1.一種co基有機(jī)配位納米顆粒，其特征在于，組成通式為：comrnqxmynz，其中，co為二價(jià)co和三價(jià)co兩種離子；m、n、x均大于0，y、z大于等于0；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的co基有機(jī)配位納米顆粒，其特征在于，所述納米顆粒結(jié)構(gòu)為co12(c6h5coo)12(ch3c2n2h3)12(ch3coo)18(h2o)6或co2(c7h7coo)4(ch3c2n2h3)2。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的co基有機(jī)配位納米顆粒的制備方法，其特征在于，具體包括以下步驟：將間甲基苯甲酸或苯甲酸、醋酸鈷分別加入燒瓶中，加入有機(jī)溶劑將所述間甲基苯甲酸或苯甲酸和所述醋酸鈷溶解，之后再加入1-甲基咪唑，在一定溫度條件下持續(xù)攪拌，在一定蒸汽壓力下旋蒸得到產(chǎn)物。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的co基有機(jī)配位納米顆粒的制備方法，其特征在于：所述間甲基苯甲酸或苯甲酸和所述醋酸鈷的摩爾比范圍為0.5～2，所述間甲基苯甲酸或苯甲酸：醋酸鈷：1-甲基咪唑的摩爾比范圍為1：1：(1～3)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的co基有機(jī)配位納米顆粒的制備方法，其特征在于：所述有機(jī)溶劑選自乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇單乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、1-乙氧基-2丙醇、四氫呋喃、甲醇、乙醇、丙醇中的任意一種或多種。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的co基有機(jī)配位納米顆粒的制備方法，其特征在于：攪拌溫度控制在25～125℃，旋蒸壓力范圍控制在70～140mbar，旋蒸溫度控制在30～45℃。
7.一種光刻膠組合物，包括如權(quán)利要求1或2所述的co基有機(jī)配位納米顆粒，光引發(fā)劑和有機(jī)分散溶劑，所述光引發(fā)劑占據(jù)組合物的0.5wt％-10wt％，納米顆粒占據(jù)組合物的3wt％-20wt％。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述光引發(fā)劑選自n-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸、1,4-氨基萘磺酸、2-氨基-5,7-萘二磺酸、叔丁基苯基碘鎓鹽全氟辛烷磺酸、三苯基锍全氟丁烷磺酸、三苯基锍全氟丁基和三苯基锍三氟磺酸中的任意一種或多種。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述有機(jī)分散溶劑選自乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇單乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、1-乙氧基-2丙醇、甲醇、乙醇、丙醇中的任意一種或多種。
10.一種形成光刻圖案的方法，其特征在于采用如權(quán)利要求7-9任一項(xiàng)所述的光刻膠組合物，將所述光刻膠組合物以旋涂方式滴加到基板上，并在熱臺(tái)上加熱，再用電子束或中紫外、深紫外、極紫外曝光，采用顯影劑顯影，旋涂轉(zhuǎn)速為1500～2500rpm；熱臺(tái)加熱溫度控制在50～80℃，加熱時(shí)間控制在40～120s，曝光劑量為50mj/cm2～500mj/cm2，顯影時(shí)間3-10s。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的形成光刻圖案的方法，其特征在于，所述顯影劑選自十氫化萘、四氫化萘、茚、茚滿(mǎn)、喹啉、1-甲基萘、甲苯、鄰二甲苯、間二甲苯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙醇、正丙醇、異丙醇、正丁醇、正己烷及環(huán)己烷中的任意一種或多種的混合物，顯影溫度為室溫或者20℃～50℃。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的形成光刻圖案的方法，其特征在于，除有機(jī)分散溶劑后的預(yù)成膜層的厚度可以為10nm～100nm。
13.權(quán)利要求1或2所述的co基有機(jī)配位納米顆粒的用途，主要用于電子束、中紫外、深紫外或極紫外光刻膠。