技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及模具和傳遞模塑成型裝置。本發(fā)明的實(shí)施方式提供一種成型性良好的模具和傳遞模塑成型裝置。根據(jù)實(shí)施方式，模具包括：基板夾緊面、腔部、吸引部、出口部、中間腔以及開閉部?；鍔A緊面與被處理基板的表面接觸。腔部從基板夾緊面后退。吸引部從基板夾緊面后退。出口部，設(shè)置于腔部與吸引部之間的路徑上，與腔部連結(jié)，成為腔部?jī)?nèi)的氣體的排出路徑，從基板夾緊面后退出口部深度。中間腔，在路徑上設(shè)置于出口部與吸引部之間，與出口部連結(jié)，從基板夾緊面后退比出口部深度深的中間腔深度。開閉部，在路徑上設(shè)置于中間腔與吸引部之間，對(duì)路徑進(jìn)行開閉。

技術(shù)研發(fā)人員：前田竹識(shí);松島良二;川口誠(chéng);涌井正明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東芝存儲(chǔ)器株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.05
技術(shù)公布日：2017.09.26