技術(shù)特征：

1.一種硅料無酸清洗方法包括以下步驟：

將硅料放入超聲波清洗機(jī)中，并將硅料清洗液和超純水按照預(yù)定比例倒入超聲波清洗機(jī)中，以浸沒硅料；

將硅料清洗液和超純水的混合液加熱至預(yù)定溫度并對硅料進(jìn)行超聲波清洗，之后將廢液過濾處理之后再次制成超純水；

將硅料清洗液和超純水按照預(yù)定比例倒入超聲波清洗機(jī)中進(jìn)行超聲波清洗，之后將廢液過濾處理之后再次制成超純水；

將硅料加入超純水浸泡，之后將廢液過濾處理之后再次制成超純水；

對硅料進(jìn)行烘干處理，硅料清洗結(jié)束。

2.如權(quán)利要求1所述的硅料無酸清洗方法，其特征在于：所述硅料清洗液的成分包括磷酸鹽、硅酸鹽、碳酸鹽、螯合劑和表面活性劑。

3.如權(quán)利要求1所述的硅料無酸清洗方法，其特征在于：所述“將硅料清洗液和超純水的混合液加熱至預(yù)定溫度并對硅料進(jìn)行超聲波清洗，之后將廢液凈化回收”中，預(yù)定溫度為70-75℃，超聲波清洗的時間為1小時。