送風(fēng)混合后的溫濕度，以保證滿足半導(dǎo)體工藝的溫濕度需求。
[0014]進(jìn)一步的，如圖2所示，溫度監(jiān)控裝置6包括溫度傳感器8、第一編碼器10-1、第一LED頻閃控制器14-1和第一 LED燈11-1。第一 LED燈11-1安裝在第一 LED頻閃控制器14-1上。溫度傳感器8檢測超凈間內(nèi)的溫度信息，將檢測到的信息傳送至第一編碼器10，第一編碼器10將收到的溫度信息與生產(chǎn)要求設(shè)定的溫度值進(jìn)行比較判斷，判斷溫度是否超過設(shè)定值(潔凈室溫度要求一般為22+/-0.5°C)接著將比較結(jié)果進(jìn)行編碼，將溫度控制信號編寫成二進(jìn)制編碼傳輸給第一LED頻閃控制器14-1，當(dāng)?shù)谝籐ED頻閃控制器14-1接收到數(shù)據(jù)位“I”時(shí)，控制第一 LED燈11-1亮，接收到數(shù)據(jù)“O”時(shí)，控制第一 LED燈11-1滅。光敏二極管112-1和光敏二極管II12-2接收第一 LED燈11-1的光信號信息將光信號信息轉(zhuǎn)換成電信號信息后傳送至新風(fēng)空調(diào)箱2和干盤管4，這樣使新風(fēng)空調(diào)箱2和干盤管4根據(jù)獲得的溫度信息完成超凈間內(nèi)溫度的控制工作。
[0015]進(jìn)一步的，如圖3所示，濕度監(jiān)控裝置7包括濕度傳感器9、第二編碼器10-2、第二LED頻閃控制器14-2和第二 LED燈11-2。第二 LED燈11-2安裝在第二 LED頻閃控制器14-2上。濕度傳感器9檢測超凈間內(nèi)的濕度信息，將檢測到的信息傳送至第二編碼器10-2，第二編碼器10-2將接收到的濕度信息與生產(chǎn)要求設(shè)定的濕度值進(jìn)行比較，判斷濕度值是否超過設(shè)定值然后將濕度控制信號編寫成二進(jìn)制編碼傳輸給第二 LED頻閃控制器14-2。第二 LED頻閃控制器14-2接收第二編碼器10-2的控制指令信息控制第二 LED燈11-2的工作。光敏二極管112-1和光敏二極管II12-1接收第二 LED燈11-2的光信號信息將光信號信息轉(zhuǎn)換成電信號信息后傳送至新風(fēng)空調(diào)箱2和干盤管4。干盤管4則根據(jù)接收的信號來調(diào)整干盤管4冷水閥的開度，進(jìn)而調(diào)節(jié)回風(fēng)和送風(fēng)混合后的溫濕度，以保證滿足半導(dǎo)體工藝的溫濕度需求。
[0016]以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的【具體實(shí)施方式】，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)方案及其實(shí)用新型構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基于光通訊的超凈間智能控制裝置，其特征在于:包括超凈生產(chǎn)廠房(I)，所述超凈生產(chǎn)廠房(I)的頂端外部連接有新風(fēng)空調(diào)箱(2)，所述超凈生產(chǎn)廠房(I)內(nèi)部的頂部設(shè)置有吊頂(13)，所述吊頂(13)與超凈生產(chǎn)廠房(I)頂部的空間為回風(fēng)通道(3)，所述吊頂(13)上安裝有多個(gè)風(fēng)機(jī)過濾單元(5)，所述回風(fēng)通道(3)內(nèi)、超凈生產(chǎn)廠房(I)的頂端連接有干盤管(4)，所述干盤管(4)和新風(fēng)空調(diào)箱(2)上分別連接有光敏二極管1(12-1)和光敏二極管11(12-2)，所述超凈生產(chǎn)廠房(I)的內(nèi)部設(shè)置有用于檢測該空間內(nèi)溫度信息和濕度信息的溫度監(jiān)控裝置(6)和濕度監(jiān)控裝置(7)，所述溫度監(jiān)控裝置(6)和濕度監(jiān)控裝置(7)將控制信息轉(zhuǎn)換成光信號傳送至光敏二極管I (12-1)和光敏二極管II (12-2)，所述光敏二極管I(12-1)和光敏二極管11(12-2)將光信號信息轉(zhuǎn)換成電信號信息后傳送至新風(fēng)空調(diào)箱(2)和干盤管(4)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于光通訊的超凈間智能控制裝置，其特征還在于:所述溫度監(jiān)控裝置(6)包括溫度傳感器(8)、第一編碼器(10-1)、第一 LED頻閃控制器(14-1)和第一 LED燈(11-1)，所述溫度傳感器(8)將檢測到的溫度信息傳送至第一編碼器(10)，所述第一LED頻閃控制器(14-1)接收第一編碼器(10)的控制指令信息控制第一 LED(11-1)燈的工作，所述第一 LED(11-1)燈與第一 LED頻閃控制器(14-1)相連接，所述光敏二極管I (12-1)和光敏二極管11(12-2)接收第一 LED燈(11-1)的光信號信息將光信號信息轉(zhuǎn)換成電信號信息后傳送至新風(fēng)空調(diào)箱(2)和干盤管(4)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于光通訊的超凈間智能控制裝置，其特征還在于:所述濕度監(jiān)控裝置(7)包括濕度傳感器(9)、第二編碼器(10-2)、第二 LED頻閃控制器(14-2)和第二LED燈(11-2)，所述濕度傳感器(9)將檢測到的濕度信息傳送至第二編碼器(10-2)，所述第二 LED頻閃控制器(I 4-2)接收第二編碼器(10-2)的控制指令信息控制第二 LED燈(11 -2)的工作，所述第二 LED燈(11-2)燈與第二 LED頻閃控制器(14-2)相連接，所述光敏二極管I(12-1)和光敏二極管II (12-2)接收第二 LED燈(11-2)的光信號信息將光信號信息轉(zhuǎn)換成電信號信息后傳送至新風(fēng)空調(diào)箱(2)和干盤管(4)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種基于光通訊的超凈間智能控制裝置，包括超凈生產(chǎn)廠房，超凈生產(chǎn)廠房的頂端外部連接有新風(fēng)空調(diào)箱，超凈生產(chǎn)廠房內(nèi)部的頂部設(shè)置有吊頂，所述吊頂與超凈生產(chǎn)廠房頂部的空間為回風(fēng)通道，所述吊頂上安裝有多個(gè)風(fēng)機(jī)過濾單元，回風(fēng)通道內(nèi)、超凈生產(chǎn)廠房的頂端連接有干盤管，干盤管和新風(fēng)空調(diào)箱上分別連接有光敏二極管I和光敏二極管II，所述超凈生產(chǎn)廠房的內(nèi)部設(shè)置有用于檢測該空間內(nèi)溫度信息和濕度信息的溫度監(jiān)控裝置和濕度監(jiān)控裝置，溫度監(jiān)控裝置和濕度監(jiān)控裝置將控制信息轉(zhuǎn)換成光信號傳送至光敏二極管I和光敏二極管II，所述光敏二極管I和光敏二極管II將光信號信息轉(zhuǎn)換成電信號信息后傳送至新風(fēng)空調(diào)箱和干盤管。
【IPC分類】F24F11/00, H05B37/02
【公開號】CN205245448
【申請?zhí)枴緾N201520867314
【發(fā)明人】于雯雯
【申請人】大連職業(yè)技術(shù)學(xué)院
【公開日】2016年5月18日
【申請日】2015年11月3日