技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明實(shí)施例提供一種用于半導(dǎo)體磨削臺(tái)的清潔裝置，包括升降動(dòng)力總成、電機(jī)總成、轉(zhuǎn)軸及清潔頭；其中，升降動(dòng)力總成包括氣缸及連接板；電機(jī)總成包括電機(jī)座及電機(jī)，電機(jī)固定設(shè)置于電機(jī)座上；連接板的一端與氣缸固定連接，另一端與電機(jī)座固定連接；轉(zhuǎn)軸包括分別位于轉(zhuǎn)軸兩端的第一連接部及第二連接部，轉(zhuǎn)軸還包括位于第一連接部與第二連接部之間的轉(zhuǎn)軸中段，第一連接部與電機(jī)固定連接，第二連接部與清潔頭配合連接，第二連接部用于使清潔頭隨轉(zhuǎn)軸共同轉(zhuǎn)動(dòng)；清潔頭具有清潔平面，用于與半導(dǎo)體磨削臺(tái)的表面相接觸。本發(fā)明實(shí)施例結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便，能有效清潔附著于磨削臺(tái)表面的磨削殘留物。

技術(shù)研發(fā)人員：張景瑞;張文斌;李遠(yuǎn)航;殷子文;王欣;劉宇光;楊超
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京中電科電子裝備有限公司
文檔號(hào)碼：201611138325
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.12
技術(shù)公布日：2017.05.31