一種基于光通訊的超凈間智能控制裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及智能控制領(lǐng)域，尤其涉及一種基于光通訊的超凈間智能控制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的不斷發(fā)展，精密、集成度更高是行業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)。目前，制造工藝已經(jīng)進(jìn)入亞納米時(shí)代，線寬都在30-180納米之間，對(duì)生產(chǎn)設(shè)備的精度要求越來越嚴(yán)格，因此，除了設(shè)備本身的工藝水平需要達(dá)到生產(chǎn)要求以外，其所處的生產(chǎn)環(huán)境一一潔凈室的各項(xiàng)指標(biāo)也必須被嚴(yán)格地控制，包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動(dòng)靜電、磁場(chǎng)以及有害氣體等。傳統(tǒng)的超凈間控制方式容易受其它電器干擾，容易產(chǎn)生磁波泄露，容易產(chǎn)生更多靜電和帶電離子。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型公開了一種基于光通訊的超凈間智能控制裝置，包括超凈生產(chǎn)廠房，所述超凈生產(chǎn)廠房的頂端外部連接有新風(fēng)空調(diào)箱，所述超凈生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)部的頂部設(shè)置有吊頂，所述吊頂與超凈生產(chǎn)廠房頂部的空間為回風(fēng)通道，所述吊頂上安裝有多個(gè)風(fēng)機(jī)過濾單元，所述回風(fēng)通道內(nèi)、超凈生產(chǎn)廠房的頂端連接有干盤管，所述干盤管和新風(fēng)空調(diào)箱上分別連接有光敏二極管I和光敏二極管II，所述超凈生產(chǎn)廠房的內(nèi)部設(shè)置有用于檢測(cè)該空間內(nèi)溫度信息和濕度信息的溫度監(jiān)控裝置和濕度監(jiān)控裝置，所述溫度監(jiān)控裝置和濕度監(jiān)控裝置將控制信息轉(zhuǎn)換成光信號(hào)傳送至光敏二極管I和光敏二極管II，所述光敏二極管I和光敏二極管II將光信號(hào)信息轉(zhuǎn)換成電信號(hào)信息后傳送至新風(fēng)空調(diào)箱和干盤管。
[0004]所述溫度監(jiān)控裝置包括溫度傳感器、第一編碼器、第一 LED頻閃控制器和第一 LED燈，所述溫度傳感器將檢測(cè)到的溫度信息傳送至第一編碼器，所述第一 LED頻閃控制器接收第一編碼器的控制指令信息控制第一 LED燈的工作，所述第一 LED燈與第一 LED頻閃控制器相連接，所述光敏二極管I和光敏二極管II接收第一 LED燈的光信號(hào)信息將光信號(hào)信息轉(zhuǎn)換成電信號(hào)信息后傳送至新風(fēng)空調(diào)箱和干盤管。
[0005]所述濕度監(jiān)控裝置包括濕度傳感器、第二編碼器、第二 LED頻閃控制器和第二 LED燈，所述濕度傳感器將檢測(cè)到的濕度信息傳送至第二編碼器，所述第二 LED頻閃控制器接收第二編碼器的控制指令信息控制第二 LED燈的工作，所述第二 LED燈燈與第二 LED頻閃控制器相連接，所述光敏二極管I和光敏二極管II接收第二 LED燈的光信號(hào)信息將光信號(hào)信息轉(zhuǎn)換成電信號(hào)信息后傳送至新風(fēng)空調(diào)箱和干盤管。
[0006]由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型提供的一種基于光通訊的超凈間智能控制裝置，該裝置利用光信號(hào)控制新風(fēng)空調(diào)箱和干盤管的工作狀態(tài)和工作條件，采用光信號(hào)進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸能提高系統(tǒng)工作穩(wěn)定性，減少電磁干擾，降低靜電和帶電離子在產(chǎn)品上的積累，并且裝置的光信號(hào)來自LED燈，編碼器發(fā)出的二進(jìn)制指令傳輸給控制LED燈工作的頻閃控制器使其控制LED快速閃爍，LED燈每秒閃爍數(shù)百萬次，人眼無法察覺，不會(huì)對(duì)超凈間內(nèi)的工作人員眼睛造成損害，但光敏二極管能識(shí)別這些閃爍信號(hào)。干盤管通過調(diào)節(jié)其冷水閥的開度，調(diào)節(jié)輸送到超凈間內(nèi)的空氣的溫度和濕度，以保證滿足半導(dǎo)體工藝的溫濕度需求。本超凈間采用新風(fēng)空調(diào)箱過濾空氣中的粉塵和顆粒，同時(shí)通過出風(fēng)口的溫度和濕度的調(diào)節(jié)，從而控制輸送出去的空氣的溫度和濕度。
【附圖說明】
[0007]為了更清楚地說明本申請(qǐng)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請(qǐng)中記載的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0008]圖1為本實(shí)用新型基于光通訊的超凈間環(huán)境智能控制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖2為本實(shí)用新型中溫度監(jiān)控裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖3為本實(shí)用新型中濕度監(jiān)控裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]為使本實(shí)用新型的技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚完整的描述:
[0012]如圖1所示的基于光通訊的超凈間環(huán)境智能控制裝置，包括超凈生產(chǎn)廠房I，在超凈生產(chǎn)廠房I的頂端外部連接有新風(fēng)空調(diào)箱2，在超凈生產(chǎn)廠房I內(nèi)部的頂部設(shè)置有吊頂13，吊頂13與超凈生產(chǎn)廠房I頂部形成的空間為回風(fēng)通道3。在回風(fēng)通道3內(nèi)、吊頂13上安裝有風(fēng)機(jī)過濾單元5，在回風(fēng)通道3內(nèi)超凈生產(chǎn)廠房I頂壁上還連接有干盤管4。干盤管4和新風(fēng)空調(diào)箱2上分別連接有光敏二極管112-1和光敏二極管1112-2。在超凈生產(chǎn)廠房I的內(nèi)部設(shè)置有用于檢測(cè)該超凈間內(nèi)溫度信息和濕度信息的溫度監(jiān)控裝置6和濕度監(jiān)控裝置7。溫度監(jiān)控裝置6和濕度監(jiān)控裝置7與控制信息轉(zhuǎn)換成光信號(hào)傳送至光敏二極管112-1和光敏二極管1112-2。光敏二極管112-1和光敏二極管II12-2將光信號(hào)信息轉(zhuǎn)換成電信號(hào)信息后傳送至新風(fēng)空調(diào)箱2和干盤管4。外界大氣經(jīng)過新風(fēng)空調(diào)箱2中的初、中和高效過濾網(wǎng)，把空氣中的粉塵顆粒過濾掉后，將具有一定潔凈等級(jí)和溫濕度的風(fēng)送到超凈間的回風(fēng)通道3中，與循環(huán)回風(fēng)進(jìn)行混合后進(jìn)入超凈間吊頂13的上方，通過風(fēng)機(jī)過濾單元5后進(jìn)入超凈間生產(chǎn)區(qū)域，從而基本達(dá)到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。超凈間內(nèi)各種生產(chǎn)設(shè)備在工作過程中會(huì)產(chǎn)生大量的熱量，從而使超凈間內(nèi)的溫度升高。干盤管4能夠冷卻并帶走這些熱量，從而達(dá)到維持長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的溫濕度環(huán)境。
[0013]光敏二極管112-1和光敏二極管II12-2用于接收溫度監(jiān)控裝置6和濕度監(jiān)控裝置7發(fā)來的光信號(hào)信息，燈亮了表示I，燈滅了代表O，光敏二極管112-1和光敏二極管II12-2將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)傳輸給新風(fēng)空調(diào)箱2和干盤管4。新風(fēng)空調(diào)箱2根據(jù)超凈間里面的溫濕度情況調(diào)整出風(fēng)口的溫濕度，以保證送入的新風(fēng)在規(guī)定的溫濕度范圍內(nèi)。干盤管4則根據(jù)接收的信號(hào)來調(diào)整干盤管冷水閥的開度，進(jìn)而調(diào)節(jié)回風(fēng)和