【相關(guān)申請(qǐng)】

本申請(qǐng)享受以日本專利申請(qǐng)2016-52652號(hào)(申請(qǐng)日：2016年3月16日)為基礎(chǔ)申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)。本申請(qǐng)通過(guò)參照該基礎(chǔ)申請(qǐng)而包括基礎(chǔ)申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容。

本發(fā)明的實(shí)施方式涉及模具和傳遞模塑成型裝置。

背景技術(shù)：

例如存在由樹(shù)脂等密封層疊的多個(gè)半導(dǎo)體元件而成的半導(dǎo)體裝置等。這樣的半導(dǎo)體裝置例如由使用了模具的傳遞模塑成型裝置制造。例如，若不適當(dāng)?shù)靥畛錁?shù)脂，則會(huì)產(chǎn)生成型不良。希望能獲得成型性良好的模具和傳遞模塑成型裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的實(shí)施方式提供一種成型性良好的模具和傳遞模塑成型裝置。

本發(fā)明的實(shí)施方式的模具，包括：基板夾緊面、腔部(型腔部)、吸引部、出口(vent，排放口)部、中間腔以及開(kāi)閉部。所述基板夾緊面與被處理基板的表面接觸。所述腔部從所述基板夾緊面后退。所述吸引部從所述基板夾緊面后退。所述出口部，設(shè)置于所述腔部與所述吸引部之間的路徑上，與所述腔部連結(jié)，成為所述腔部?jī)?nèi)的氣體的排出路徑，從所述基板夾緊面后退出口部深度。所述中間腔，在所述路徑上設(shè)置于所述出口部與所述吸引部之間，與所述出口部連結(jié)，從所述基板夾緊面后退比所述出口部深度深的中間腔深度。所述開(kāi)閉部，在所述路徑上設(shè)置于所述中間腔與所述吸引部之間，對(duì)所述路徑進(jìn)行開(kāi)閉。

附圖說(shuō)明

圖1是例示實(shí)施方式的模具和傳遞模塑成型裝置的示意剖視圖。

圖2(a)和圖2(b)是例示實(shí)施方式的模具的示意圖。

圖3是例示實(shí)施方式的傳遞模塑成型裝置的動(dòng)作的流程圖。

圖4是例示實(shí)施方式的傳遞模塑成型裝置的動(dòng)作的工序順序的示意剖視圖。

圖5是例示實(shí)施方式的傳遞模塑成型裝置的動(dòng)作的工序順序的示意剖視圖。

圖6是例示實(shí)施方式的傳遞模塑成型裝置的動(dòng)作的工序順序的示意剖視圖。

圖7是例示實(shí)施方式的傳遞模塑成型裝置的動(dòng)作的工序順序的示意剖視圖。

圖8是例示實(shí)施方式的傳遞模塑成型裝置的動(dòng)作的工序順序的示意剖視圖。

圖9(a)～圖9(f)是例示實(shí)施方式的模具的示意平面圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

10、10a～10f…第1模具，10m…模具，10a…主面，

10c…腔部，10d…中間腔，10e…吸引部，

10g…門(mén)(gate，澆口)部，10p…路徑，10q…路徑，10r…流道，

10u…選取(cull，剔除)部，10v…出口部，10x…中間出口部，

11…基板夾緊面，12…開(kāi)閉部，12d…驅(qū)動(dòng)部，

20…第2模具，20a…主面，20p…吸引路徑，23…罐部，

31…傳送部，31h…移動(dòng)高度，31p…移動(dòng)后位置，

31q…初始位置，32…推桿，40…樹(shù)脂，50…傳感器部，

51…第1壓力檢測(cè)部，52…第2壓力檢測(cè)部，53…第1溫度檢測(cè)部，

54…第2溫度檢測(cè)部，58…傳送位置檢測(cè)部，60…控制部，

70…被處理物，71…被處理基板，71a…表面，72…半導(dǎo)體芯片，

110…傳遞模塑成型裝置，aa…箭頭，dc…出口部深度，

dd…中間腔深度，dg…門(mén)部深度，dv…出口部深度，

s110～s150…步驟。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的各實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。

附圖是示意性的或概念性的圖，各部分的厚度與寬度的關(guān)系、部分之間的大小的比率等，不一定必須限于與實(shí)際相同。即使是在表示相同部分的情況下，有時(shí)也根據(jù)附圖而彼此的尺寸和/或比率不同地表示。

在本申請(qǐng)說(shuō)明書(shū)和各圖中，對(duì)在已出現(xiàn)過(guò)的圖中說(shuō)明了的內(nèi)容同樣的要素標(biāo)注同一附圖標(biāo)記且適當(dāng)省略詳細(xì)的說(shuō)明。

圖1是例示實(shí)施方式的模具和傳遞模塑成型裝置的示意剖視圖。

圖2(a)和圖2(b)是例示實(shí)施方式的模具的示意圖。

圖1與圖2(a)的a1-a2線剖面對(duì)應(yīng)。圖2(a)是從圖1的箭頭aa看到的平面圖。圖2(b)是與圖2(a)的b1-b2線剖面對(duì)應(yīng)的剖視圖。

如圖1所示，實(shí)施方式的模具10m包括第1模具10和第2模具20。第1模具10的主面10a配置成與第2模具20的主面20a相對(duì)。圖1示出兩個(gè)模具彼此分離的狀態(tài)的例子。

在該例子中，在第2模具20的主面20a上，配置有被處理物70的被處理基板71。在被處理基板71上，例如設(shè)置有半導(dǎo)體芯片72。被處理基板71和半導(dǎo)體芯片72成為所制造的半導(dǎo)體裝置的一部分。

在實(shí)施方式中，也可以是，在第1模具10上配置有被處理基板71，其上配置有第2模具20。在實(shí)施方式中，也可以是，在第2模具20上配置有被處理基板71，其上設(shè)置有第1模具10。

以從第2模具20朝向第1模具10的方向?yàn)閦軸方向，以與z軸方向垂直的一個(gè)方向?yàn)閤軸方向。以與z軸方向和x軸方向垂直的方向?yàn)閥軸方向。模具的主面例如沿著x-y平面擴(kuò)展。

如圖2(a)所示，在模具10m，設(shè)置有門(mén)側(cè)模具夾緊部和門(mén)側(cè)基板夾緊部。在模具10m，設(shè)置有出口側(cè)模具夾緊部和出口側(cè)基板夾緊部。在兩個(gè)模具之間配置有被處理基板71，在兩個(gè)模具被關(guān)閉了的狀態(tài)下，基板夾緊部的表面例如與被處理基板71接觸。

圖2(b)示出兩個(gè)模具被關(guān)閉了的狀態(tài)。

如圖1和圖2(b)所示，第1模具10具有基板夾緊面11(基板夾緊部的表面)。如圖2(b)所示，在第1模具10與第2模具20之間配置了被處理基板71(被處理物70)時(shí)，基板夾緊面11與被處理基板71的表面71a接觸。由基板夾緊面11和第2模具20的表面(主面20a)夾緊被處理基板71。

如圖1所示，在第1模具10的主面10a設(shè)置有凹部。向凹部導(dǎo)入樹(shù)脂40。樹(shù)脂40被加工成與凹部的形狀相應(yīng)的形狀，從而制作半導(dǎo)體裝置。

在該例子中，在第1模具10的主面10a，作為凹部，設(shè)置有選取部10u、流道10r、門(mén)部10g、腔部10c、出口部10v、中間腔10d以及吸引部10e。上述各部是從第1模具10的主面10a的平坦部(基板夾緊面11)后退而成的區(qū)域。上述各部相連。

在該例子中，在第1模具10，設(shè)置有開(kāi)閉部12。開(kāi)閉部12例如是斷流銷(xiāo)。設(shè)置有使開(kāi)閉部12動(dòng)作的驅(qū)動(dòng)部12d。通過(guò)由驅(qū)動(dòng)部12d實(shí)現(xiàn)的開(kāi)閉部12的動(dòng)作，例如形成凹部與外部相連的狀態(tài)和凹部不與外部相連的狀態(tài)。

吸引部10e與吸引路徑20p的一端相連。吸引路徑20p的另一端連接于減壓裝置(例如減壓泵等、未圖示)。

如后所述，在兩個(gè)模具之間配置被處理物70，使這些模具接近，設(shè)置成兩個(gè)模具的一部分彼此接觸。例如，在開(kāi)閉部12為打開(kāi)狀態(tài)下，腔部10c內(nèi)的氣體(例如空氣)經(jīng)由出口部10v、中間腔10d、吸引部10e以及吸引路徑20p排出。吸引部10e例如是空氣吸引部。向排出了內(nèi)部的氣體的腔部10c導(dǎo)入樹(shù)脂40。在該例子中，吸引路徑20p設(shè)置于第2模具20。在實(shí)施方式中，吸引路徑20p也可以設(shè)置于第1模具10。

樹(shù)脂40經(jīng)由設(shè)置于模具10m的罐部23導(dǎo)入。在該例子中，罐部23設(shè)置于第2模具20。在實(shí)施方式中，罐部23也可以設(shè)置于第1模具10。從罐部23填充樹(shù)脂40。

實(shí)施方式的傳遞模塑成型裝置110包括模具10m、傳送部31以及傳感器部50。在該例子中，設(shè)置有推桿32和控制部60?？刂撇?0，例如進(jìn)行經(jīng)由吸引部10e從模具10m內(nèi)的空間排出氣體的控制、和基于傳送部31的動(dòng)作向模具10m內(nèi)的空間導(dǎo)入樹(shù)脂40的控制。

罐部23的至少一部分例如是筒狀。在罐部23的內(nèi)部配置有推桿32。在推桿32的端部配置有樹(shù)脂40。傳送部31例如上下(沿著z軸方向)可動(dòng)。在初始狀態(tài)下，傳送部31的底部的位置為初始位置31q。傳送部31向上方向移動(dòng)，傳送部31的底部的位置變成移動(dòng)后位置31p。移動(dòng)后位置31p與初始位置31q之差為移動(dòng)高度31h。通過(guò)傳送部31的動(dòng)作，推桿32移動(dòng)，樹(shù)脂40被供給到模具10m內(nèi)(即，第1模具10與第2模具20之間)。

例如，在開(kāi)閉部12為打開(kāi)狀態(tài)下，樹(shù)脂40被導(dǎo)入選取部10u。通過(guò)了選取部10u的樹(shù)脂40從流道10r通過(guò)而到達(dá)門(mén)部10g。之后，樹(shù)脂40被導(dǎo)入腔部10c。例如，在樹(shù)脂40到達(dá)出口部10v和中間腔10d時(shí)，開(kāi)閉部12被設(shè)為關(guān)閉狀態(tài)。腔部10c、出口部10v以及中間腔10d成為密閉空間，在該各部?jī)?nèi)，利用高壓填充樹(shù)脂40。

這樣，實(shí)施方式的模具10m(在該例子中，是第1模具10)包括：基板夾緊面11、腔部10c、吸引部10e、出口部10v、中間腔10d以及開(kāi)閉部12?；鍔A緊面11與被處理基板71的表面71a接觸(參照?qǐng)D2(b))。腔部10c從基板夾緊面11后退(參照?qǐng)D1)。吸引部10e從基板夾緊面11后退(參照?qǐng)D1)。

出口部10v設(shè)置于腔部10c與吸引部10e之間的路徑10p上(參照?qǐng)D1和圖2(a))。出口部10v與腔部10c連結(jié)，成為腔部10c內(nèi)的氣體的排出路徑。腔部10c從基板夾緊面11以腔部深度dc后退(參照?qǐng)D1)。

中間腔10d在路徑10p上設(shè)置于出口部10v與吸引部10e之間。中間腔10d與出口部10v連結(jié)。中間腔10d以中間腔深度dd從基板夾緊面11后退。中間腔深度dd比出口部深度dv深(參照?qǐng)D1)。

開(kāi)閉部12(例如斷流銷(xiāo))在路徑10p上設(shè)置于中間腔10d與吸引部10e之間。開(kāi)閉部12例如進(jìn)行上下動(dòng)作和旋轉(zhuǎn)動(dòng)作中的至少任一方。由此，開(kāi)閉部12能夠?qū)χ虚g腔10d與吸引部10e之間的連通部分進(jìn)行開(kāi)閉。

例如，存在未設(shè)置上述深的中間腔10d的參考例。在該參考例中，將開(kāi)閉部12設(shè)為打開(kāi)狀態(tài)，使樹(shù)脂40導(dǎo)入模具10m的腔部10c，通過(guò)出口部10v后將開(kāi)閉部12設(shè)為關(guān)閉狀態(tài)，對(duì)樹(shù)脂40施加高的壓力。在開(kāi)閉部12從打開(kāi)狀態(tài)向關(guān)閉狀態(tài)的切換的定時(shí)不適當(dāng)?shù)那闆r下，例如會(huì)發(fā)生樹(shù)脂40的未填充或者樹(shù)脂40的泄漏。在該參考例中，有時(shí)成型性會(huì)不充分。

與此相對(duì)，在實(shí)施方式中，設(shè)置有中間腔10d。中間腔深度dd被設(shè)為比出口部深度dv深。由此，例如，通過(guò)了出口部10v的樹(shù)脂40的速度在中間腔10d中變慢。由此，用于獲得適當(dāng)?shù)某尚蜖顟B(tài)的開(kāi)閉部12的切換的定時(shí)的范圍擴(kuò)大。例如，能夠抑制樹(shù)脂40的未填充或者樹(shù)脂40的泄漏。根據(jù)實(shí)施方式，能夠提供成型性良好的模具和傳遞模塑成型裝置。

在實(shí)施方式中，在設(shè)置有門(mén)部10g的情況下，門(mén)部10g被設(shè)為比出口部10v的深度深。即，模具10m(第1模具10)還包括從基板夾緊面11以門(mén)部深度dg后退而成的門(mén)部10g(參照?qǐng)D1)。在門(mén)部10g與出口部10v之間的至少一部分設(shè)置有腔部10c。出口部深度dv比門(mén)部深度dg淺。

例如，門(mén)部深度dg比150μm大，例如為250μm以下。另一方面，出口部深度dv為10μm以上且150μm以下。通過(guò)使出口部深度dv比門(mén)部深度dg淺，例如能夠兼顧樹(shù)脂40的阻擋效果和氣體(空氣)的排出效果。由此，可獲得良好的填充性。

實(shí)施方式的傳遞模塑成型裝置110包括：上述模具10m、使樹(shù)脂40導(dǎo)入模具10m的傳送部31、以及傳感器部50。傳送部31，在開(kāi)閉部12的打開(kāi)狀態(tài)下，使樹(shù)脂40向腔部10c填充。傳感器部50對(duì)樹(shù)脂40的至少一部分通過(guò)出口部10v而到達(dá)中間腔10d的至少一部分這一情況進(jìn)行檢測(cè)。在用傳感器部50檢測(cè)后，開(kāi)閉部12設(shè)為關(guān)閉狀態(tài)。傳送部31，例如使該關(guān)閉狀態(tài)下的對(duì)樹(shù)脂40的壓力比上述打開(kāi)狀態(tài)下的對(duì)樹(shù)脂40的壓力高。由此，可獲得高的填充性。

這些動(dòng)作的控制，例如由控制部60進(jìn)行。

由傳感器部50進(jìn)行的檢測(cè)，例如通過(guò)對(duì)傳送部31與腔部10c之間的路徑10q中的、模具10m的溫度、樹(shù)脂40的壓力、以及在模具10m的反射光和在被處理基板71的反射光中的至少任一方進(jìn)行檢測(cè)來(lái)進(jìn)行。

由傳感器部50進(jìn)行的檢測(cè)，也可以是，例如通過(guò)對(duì)腔部10c與吸引部10e之間的路徑10p中的、模具10m的溫度、樹(shù)脂40的壓力、以及在模具10m的反射光和在被處理基板71的反射光中的至少任一方進(jìn)行檢測(cè)來(lái)進(jìn)行。

由傳感器部50進(jìn)行的檢測(cè)，也可以是，例如通過(guò)對(duì)傳送部31的位置的檢測(cè)來(lái)進(jìn)行。

如圖1所示，在該例子中，設(shè)置有第1壓力檢測(cè)部51。第1壓力檢測(cè)部51檢測(cè)路徑10q中的樹(shù)脂40的壓力。在該例子中，設(shè)置有第2壓力檢測(cè)部52。第2壓力檢測(cè)部52檢測(cè)路徑10p中的樹(shù)脂40的壓力。在該例子中，設(shè)置有第1溫度檢測(cè)部53。第1溫度檢測(cè)部53檢測(cè)路徑10q中的模具10m的溫度。在該例子中，設(shè)置有第2溫度檢測(cè)部54。第2溫度檢測(cè)部54檢測(cè)路徑10p中的模具10m的溫度。

例如，根據(jù)設(shè)置于模具10m的各種凹部的深度，樹(shù)脂40通過(guò)這些凹部時(shí)的壓力會(huì)發(fā)生變化。通過(guò)對(duì)樹(shù)脂40的壓力的變化進(jìn)行檢測(cè)，能夠判斷樹(shù)脂40的端部的到達(dá)位置。例如，根據(jù)樹(shù)脂40通過(guò)設(shè)置于模具10m的各種凹部的狀態(tài)，模具10m的溫度會(huì)發(fā)生變化。通過(guò)對(duì)模具10m的溫度變化進(jìn)行檢測(cè)，能夠判斷樹(shù)脂40的端部的到達(dá)位置。此外，照射光，對(duì)在模具10m的反射光或者在被處理基板71的反射光進(jìn)行檢測(cè)，由此能夠判斷樹(shù)脂40的端部的到達(dá)位置。

在該例子中，設(shè)置有傳送位置檢測(cè)部58。傳送位置檢測(cè)部58檢測(cè)傳送部31的位置(沿著z軸方向的位置)。例如，根據(jù)樹(shù)脂40通過(guò)設(shè)置于模具10m的各種凹部的狀態(tài)，傳送部31的位置會(huì)發(fā)生變化。通過(guò)對(duì)位置的變化進(jìn)行檢測(cè)，能夠判斷樹(shù)脂40的端部的到達(dá)位置。傳送位置檢測(cè)部58包括在傳感器部50的一部分。

以下，對(duì)傳遞模塑成型裝置110的動(dòng)作的例子進(jìn)行說(shuō)明。

圖3是例示實(shí)施方式的傳遞模塑成型裝置的動(dòng)作的流程圖。

圖4～圖8是例示實(shí)施方式的傳遞模塑成型裝置的動(dòng)作的工序順序的示意剖視圖。

如圖4所示，在第1模具10與第2模具20之間，配置被處理物70，關(guān)閉這些模具。然后，對(duì)這些模具之間的空間進(jìn)行減壓。這時(shí)，開(kāi)閉部12為打開(kāi)狀態(tài)。

之后，如圖3所示，驅(qū)動(dòng)傳送部31(步驟s110)。

即，如圖5所示，通過(guò)對(duì)傳送部31的驅(qū)動(dòng)，推桿32向上方移動(dòng)。由此，樹(shù)脂40被供給到腔部10c內(nèi)。

如圖3所示，判斷樹(shù)脂40是否填充至預(yù)定位置(步驟s120)。在為“否”的情況下，返回到步驟s110。在為“是”的情況下，進(jìn)入后述的步驟s130。

例如，在步驟s120中，如圖6所示，由傳感器部50(第2壓力檢測(cè)部52、第2溫度檢測(cè)部54或者傳送位置檢測(cè)部58等)檢測(cè)樹(shù)脂40的位置。例如，檢測(cè)樹(shù)脂40從腔部10c的溢出?；跈z測(cè)結(jié)果，可以變更傳送部31的動(dòng)作的狀態(tài)。

如圖7所示，樹(shù)脂40通過(guò)出口部10v，樹(shù)脂40的至少一部分到達(dá)中間腔10d。例如，這時(shí)，判斷為“樹(shù)脂40已填充至預(yù)定位置”。這時(shí)，開(kāi)閉部12(斷流銷(xiāo))被設(shè)為關(guān)閉狀態(tài)。在該例子中，斷流銷(xiāo)向下方移動(dòng)，截?cái)嗦窂健?/p>

這樣，在圖3的步驟s130中，驅(qū)動(dòng)開(kāi)閉部12。即，將開(kāi)閉部12設(shè)為關(guān)閉狀態(tài)。

然后，如圖8所示，在開(kāi)閉部12為關(guān)閉狀態(tài)下，進(jìn)一步供給樹(shù)脂40。樹(shù)脂40向中間腔10d填充。

如圖3所示，判斷適當(dāng)?shù)膫魉蛣?dòng)作是否已完畢。即，例如判斷樹(shù)脂40是否已填充到模具10m內(nèi)。一邊施加高的填充壓力，一邊開(kāi)始使樹(shù)脂40熱固化。然后，如圖3所示，停止對(duì)傳送部31的驅(qū)動(dòng)(步驟s150)。

在實(shí)施方式中，在樹(shù)脂所包括的填充物的平均粒徑為0.5μm以上且3μm以下時(shí)，出口部深度dv例如可以是40μm以上且150μm以下。在出口部深度dv小于40μm時(shí)，樹(shù)脂40的阻擋效果高，但氣體的排出效果低。在出口部深度dv超過(guò)150μm時(shí)，氣體的排出效果改善，但樹(shù)脂40的阻擋效果下降。在出口部深度dv為40μm以上且150μm以下時(shí)，例如樹(shù)脂40的阻擋效果高、氣體的排出效果也高。

另一方面，在實(shí)施方式中，在樹(shù)脂所包括的填充物的平均粒徑比3μm大時(shí)(例如5μm以上且6μm以下時(shí))，出口部深度dv例如可以為40μm以上且200μm以下。在出口部深度dv小于40μm時(shí)，樹(shù)脂40的阻擋效果高，但氣體的排出效果低。在出口部深度dv超過(guò)200μm時(shí)，氣體的排出效果改善，但樹(shù)脂40的阻擋效果下降。在出口部深度dv為40μm以上且200μm以下時(shí)，例如樹(shù)脂40的阻擋效果高、氣體的排出效果也高。

圖9(a)～圖9(f)是例示實(shí)施方式的模具的示意平面圖。

如圖9(a)所示，在第1模具10a中，設(shè)置有流道10r、門(mén)部10g、腔部10c、出口部10v、中間腔10d、吸引部10e以及開(kāi)閉部12(例如斷流銷(xiāo)等)。在該例子中，設(shè)置有中間出口部10x。中間出口部10x的深度(距基板夾緊面11的深度)，比出口部10v的出口部深度dv淺。中間出口部10x設(shè)置于腔部10c與中間腔10d之間。在與從腔部10c朝向中間腔10d的方向交叉的方向上，中間出口部10x與出口部10v排列。在該例子中，深的出口部10v與淺的中間出口部10x并列地連接。通過(guò)并列地連接了的這些出口部，腔部10c與中間腔10d連接。通過(guò)使用深度不同的多個(gè)出口部，例如容易對(duì)樹(shù)脂40的阻擋效果和排氣效果進(jìn)行調(diào)整。

如圖9(b)所示，在第1模具10b中，開(kāi)閉部12(例如斷流銷(xiāo))的粗細(xì)與中間腔10d的寬度實(shí)質(zhì)上相同。由此，例如，在阻擋中間腔10d的同時(shí)也會(huì)阻擋吸引部10e，所以可獲得對(duì)樹(shù)脂40的更高的阻擋效果。

如圖9(c)所示，在第1模具10c中，出口部10v設(shè)置成沿著腔部10c的邊延伸、且具有長(zhǎng)的長(zhǎng)度。由此，例如，在面內(nèi)(x-y平面內(nèi))均勻阻擋樹(shù)脂40，能夠使樹(shù)脂40從腔部10c的流出在面內(nèi)均勻。

如圖9(d)所示，在第1模具10d中，中間出口部10x不經(jīng)過(guò)中間腔10d地連接于吸引部10e。由此，例如，除了能夠容易對(duì)樹(shù)脂40的阻擋效果和排氣效果進(jìn)行調(diào)整以外，在將開(kāi)閉部12設(shè)為關(guān)閉狀態(tài)后還能夠使排氣效果持續(xù)。

如圖9(e)所示，在第1模具10e中，中間腔10d設(shè)置成沿著腔部10c的邊、并具有長(zhǎng)的長(zhǎng)度。并且，在中間腔10d的一部分與腔部10c之間，設(shè)置有具有窄的寬度的多個(gè)出口部10v。該結(jié)構(gòu)中，例如可獲得對(duì)樹(shù)脂40的更高的阻擋效果。

如圖9(f)所示，在第1模具10f中，對(duì)多個(gè)中間腔10d，分別各設(shè)置有一個(gè)出口部10v。在該結(jié)構(gòu)中，例如能夠根據(jù)多個(gè)中間腔10d中的樹(shù)脂的流動(dòng)的不同，獨(dú)立地控制多個(gè)開(kāi)閉部12的開(kāi)閉狀態(tài)。

這樣，在實(shí)施方式中，出口部10v和中間腔10d的結(jié)構(gòu)可以進(jìn)行各種變形。

實(shí)施方式包括傳送形成方法。該方法包括使樹(shù)脂40導(dǎo)入模具10m(第1模具10)的腔部10c。該模具10m(第1模具10)包括：基板夾緊面11，其與被處理基板71的表面71a接觸；腔部10c，其從基板夾緊面11后退而成；吸引部10e，其從基板夾緊面11后退而成；出口部10v，其設(shè)置于腔部10c與吸引部10e之間的路徑10p上，與腔部10c連結(jié)，成為腔部10c內(nèi)的氣體的排出路徑，從基板夾緊面11后退出口部深度dv而成；中間腔10d，其在路徑10p上設(shè)置于出口部10v與吸引部10e之間，與出口部10v連結(jié)，從基板夾緊面11后退比出口部深度dv深的中間腔深度dd而成；以及開(kāi)閉部12，其在路徑10p上設(shè)置于中間腔10d與吸引部10e之間，對(duì)路徑10p進(jìn)行開(kāi)閉。

實(shí)施方式的方法中，在樹(shù)脂40的至少一部分通過(guò)出口部10v而到達(dá)中間腔10d的至少一部分后，將開(kāi)閉部12設(shè)為關(guān)閉狀態(tài)。能夠提供成型性良好的傳遞模塑成型方法。

例如，以降低成本為目的，考慮了廢止向包括tsv(throughsiliconvias：硅通孔)在內(nèi)的芯片疊層間的間隙填充的底部填充樹(shù)脂，而以模塑樹(shù)脂進(jìn)行一起填充。例如，存在一邊對(duì)模具的腔內(nèi)進(jìn)行減壓一邊填充樹(shù)脂、在即將填充完畢之前使斷流銷(xiāo)工作的方法。然而，在為了填充窄的間隙而使樹(shù)脂的粘度下降了的情況下，即使使用這樣的方法，也會(huì)易發(fā)生樹(shù)脂泄漏或者未填充。

在實(shí)施方式中，通過(guò)在斷流銷(xiāo)跟前設(shè)置阻擋樹(shù)脂的部分(出口部10v)，能夠使斷流銷(xiāo)工作延遲。并且，通過(guò)在出口部10v與斷流銷(xiāo)之間設(shè)置深度深的中間腔10d，能夠擴(kuò)大斷流銷(xiāo)的動(dòng)作的定時(shí)的范圍。

根據(jù)實(shí)施方式，能夠提供成型性良好的模具和傳遞模塑成型裝置。

以上，參照具體例，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明。但是，本發(fā)明的實(shí)施方式不限定于這些具體例。例如，關(guān)于模具所包括的腔部、出口部、中間腔、吸引部、基板夾緊部以及開(kāi)閉部、還有傳遞模塑成型裝置所包括的傳送部、傳感器部以及控制部等各要素的具體的結(jié)構(gòu)，只要本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠通過(guò)從公知的范圍進(jìn)行適當(dāng)選擇來(lái)同樣地實(shí)施本發(fā)明，并獲得同樣的效果，就包含于本發(fā)明的范圍內(nèi)。

另外，在技術(shù)上可能的范圍內(nèi)將各具體例的任意兩個(gè)以上的要素組合而得到的技術(shù)方案，也是只要包含本發(fā)明的要旨就包含于本發(fā)明的范圍內(nèi)。

此外，本領(lǐng)域的技術(shù)人員能以作為本發(fā)明的實(shí)施方式而進(jìn)行了說(shuō)明的上述模具和傳遞模塑成型裝置為基礎(chǔ)、進(jìn)行適當(dāng)設(shè)計(jì)變更而實(shí)施的全部的模具和傳遞模塑成型裝置，也是只要包含本發(fā)明的要旨，就屬于本發(fā)明的范圍內(nèi)。

此外，在本發(fā)明的思想的范疇內(nèi)，若是由本領(lǐng)域的技術(shù)人員能想到的各種變更例和修正例，則這些變更例和修正例當(dāng)然也屬于本發(fā)明的范圍。

對(duì)本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但這些實(shí)施方式是作為例子進(jìn)行提示的內(nèi)容，并非意在限定發(fā)明的范圍。這些新的實(shí)施方式可以以其他的各式各樣的實(shí)施方式實(shí)施，可以在不脫離發(fā)明的要旨的范圍內(nèi)，進(jìn)行各種省略、置換以及變更。這些實(shí)施方式和/或其變形包含于發(fā)明的范圍和/或要旨內(nèi)，并且包括在權(quán)利要求書(shū)記載的發(fā)明及其等同的范圍內(nèi)。