地板面上步行等而進(jìn)行作業(yè)的作業(yè)者有可能存在的高度的期間中，能夠進(jìn)行基于障礙物檢測部的檢測信息的障礙物的有無的判別。因此，能夠適當(dāng)?shù)貦z測在物品交接部位進(jìn)行作業(yè)的作業(yè)者。
[0022]在涉及本發(fā)明的頂棚輸送車的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，前述判定基準(zhǔn)高度被設(shè)定成比前述障礙物高度高出被前述升降體支承的物品的高度以上。
[0023]S卩，判定基準(zhǔn)高度被設(shè)定成比障礙物高度高出被升降體支承的物品的高度以上，因此，適當(dāng)考慮物品的高度，能夠抑制被升降體支承的物品與存在于其下方的障礙物的干擾。
[0024]在涉及本發(fā)明的頂棚輸送車的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，前述輸送對象的物品包括小物品，所述小物品在俯視觀察中的存在范圍的外緣比前述障礙物檢測部的安裝位置靠內(nèi)偵U，設(shè)置有獲得物品識別信息的物品識別信息獲得部，所述物品識別信息識別被前述升降體支承的前述輸送對象的物品是否是前述小物品，前述控制部構(gòu)成為，在基于由前述物品識別信息獲得部獲得的前述物品識別信息判別出前述輸送對象的物品是小物品的情況下，即使是前述升降體位于前述對象范圍內(nèi)的期間，也進(jìn)行基于前述障礙物檢測部的檢測信息的障礙物的有無的判別。
[0025]S卩，關(guān)于不是小物品的物品、即在俯視觀察中的存在范圍的外緣比障礙物檢測部的安裝位置靠外側(cè)的物品，如上述那樣，在升降體位于檢測作用范圍內(nèi)的期間中，障礙物檢測部發(fā)射的檢測光或檢測聲波被該物品遮擋。
[0026]因此，如上述那樣，在升降體位于設(shè)定為包含檢測作用范圍的對象范圍內(nèi)的期間中，需要進(jìn)行下述控制:不進(jìn)行基于障礙物檢測部的檢測信息的障礙物的有無的判別。
[0027]另一方面，關(guān)于在俯視觀察中的存在范圍的外緣比障礙物檢測部的安裝位置靠內(nèi)側(cè)的小物品，即使在升降體位于對象范圍內(nèi)時(shí)，障礙物檢測部發(fā)射的檢測光或檢測聲波也不被該小物品遮擋。因而，在此情況下，在升降體位于對象范圍內(nèi)的期間中不需要進(jìn)行下述控制:不進(jìn)行基于障礙物檢測部的檢測信息的障礙物的有無的判別。
[0028]因此，在基于由物品識別信息獲得部獲得的物品識別信息判別出輸送對象的物品是小物品的情況下，即使是升降體位于對象范圍內(nèi)的期間，也進(jìn)行基于障礙物檢測部的檢測信息的障礙物的有無的判別，由此能夠提供一種頂棚輸送車，所述頂棚輸送車能夠?qū)?yīng)被升降體支承的物品的尺寸更適當(dāng)?shù)貦z測障礙物。
【附圖說明】
[0029]圖1是實(shí)施方式的頂棚輸送車及具備它的半導(dǎo)體基板處理設(shè)備的立體圖。
[0030]圖2是頂棚輸送車的局部切除主視圖。
[0031]圖3是表示具備以往的障礙物檢測部的頂棚輸送車的小物品及大物品與檢測光的關(guān)系的圖。
[0032]圖4是表示本實(shí)施方式的頂棚輸送車的障礙物檢測部的檢測光發(fā)射方向的圖。
[0033]圖5是表示使物品升降時(shí)的障礙物檢測部的檢測光與物品的關(guān)系的圖。
[0034]圖6是控制塊圖。
[0035]圖7是表示控制部執(zhí)行的控制的流程圖。
[0036]圖8是其他實(shí)施方式的頂棚輸送車及具備它的半導(dǎo)體基板處理設(shè)備的立體圖。
[0037]圖9是表示判定基準(zhǔn)高度的另一設(shè)定例的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0038]基于附圖對將本發(fā)明的頂棚輸送車應(yīng)用到半導(dǎo)體基板處理設(shè)備中的情況進(jìn)行說明。
[0039]在半導(dǎo)體基板處理設(shè)備中，如圖1所示，行進(jìn)軌道2以經(jīng)由處理裝置3的站點(diǎn)3S的狀態(tài)設(shè)置在頂棚側(cè)，設(shè)有沿著行進(jìn)軌道2移動自如的頂棚輸送車I。頂棚輸送車I構(gòu)成為，將收納半導(dǎo)體基板的容器B作為輸送對象的物品，頂棚輸送車I在多個(gè)處理裝置3之間輸送容器B。例如，在處理裝置中，構(gòu)成為，相對于半導(dǎo)體基板的制造中途的半成品等進(jìn)行既定的處理。行進(jìn)軌道2借助行進(jìn)軌道用托架以固定狀態(tài)設(shè)置在頂棚部。
[0040]頂棚輸送車I如圖2所示，構(gòu)成為具備行進(jìn)部50、主體部21、升降體30和升降驅(qū)動部19，所述行進(jìn)部50具備在行進(jìn)軌道2上轉(zhuǎn)動的一對行進(jìn)車輪52和驅(qū)動該一對行進(jìn)車輪52的行進(jìn)驅(qū)動部51，所述主體部21以懸掛狀態(tài)被行進(jìn)部50支承，所述升降體30具備將容器B的凸緣部Bf以懸掛狀態(tài)把持的把持部32，并被升降驅(qū)動部19升降驅(qū)動，所述升降驅(qū)動部19固定在主體部21的上部，并升降驅(qū)動升降體30。升降驅(qū)動部19具備金屬線卷取滾筒和滾筒驅(qū)動用馬達(dá)，所述金屬線卷取滾筒卷繞有一端連接于升降體30的金屬線19a，升降驅(qū)動部19能夠通過使?jié)L筒驅(qū)動用馬達(dá)正轉(zhuǎn)并將金屬線19a卷取來使升降體30上升，通過使?jié)L筒驅(qū)動用馬達(dá)反轉(zhuǎn)并將金屬線19a放出來使升降體30下降。在升降驅(qū)動部19中的滾筒驅(qū)動用馬達(dá)的附近，設(shè)有旋轉(zhuǎn)編碼器S2，所述旋轉(zhuǎn)編碼器S2作為升降位置檢測部，通過檢測滾筒驅(qū)動用馬達(dá)的轉(zhuǎn)速來檢測升降體30的升降位置。
[0041]主體部被主體罩C覆蓋，使得當(dāng)升降體30位于升降上限位置時(shí)，該升降體30及被其支承的容器B在側(cè)面觀察中位于該主體罩C的內(nèi)部。此外，主體罩C的在俯視觀察中與行進(jìn)部50的行進(jìn)方向正交的橫寬方向的兩側(cè)是開口的。
[0042 ]升降驅(qū)動部19為了使容器在容器B被作為物品交接部位的站點(diǎn)3 S的載置臺3D支承的位置(交接用位置Pd)與上述升降上限位置(輸送用位置Pu)之間升降，使升降體30升降移動。
[0043]S卩，頂棚輸送車I構(gòu)成為，具備行進(jìn)部50、主體部21和升降體30，所述行進(jìn)部50沿著從頂棚懸掛的行進(jìn)軌道2行進(jìn)自如，所述主體部21被從行進(jìn)部50懸掛支承并與行進(jìn)部50—體行進(jìn)，所述升降體30將輸送對象的容器B自如地支承，并且在位于主體部21的內(nèi)部的輸送用位置Pu與比主體部21靠下方的交接用位置Pd之間相對于主體部21升降自如，在用位于輸送用位置Pu的升降體30支承著容器B的狀態(tài)下，借助行進(jìn)部50的行進(jìn)動作，沿著行進(jìn)軌道2輸送容器B，借助輸送用位置Pu與交接用位置Pd之間的升降體30的升降動作，在與載置臺3D之間自如地移載容器B。
[0044]在本實(shí)施方式的半導(dǎo)體基板處理設(shè)備中，構(gòu)成為，可自如地處理450mm晶片。但是，若將以往的300mm晶片用的處理設(shè)備的布局(layout)進(jìn)行變更，則會導(dǎo)致設(shè)備的更新成本的高漲，所以使設(shè)備布局及頂棚輸送車I的設(shè)計(jì)與300mm晶片用的處理設(shè)備共通化。
[0045]這里，將以往的300mm晶片用的處理設(shè)備中的頂棚輸送車IB作為比較例表示在圖3中。在圖3中，由附圖標(biāo)記BI表示的是300mm晶片用的容器(以下稱作小容器BI)。
[0046]在頂棚輸送車IB中，障礙物檢知傳感器SI構(gòu)成為，向自己的正下方發(fā)射檢測光LI來檢測障礙物。
[0047]此外，在圖3中，用雙點(diǎn)劃線表示將450mm晶片用的容器(以下稱作大容器B2)支承在該頂棚輸送車IB的升降體30上的狀態(tài)。
[0048]由圖3可知，若要在以往的頂棚輸送車IB上輸送大容器B2，則障礙物檢知傳感器SI的檢測光被大容器B2遮擋，無法檢測存在于大容器B2的下方的障礙物。
[0049]所以，在本實(shí)施方式中，如圖1及圖4、圖5所示，在升降驅(qū)動部19的橫側(cè)部且在主體罩C的內(nèi)側(cè)，為了對在與載置臺3D之間的容器B的移載時(shí)構(gòu)成障礙的障礙物發(fā)揮檢測作用，設(shè)有朝下發(fā)射檢測光來檢測該障礙物的作為障礙物檢測部的障礙物檢知傳感器SI。
[0050]障礙物檢知傳感器SI如圖2所示，設(shè)在下述部位:所述部位比被位于輸送用位置Pu的升降體30支承的大容器B2(以下作為容器B進(jìn)行說明)靠上方，并且在俯視觀察中位于容器B的存在范圍內(nèi)。障礙物檢知傳感器SI的配設(shè)部位在俯視觀察中位于升降體30的存在范圍外。此外，在圖4中將向鉛直下方引導(dǎo)的線設(shè)為LI，檢測光的發(fā)射方向如圖4的L2所示，在朝向容器B的外側(cè)并以角度Θ傾斜的狀態(tài)下相對于主體部21被固定。
[0051 ]在本實(shí)施