定位。
[0054]旋轉(zhuǎn)編碼器24是可以實(shí)現(xiàn)高精度速度和位移測試的裝置，光電式旋轉(zhuǎn)編碼器24通過光電轉(zhuǎn)換，可將輸出軸的角位移、角速度等機(jī)械量轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電脈沖以數(shù)字量輸出(REP)。旋轉(zhuǎn)編碼器24精度高、體積小、易于密封，在工業(yè)環(huán)境下使用壽命長。旋轉(zhuǎn)編碼器24的具體結(jié)構(gòu)為現(xiàn)有技術(shù)中的常用技術(shù)，可以根據(jù)需要在現(xiàn)有技術(shù)中進(jìn)行選取，在此不再贅述。
[0055]這里需要說明的是:上述的旋轉(zhuǎn)編碼器可以為增量式旋轉(zhuǎn)編碼器，增量式旋轉(zhuǎn)編碼器是將位移轉(zhuǎn)換成周期性的電信號，再把這個(gè)電信號轉(zhuǎn)變成計(jì)數(shù)脈沖，用脈沖的個(gè)數(shù)表示位移的大小。當(dāng)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器不動(dòng)或停電時(shí)，依靠計(jì)數(shù)設(shè)備的內(nèi)部記憶來記住位置。上述的旋轉(zhuǎn)編碼器也可以為絕對式旋轉(zhuǎn)編碼器，具有與每個(gè)位置對應(yīng)的唯一性，無需掉電記憶。
[0056]具體在實(shí)施時(shí)，如圖2和圖3所示，上述旋轉(zhuǎn)編碼器24的輸入軸上可以固定地套置有第一測距齒輪262。諧波減速機(jī)4上的主動(dòng)齒輪21與第一測距齒輪262驅(qū)動(dòng)連接。
[0057]從上文的描述，如圖2和圖3所示，本實(shí)用新型實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)可以包括第一傳動(dòng)軸25，第一傳動(dòng)軸25可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在傳動(dòng)箱101上。第一傳動(dòng)軸25上分別固定地套置有第一傳動(dòng)齒輪222和第二測距齒輪261。第二測距齒輪261與第一測距齒輪262嚙合傳動(dòng)。第一傳動(dòng)齒輪222置于主動(dòng)齒輪21和齒輪結(jié)構(gòu)之間，主動(dòng)齒輪21與第一傳動(dòng)齒輪222傳動(dòng)連接，第一傳動(dòng)齒輪222與齒輪結(jié)構(gòu)嚙合傳動(dòng)。
[0058]進(jìn)一步的，如圖2和圖3所示，上述實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)還可以包括第二傳動(dòng)軸(圖中未標(biāo)示)，第二傳動(dòng)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在傳動(dòng)箱101上。第二傳動(dòng)軸上固定地套置有第二傳動(dòng)齒輪221，第二傳動(dòng)齒輪221置于第一傳動(dòng)齒輪222和主動(dòng)齒輪21之間。主動(dòng)齒輪21與第二傳動(dòng)齒輪221嚙合傳動(dòng)，第二傳動(dòng)齒輪221與第一傳動(dòng)齒輪222嚙合傳動(dòng)。其中，一方面，主動(dòng)齒輪21可以依次通過第二傳動(dòng)齒輪221、第一傳動(dòng)齒輪222、第二測距齒輪261和第一測距齒輪262驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)編碼器24轉(zhuǎn)動(dòng)。另一方面，主動(dòng)齒輪21可以依次通過第二傳動(dòng)齒輪221、第一傳動(dòng)齒輪222和齒輪結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)絲杠螺母23轉(zhuǎn)動(dòng)。在本實(shí)施例中，通過齒輪進(jìn)行傳動(dòng)，傳動(dòng)精度較高。
[0059]如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)還可以包括導(dǎo)向柱6。傳動(dòng)箱101上設(shè)