上，燃燒器205與燃燒器204間隔設(shè)置，用于向反應(yīng)爐201內(nèi)輸入氫氧焰。
[0078]在上述實(shí)施例中，含硅前驅(qū)體(通常采用SiCl4)原料在反應(yīng)爐201內(nèi)的氫氧焰中發(fā)生水解或氧化反應(yīng)生成S12納米顆粒，S1 2納米顆粒沉積并熔融在沉積基底的基底底片上形成所需的石英玻璃。
[0079]5丨02顆粒在基礎(chǔ)底片203上沉積熔融成為石英玻璃，S1 2顆粒束在基礎(chǔ)底片203上的落點(diǎn)，稱(chēng)為“料點(diǎn)”。
[0080]在 ^具體的應(yīng)用不例中，如圖6所不，基礎(chǔ)底片203呈圓柱狀，基礎(chǔ)底片203的外徑為600mm。燃燒器204的料點(diǎn)位于基礎(chǔ)底片203的中心，燃燒器205的料點(diǎn)位于距基礎(chǔ)底片203中心120mm。當(dāng)基礎(chǔ)底片203繞Z軸旋轉(zhuǎn)，并沿X軸和Y軸勻速平移時(shí)，兩個(gè)料點(diǎn)以基礎(chǔ)底片203的中心為圓心，燃燒器204的料點(diǎn)以基礎(chǔ)底片203的中心為起點(diǎn)向四周螺旋移動(dòng)，燃燒器205的料點(diǎn)以距基礎(chǔ)底片203中心120mm為起點(diǎn)向四周螺旋移動(dòng)。此種方式同時(shí)保證了料點(diǎn)和高溫面的分布，利于大尺寸、高均勻石英玻璃的制備。
[0081]這里需要說(shuō)明的是:上述燃燒器的數(shù)量還可以為兩個(gè)以上，不局限于兩個(gè)，燃燒器的數(shù)量可以根據(jù)用戶(hù)的實(shí)際需求以及反應(yīng)爐的具體尺寸進(jìn)行確定。
[0082]以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種石英玻璃制砣機(jī)，其特征在于，包括: 底座； 升降座； 升降機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述底座上，所述升降機(jī)構(gòu)的輸出端與所述升降座連接，以驅(qū)動(dòng)所述升降座升降； 第一滑座，設(shè)置在所述升降座上； 第一驅(qū)動(dòng)裝置，其輸出端與所述第一滑座驅(qū)動(dòng)連接，用于驅(qū)動(dòng)所述第一滑座在所述升降座上沿第一軌跡直線運(yùn)動(dòng)； 第二滑座，設(shè)置在所述第一滑座上； 第二驅(qū)動(dòng)裝置，其輸出端與所述第二滑座驅(qū)動(dòng)連接，用于驅(qū)動(dòng)所述第二滑座在所述第一滑座上沿第二軌跡直線運(yùn)動(dòng)；所述第二軌跡的方向與所述第一軌跡的方向垂直； 主軸，可轉(zhuǎn)動(dòng)地豎直設(shè)置在所述第二滑座上，所述主軸的頂端設(shè)有連接部，所述連接部用于安裝制備石英玻璃的沉積基底； 其中，所述連接部置于所述石英玻璃制砣機(jī)的頂端。2.如權(quán)利要求1所述的石英玻璃制砣機(jī)，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)包括: 升降絲杠，可升降地豎直設(shè)置在所述底座上，所述升降絲杠作為所述升降機(jī)構(gòu)的輸出端; 絲杠螺母，套設(shè)在所述升降絲杠上，且與所述升降絲杠的外壁螺紋連接，所述絲杠螺母可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述底座上，所述絲杠螺母包括旋轉(zhuǎn)動(dòng)力輸入端； 升降動(dòng)力裝置，其輸出端與所述旋轉(zhuǎn)動(dòng)力輸入端驅(qū)動(dòng)連接。3.如權(quán)利要求2所述的石英玻璃制砣機(jī)，其特征在于， 所述底座包括基座和設(shè)置在所述基座上的傳動(dòng)箱，所述傳動(dòng)箱具有內(nèi)腔； 所述升降絲杠穿過(guò)所述傳動(dòng)箱； 所述內(nèi)腔的上腔壁上設(shè)有與所述絲杠螺母的上端相適配的第一軸孔，所述內(nèi)腔的下腔壁上設(shè)有與所述絲杠螺母的下端相適配的第二軸孔； 所述絲杠螺母置于所述傳動(dòng)箱內(nèi)部，所述絲杠螺母的上端插入所述第一軸孔內(nèi)，所述絲杠螺母的下端插入所述第二軸孔內(nèi)； 所述絲杠螺母下端的側(cè)壁沿徑向向內(nèi)凹陷形成第一卡臺(tái)，所述第一卡臺(tái)與所述第二軸孔的上端面轉(zhuǎn)動(dòng)配合； 所述絲杠螺母在兩端之間的外環(huán)壁上設(shè)有驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)作為所述的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力輸入端。4.如權(quán)利要求3所述的石英玻璃制砣機(jī)，其特征在于，還包括: 推力球軸承，設(shè)置在所述傳動(dòng)箱內(nèi)，所述推力球軸承的內(nèi)圈作為所述的第二軸孔，所述推力球軸承上環(huán)的端面作為所述第二軸孔的上端面。5.如權(quán)利要求3或4所述的石英玻璃制砣機(jī)，其特征在于， 所述升降動(dòng)力裝置包括: 諧波減速機(jī)，設(shè)置在所述傳動(dòng)箱上，所述諧波減速機(jī)包括第一輸入端、第二輸入端和輸出端；所述諧波減速機(jī)的輸出端作為所述升降動(dòng)力裝置的輸出端； 第一升降電機(jī)，其輸出端與所述第一輸入端驅(qū)動(dòng)連接； 第二升降電機(jī)，其輸出端與所述第二輸入端驅(qū)動(dòng)連接。6.如權(quán)利要求5所述的石英玻璃制砣機(jī)，其特征在于， 所述諧波減速機(jī)的輸出端連接有輸出軸； 所述輸出軸上固定地套置有主動(dòng)齒輪； 所述驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)為齒輪結(jié)構(gòu)； 所述諧波減速機(jī)的輸出端通過(guò)所述主動(dòng)齒輪與所述驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)連接。7.如權(quán)利要求6所述的石英玻璃制砣機(jī)，其特征在于，還包括旋轉(zhuǎn)編碼器； 所述旋轉(zhuǎn)編碼器設(shè)置在所述傳動(dòng)箱上； 所述旋轉(zhuǎn)編碼器的輸入軸上固定地套置有第一測(cè)距齒輪； 所述主動(dòng)齒輪與所述第一測(cè)距齒輪驅(qū)動(dòng)連接。8.如權(quán)利要求7所述的石英玻璃制砣機(jī)，其特征在于，還包括: 第一傳動(dòng)軸，可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述傳動(dòng)箱上，所述第一傳動(dòng)軸上分別固定地套置有第一傳動(dòng)齒輪和第二測(cè)距齒輪；所述第二測(cè)距齒輪與所述第一測(cè)距齒輪嚙合傳動(dòng)；所述第一傳動(dòng)齒輪與所述齒輪結(jié)構(gòu)嚙合傳動(dòng)； 第二傳動(dòng)軸，可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述傳動(dòng)箱上，所述第二傳動(dòng)軸上固定地套置有第二傳動(dòng)齒輪，所述第二傳動(dòng)齒輪置于所述第一傳動(dòng)齒輪和所述主動(dòng)齒輪之間，所述主動(dòng)齒輪與所述第二傳動(dòng)齒輪嚙合傳動(dòng)，所述第二傳動(dòng)齒輪與所述第一傳動(dòng)齒輪嚙合傳動(dòng)。9.如權(quán)利要求3至4、6至8中任一項(xiàng)所述的石英玻璃制砣機(jī)，其特征在于，還包括: 導(dǎo)向柱，所述傳動(dòng)箱上設(shè)有貫穿的導(dǎo)向孔，所述導(dǎo)向柱豎直地插入所述導(dǎo)向孔內(nèi)，所述導(dǎo)向柱的上端與所述升降座連接； 其中，所述導(dǎo)向柱的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述導(dǎo)向柱繞所述升降絲杠均勻分布。10.如權(quán)利要求9所述的石英玻璃制砣機(jī)，其特征在于， 所述升降絲杠的外壁和所述導(dǎo)向柱的外壁兩者在所述升降座和所述傳動(dòng)箱之間的部分均包覆有鋁箔布。11.如權(quán)利要求9所述的石英玻璃制砣機(jī)，其特征在于，還包括自動(dòng)潤(rùn)滑栗和分油器； 所述自動(dòng)潤(rùn)滑栗的輸出口與所述分油器的輸入口連接； 所述分油器的輸出口通過(guò)多個(gè)油管分別延伸至所述升降絲杠處和所述導(dǎo)向柱處。12.如權(quán)利要求1至4、6至8、10至11中任一項(xiàng)所述的石英玻璃制砣機(jī)，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置包括: 第一平移絲杠，可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述升降座上； 第一平移電機(jī)，設(shè)置在所述升降座上，所述第一平移電機(jī)的輸出端與所述第一平移絲杠驅(qū)動(dòng)連接，用于驅(qū)動(dòng)所述第一平移絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)； 其中，所述第一滑座套設(shè)在所述第一平移絲杠的外壁上，且與所述第一平移絲杠螺紋連接，所述第一平移絲杠形成所述的第一軌跡。13.如權(quán)利要求1至4、6至8、10至11中任一項(xiàng)所述的石英玻璃制砣機(jī)，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置包括: 第二平移絲杠，可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述第一滑座上； 第二平移電機(jī)，設(shè)置在所述第一滑座上，所述第二平移電機(jī)的輸出端與所述第二平移絲杠驅(qū)動(dòng)連接，用于驅(qū)動(dòng)所述第二平移絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)； 其中，所述第二滑座套設(shè)在所述第二平移絲杠的外壁上，且與所述第二平移絲杠螺紋連接，所述第二平移絲杠形成所述的第二軌跡。14.如權(quán)利要求1至4、6至8、10至11中任一項(xiàng)所述的石英玻璃制砣機(jī)，其特征在于，還包括: 重量傳感器，設(shè)置在所述升降座上，用于感應(yīng)所述第一滑座上的重量并反饋石英玻璃的生長(zhǎng)重量。15.一種石英玻璃制備系統(tǒng)，其特征在于，包括: 石英玻璃制砣機(jī)，所述石英玻璃制砣機(jī)為權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的石英玻璃制砣機(jī)； 反應(yīng)爐，所述反應(yīng)爐的下端具有開(kāi)口 ； 沉積基底，包括基礎(chǔ)桿和基礎(chǔ)底片，所述基礎(chǔ)桿的一端與所述基礎(chǔ)底片連接，所述基礎(chǔ)桿的另一端與所述石英玻璃制蛇機(jī)的主軸上的連接部固定連接；所述基礎(chǔ)底片從所述反應(yīng)爐下端的開(kāi)口插入所述反應(yīng)爐內(nèi)，用于沉積石英玻璃； 燃燒器，設(shè)置在所述反應(yīng)爐上，用于向所述反應(yīng)爐內(nèi)輸入氫氧焰。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型是關(guān)于一種石英玻璃制砣機(jī)及石英玻璃制備系統(tǒng)，涉及石英玻璃制備領(lǐng)域，主要目的在于使制砣機(jī)能夠制備出大尺寸的石英玻璃，提高制備出的石英玻璃的光學(xué)均勻性。主要采用的技術(shù)方案為：石英玻璃制砣機(jī)，包括底座、升降座、升降機(jī)構(gòu)、第一滑座、第一驅(qū)動(dòng)裝置、第二滑座、第二驅(qū)動(dòng)裝置和主軸。升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在底座上，升降機(jī)構(gòu)的輸出端與升降座連接；第一滑座設(shè)置在升降座上；第一驅(qū)動(dòng)裝置與第一滑座驅(qū)動(dòng)連接；第二滑座設(shè)置在第一滑座上；第二驅(qū)動(dòng)裝置與第二滑座驅(qū)動(dòng)連接；第二軌跡的方向與第一軌跡的方向垂直；主軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地豎直設(shè)置在第二滑座上，主軸的頂端設(shè)有用于安裝石英玻璃的沉積基底的連接部；連接部置于石英玻璃制砣機(jī)的頂端。
【IPC分類(lèi)】C03B20/00
【公開(kāi)號(hào)】CN204848634
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520603029
【發(fā)明人】王玉芬, 王蕾, 向在奎, 饒傳東, 王宏杰
【申請(qǐng)人】中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院
【公開(kāi)日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年8月11日