技術(shù)總結(jié)
一種硅料無酸清洗方法包括以下步驟：將硅料放入超聲波清洗機(jī)中，并將硅料清洗液和超純水按照預(yù)定比例倒入超聲波清洗機(jī)中，以浸沒硅料；將硅料清洗液和超純水的混合液加熱至預(yù)定溫度并對(duì)硅料進(jìn)行超聲波清洗，之后將廢液過濾處理之后再次制成超純水；將硅料清洗液和超純水按照預(yù)定比例倒入超聲波清洗機(jī)中進(jìn)行超聲波清洗，之后將廢液過濾處理之后再次制成超純水；將硅料加入超純水浸泡，之后將廢液過濾處理之后再次制成超純水；對(duì)硅料進(jìn)行烘干處理，硅料清洗結(jié)束。

技術(shù)研發(fā)人員：張建新
受保護(hù)的技術(shù)使用者：寧夏晶谷新能源有限公司
文檔號(hào)碼：201610650763
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.10
技術(shù)公布日：2016.12.21