1.一種全自動(dòng)超聲波鎳基導(dǎo)體材料清洗機(jī)，其特征是它采用密閉式結(jié)構(gòu)，包括：第一超聲波粗洗槽（1）、第二超聲波清洗槽（2）、熱浸泡漂洗槽（3）、蒸汽浴洗槽（4）、熱風(fēng)內(nèi)循環(huán)隧道式烘干箱（5）、自動(dòng)龍門提升行走機(jī)構(gòu)（6）和電器控制系統(tǒng)（7）；
所述的第一超聲波粗洗槽（1）包括清洗槽一、儲(chǔ)液槽和循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)，儲(chǔ)液槽在清洗槽一的后方，循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)安裝在儲(chǔ)液槽內(nèi)，所述的清洗槽一內(nèi)裝有碳?xì)淝逑匆?，清洗后碳?xì)淝逑匆罕砻嫫〉呐K物會(huì)溢流到儲(chǔ)液槽內(nèi)，儲(chǔ)液槽內(nèi)的循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)會(huì)對(duì)前述臟物進(jìn)行過(guò)濾后，再抽入清洗槽一內(nèi)循環(huán)利用，確保碳?xì)淝逑匆旱那鍧嵍龋?/p>
所述的第二超聲波粗洗槽（2）包括清洗槽二、溢水盒和低液位保護(hù)系統(tǒng)一，所述的溢水盒在清洗槽的一側(cè)，所述的清洗槽二內(nèi)裝有碳?xì)淝逑匆?，清洗后碳?xì)淝逑匆罕砻嫫〉呐K物會(huì)溢流到溢水盒內(nèi)；
所述的熱浸泡漂洗槽（3）內(nèi)設(shè)有溫控加熱系統(tǒng)和低液位保護(hù)系統(tǒng)二，所述的溫控加熱系統(tǒng)采用數(shù)字顯示式溫度控制器控溫，溫度可調(diào)整、設(shè)定；溫度控制器自動(dòng)控制加熱系統(tǒng)工作或停止；
所述的蒸汽浴洗槽（4）內(nèi)裝有碳?xì)淝逑磩細(xì)淝逑磩┘訜岷笮纬烧羝麣庀鄥^(qū)，采用蒸汽清除鎳連接片上的臟污；
所述的熱風(fēng)內(nèi)循環(huán)隧道式烘干箱（5）的箱體采用雙層結(jié)構(gòu)，雙層結(jié)構(gòu)內(nèi)填充保溫棉，用于烘干前述蒸汽處理后的鎳連接片；
所述的龍門提升行走機(jī)構(gòu)（6）采用鏈輪鏈條傳動(dòng)方式，包括：進(jìn)料臺(tái)（8）、龍門框架（9）、提升減速機(jī)（10）、導(dǎo)軌（11）、氣缸（12）、鏈輪（13）、鏈條（14）、聯(lián)軸器（15）和主電機(jī)（16），所述的進(jìn)料臺(tái)（8）上放置工件籃（17），所述的主電機(jī)（16）通過(guò)聯(lián)軸器（15）連接提升減速機(jī)（10），提升減速機(jī)（10）通過(guò)氣缸（12）推動(dòng)工件籃（17）的左右運(yùn)動(dòng)，通過(guò)鏈輪（13）、鏈條（14）帶動(dòng)工件籃（17）在龍門提升行走機(jī)構(gòu)上做升降運(yùn)動(dòng)，對(duì)鎳片進(jìn)行全方位清洗；
所述的電器控制系統(tǒng)（7）包括可編程控制器和用于控制前述第一超聲波粗洗槽（1）、第二超聲波清洗槽（2）、熱浸泡漂洗槽（3）、蒸汽浴洗槽（4）、熱風(fēng)內(nèi)循環(huán)隧道式烘干箱（5）和自動(dòng)龍門提升﹑行走機(jī)構(gòu)（6）的開(kāi)關(guān)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)超聲波鎳基導(dǎo)體材料清洗機(jī)，其特征是第一超聲波粗洗槽（1）的槽底傾斜，儲(chǔ)液槽寬度要求水流暢通。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)超聲波鎳基導(dǎo)體材料清洗機(jī)，其特征是所述的蒸汽浴洗槽（4）的槽底傾斜，在槽體底部裝有掏渣排渣口，蒸汽浴洗槽（4）內(nèi)裝有碳?xì)淝逑磩?，碳?xì)淝逑磩┘訜岷笮纬烧羝麣庀鄥^(qū)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)超聲波鎳基導(dǎo)體材料清洗機(jī)，其特征是循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)包括水油分離器（18）、循環(huán)泵（21）、過(guò)濾器（19）和球閥（20），所述的水油分離器（18）安裝在儲(chǔ)液槽內(nèi)側(cè)的一邊，用于進(jìn)行水油分離，循環(huán)泵（21）安裝在儲(chǔ)液槽內(nèi)的另一邊，循環(huán)泵（21）選用氣動(dòng)隔膜泵，其流量和揚(yáng)程的強(qiáng)度能夠帶走碳?xì)淝逑匆褐械膽腋∥?，過(guò)濾器（19）的一端通過(guò)管路與循環(huán)泵（21）相連，過(guò)濾器（19）的另一端通過(guò)管路連接至清洗槽一，前述管路上裝有球閥（20）。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的全自動(dòng)超聲波鎳基導(dǎo)體材料清洗機(jī)，其特征是所述的過(guò)濾器（19）采用微孔濾膜過(guò)濾芯；循環(huán)泵（21）具有手動(dòng)和自動(dòng)選擇開(kāi)關(guān)，自動(dòng)條件下，清洗開(kāi)始時(shí)循環(huán)泵開(kāi)啟，清洗結(jié)束后自動(dòng)關(guān)閉，循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)的出口配置壓力顯示表。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)超聲波鎳基導(dǎo)體材料清洗機(jī)，其特征是低液位保護(hù)系統(tǒng)一和二均包括液位傳感器和控制器，該系統(tǒng)具有下限液位保護(hù)功能，當(dāng)下限液位不足時(shí)，發(fā)出報(bào)警信號(hào)及指示信號(hào)，同時(shí)自動(dòng)切斷超聲波粗洗槽內(nèi)的水泵和用于加熱的電源。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)超聲波鎳基導(dǎo)體材料清洗機(jī)，其特征是溫度控制器的溫控范圍：0～100℃可調(diào)，溫控精度為設(shè)定值的±3℃。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)超聲波鎳基導(dǎo)體材料清洗機(jī)，其特征是第二超聲波粗洗槽（2）的槽底傾斜。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)超聲波鎳基導(dǎo)體材料清洗機(jī)，其特征是熱風(fēng)內(nèi)循環(huán)隧道式烘干箱（5）設(shè)有耐高溫的自動(dòng)封閉門，在工件進(jìn)入隧道后自動(dòng)關(guān)閉，運(yùn)風(fēng)方式采用上進(jìn)下出出風(fēng)，回風(fēng)孔采用導(dǎo)向孔，與工件擺放方向垂直，保證風(fēng)速均勻；頂部設(shè)置出風(fēng)口，以排出烘道內(nèi)濕氣。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的全自動(dòng)超聲波鎳基導(dǎo)體材料清洗機(jī)，其特征是熱風(fēng)內(nèi)循環(huán)隧道式烘干箱（5）的頂部出風(fēng)口設(shè)置活性炭吸附裝置，用于吸附烘干帶出的殘留揮發(fā)的清洗劑，避免清洗劑污染空氣。