技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供種氮化物半導(dǎo)體模板，其為具有基板和含氯的氮化物半導(dǎo)體層的氮化物半導(dǎo)體模板，所述含氯的氮化物半導(dǎo)體層中鐵濃度小于1×1017cm?3。根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制不希望的雜質(zhì)混入氮化物半導(dǎo)體模板。

技術(shù)研發(fā)人員：今野泰一郎;藤倉序章;松田三智子
受保護(hù)的技術(shù)使用者：住友化學(xué)株式會社
文檔號碼：201610982484
技術(shù)研發(fā)日：2012.08.15
技術(shù)公布日：2017.02.15