本發(fā)明涉及激光清洗技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基于柔性光路的激光清洗裝置。

背景技術(shù)：

清洗技術(shù)就是通過溶解、化學(xué)反應(yīng)或施加機(jī)械力等手段來清除物體表面上的污染物。傳統(tǒng)的清洗方法主要有：高壓水清洗法、機(jī)械清洗法、化學(xué)清洗法、超聲波清洗法。這些清洗方法主要是用來清除以銹跡和油脂為主的混有顆粒的表面污染物，在很大程度上滿足了現(xiàn)有工業(yè)生產(chǎn)和日常生活中的需求，但是這些清洗方法也伴隨著許多問題。機(jī)械清洗必須拆裝零件，勞動強(qiáng)度高，同時會對基材造成機(jī)械損傷，縮短工件壽命；高壓水清洗法和化學(xué)清洗法主要依靠水和化學(xué)溶劑，不僅會對環(huán)境造成二次污染，而且清洗精度低，對于特殊材料如：石膏、文物雕塑、半導(dǎo)體器件等無法使用該方法用于清洗。超聲波清洗法利用清洗介質(zhì)的化學(xué)作用和超聲波清洗的物理作用對物體進(jìn)行充分清洗，但對于微米級污粒的清洗無能為力，同時清洗槽的尺寸限制了加工零件的范圍和復(fù)雜程度。

激光清洗技術(shù)是工業(yè)清洗技術(shù)的一場革命，它具有傳統(tǒng)清洗技術(shù)所無法比擬的優(yōu)勢。激光清洗清洗過程沒有化學(xué)試劑的參與,從待清洗物品上清洗掉的基本上都是易于存放和處理的固體粉末,更有利于環(huán)境保護(hù)；激光清洗的應(yīng)用范圍廣,可以滿足不同種類的表面污染物的清洗要求；激光清洗可以實現(xiàn)精確控制,在將污染物從物體的表面清除的同時不會物體的內(nèi)部造成損傷；激光清洗的精度高,能夠達(dá)到微米級或者更小的級別。大功率脈沖式co₂激光器清洗速度快、清洗精度高，在激光清洗領(lǐng)域具有很大的應(yīng)用價值。但是co₂激光器不能使用光纖傳送，必須使用硬光路傳輸光源。硬光路通常由固定透鏡組組成，其鏡片無法移動，光路靈活性差，這一特性極大地限制了co₂激光器在激光清洗領(lǐng)域的應(yīng)用。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種基于柔性光路的激光清洗裝置,克服了現(xiàn)有技術(shù)中靈活性差、清洗效率低、清洗精度低的問題。

本發(fā)明解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下：一種基于柔性光路的激光清洗裝置，包括激光器、機(jī)械手臂、導(dǎo)光臂和掃描機(jī)構(gòu)。所述導(dǎo)光臂固定連接在所述機(jī)械手臂上，并可隨著所述機(jī)械手臂一同聯(lián)動，所述激光器靠近所述導(dǎo)光臂的一端設(shè)置，所述掃描機(jī)構(gòu)靠近所述導(dǎo)光臂的另一端設(shè)置，且所述激光器出射的激光由所述導(dǎo)光臂的入射端進(jìn)入，并從所述導(dǎo)光臂的出射端出射后進(jìn)入所述掃描機(jī)構(gòu)，所述掃描機(jī)構(gòu)可以轉(zhuǎn)動，并調(diào)整進(jìn)入其內(nèi)的激光的方向，使得激光穿出所述掃描機(jī)構(gòu)后對清洗部位進(jìn)行掃描，并完成清洗。

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明的一種基于柔性光路的激光清洗裝置，通過機(jī)械手臂與導(dǎo)光臂結(jié)合，并且導(dǎo)光臂可以隨著所述機(jī)械手臂全角度自由旋轉(zhuǎn)，將傳統(tǒng)的硬光路轉(zhuǎn)變成柔性光路，大大提高了裝置的靈活性，并且采用掃描機(jī)構(gòu)可以提高清洗效率和清洗精度，便于實現(xiàn)自動化控制。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進(jìn)：

進(jìn)一步：所述機(jī)械手臂為彎曲的內(nèi)部中空結(jié)構(gòu)且兩端開口，所述導(dǎo)光臂沿著所述機(jī)械手臂的彎曲方向設(shè)置在所述機(jī)械手臂內(nèi)，且所述導(dǎo)光臂的兩端分別延伸至所述機(jī)械手臂的兩個端口處。

上述進(jìn)一步方案的有益效果是：通過上述方式可以將所述導(dǎo)光臂內(nèi)置于所述機(jī)械手臂內(nèi)，一方面與對所述導(dǎo)光臂進(jìn)行有效的保護(hù)，另一方面可以更好的控制所述導(dǎo)光臂隨著所述機(jī)械手臂一同運(yùn)動，提高所述導(dǎo)光臂的柔性。

進(jìn)一步：所述機(jī)械手臂內(nèi)壁還設(shè)有多組用于固定所述導(dǎo)光臂的固定架，多組所述固定架均等間隔的設(shè)置在所述機(jī)械手臂內(nèi)壁上。

上述進(jìn)一步方案的有益效果是：通過所述固定架可以將所述導(dǎo)光臂更穩(wěn)定的設(shè)置在所述機(jī)械手臂內(nèi)，避免隨著所述機(jī)械手臂運(yùn)動的過程中所述導(dǎo)光臂出現(xiàn)異位，影響光路的穩(wěn)定性。

進(jìn)一步：所述機(jī)械手臂和導(dǎo)光臂共軸線設(shè)置。

上述進(jìn)一步方案的有益效果是：通過上述方式可以進(jìn)一步提高對所述導(dǎo)光臂控制精準(zhǔn)度，從而使得提高清洗精度。

進(jìn)一步：所述機(jī)械手臂包括底座和多個平直的手臂組件，且所述底座和所述手臂組件兩端均設(shè)有供激光穿過的開口，所述底座設(shè)置在外部載體上，多個所述手臂組件順次活動連接，靠近激光入射端的所述手臂組件一端設(shè)置在所述底座上，所述掃描機(jī)構(gòu)通過法蘭設(shè)置在靠近激光出射端的所述手臂組件端部，所述導(dǎo)光臂的入射端延伸至所述底座上的開口處，出射端延伸至靠近激光出射端的所述手臂組件開口處。

上述進(jìn)一步方案的有益效果是：通過上述方式可以增加所述機(jī)械手臂的靈活性，從而間接的提高所述導(dǎo)光臂的靈活性，使得所述機(jī)械手臂可以全方位的帶動所述導(dǎo)光臂運(yùn)動，使得從所述掃描機(jī)構(gòu)出射的激光可以對清洗部位無死角的掃描清洗。

進(jìn)一步：所述導(dǎo)光臂包括多根平直的導(dǎo)光管，多根所述導(dǎo)光管順次連通，相鄰兩根所述導(dǎo)光管連接處遠(yuǎn)離彎曲方向一側(cè)均設(shè)有反光鏡，激光從入射端的所述導(dǎo)光管進(jìn)入并照射到所述反光鏡上，經(jīng)由所述反光鏡反射后進(jìn)入下一根所述導(dǎo)光管，直至從出射端的所述導(dǎo)光管出射后進(jìn)入所述掃描機(jī)構(gòu)內(nèi)。

上述進(jìn)一步方案的有益效果是：通過上述結(jié)構(gòu)可以使得所述導(dǎo)光臂可以進(jìn)行任意角度的調(diào)整，提高所述導(dǎo)光臂的靈活性，通過所述反光鏡一方面可以在所述導(dǎo)光臂的彎折處調(diào)整激光的方向，使得激光能順利的穿出所述導(dǎo)光臂，另一方面可以減少激光的散射，增強(qiáng)清洗效果，提高能量的利用率。

進(jìn)一步：所述導(dǎo)光臂設(shè)置在所述機(jī)械手臂的外部，且所述激光器的激光出射端與所述導(dǎo)光臂入射端連通，所述導(dǎo)光臂的出射端與所述掃描機(jī)構(gòu)的進(jìn)光口連通。

上述進(jìn)一步方案的有益效果是：通過上述方式可以增加所述導(dǎo)光臂的設(shè)置方式多樣性，可以在不具備導(dǎo)光臂內(nèi)置的技術(shù)條件下仍然可以實現(xiàn)所述導(dǎo)光臂與所述機(jī)械手臂的結(jié)合，從而完成光路的柔性調(diào)整。

進(jìn)一步：所述掃描機(jī)構(gòu)選用振鏡，所述振鏡包括驅(qū)動電機(jī)和光學(xué)反射鏡，所述驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動所述光學(xué)反射鏡轉(zhuǎn)動，入射的激光隨著所述光學(xué)反射鏡的轉(zhuǎn)動調(diào)整出射方向，使得激光穿出所述振鏡后對清洗部位進(jìn)行掃描，并進(jìn)行清洗。

上述進(jìn)一步方案的有益效果是：通過上述方式可以便于調(diào)整從所述掃描機(jī)構(gòu)出射的激光方向，并對清洗部位進(jìn)行掃描清洗，通過驅(qū)動電機(jī)的旋轉(zhuǎn)，帶動所述光學(xué)反射鏡轉(zhuǎn)動來調(diào)整激光的出射方向，擴(kuò)大了清洗范圍，并且盡可能避免清洗死角，提高清洗效果。

進(jìn)一步：所述掃描機(jī)構(gòu)選用多棱鏡，所述多棱鏡包括高速電機(jī)和多面棱鏡，所述多面棱鏡具有多個反射面，并安裝在電機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸上，所述高速電機(jī)驅(qū)動所述多面棱鏡旋轉(zhuǎn)，入射的激光隨著所述多面棱鏡的轉(zhuǎn)動調(diào)整出射方向，使得激光穿出所述多棱鏡后對清洗部位進(jìn)行掃描，并進(jìn)行清洗。上述進(jìn)一步方案的有益效果是：通過上述方式可以便于調(diào)整從所述掃描機(jī)構(gòu)出射的激光方向，并對清洗部位進(jìn)行掃描清洗，通過電機(jī)的旋轉(zhuǎn)，多面棱鏡可實現(xiàn)高速旋轉(zhuǎn)，從而實現(xiàn)大角度、高速的光束掃描提高了清洗效率，擴(kuò)大了清洗范圍，并且盡可能避免清洗死角，提高清洗效果。

進(jìn)一步：還包括激光指示器，且所述激光指示器發(fā)射指示激光，并沿著所述激光器出射激光的光路傳輸并到達(dá)清洗部位。

上述進(jìn)一步方案的有益效果是：通過所述激光指示器出射的指示激光，便于指示激光的準(zhǔn)確位置，從而便于所述掃描機(jī)構(gòu)對清洗部位進(jìn)行精確掃描，并完成精確清洗。

進(jìn)一步：還包括激光整形裝置，所述激光整形裝置設(shè)置在所述激光器與所述導(dǎo)光臂的入射端之間，用于對所述激光器出射的激光進(jìn)行整形處理。

上述進(jìn)一步方案的有益效果是：通過所述激光整形裝置可以減少激光的熱積累效應(yīng)，保證清洗效果一致性。

進(jìn)一步：還包括除塵裝置，所述除塵裝置設(shè)置在所述掃描機(jī)構(gòu)上，并用于在清洗時收集灰塵。

上述進(jìn)一步方案的有益效果是：通過所述除塵裝置，一方面可以防止激光清洗產(chǎn)生的污染物進(jìn)入逆向進(jìn)入光路并污染所述掃描機(jī)構(gòu)、導(dǎo)光臂和激光器，另一方面可以收集清洗過程中產(chǎn)生的污染物，屋面污染物飛散，影響清洗效果，污染環(huán)境。

進(jìn)一步：還包括監(jiān)測裝置，所述監(jiān)測裝置設(shè)置在所述掃描機(jī)構(gòu)上，用于實時監(jiān)測清洗部位。

上述進(jìn)一步方案的有益效果是：通過所述監(jiān)測將至可以對清洗部位進(jìn)行實時監(jiān)測，便于觀察清洗效果。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例一的一種基于柔性光路的激光清洗裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實施例二的一種基于柔性光路的激光清洗裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明的除塵裝置的結(jié)構(gòu)示意圖一；

圖4為本發(fā)明的除塵裝置的結(jié)構(gòu)示意圖二。

附圖中，各標(biāo)號所代表的部件列表如下：

1、激光器，2、機(jī)械手臂，3、導(dǎo)光臂，4、掃描機(jī)構(gòu)，5、固定架，6、底座，7、手臂組件，8、法蘭，9、導(dǎo)光管，10、反射鏡，11、激光指示器，12、激光整形裝置，13、除塵裝置，14、監(jiān)測裝置；

101、腔體，102、隔離板，103、出光腔，104、吸塵腔，105、固定板，106、激光加工口，107、吸塵孔。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。

如圖1所示，一種基于柔性光路的激光清洗裝置，包括激光器1、機(jī)械手臂2、導(dǎo)光臂3和掃描機(jī)構(gòu)4。

所述導(dǎo)光臂3固定連接在所述機(jī)械手臂2上，并可隨著所述機(jī)械手臂2一同聯(lián)動，所述激光器1靠近所述導(dǎo)光臂3的一端設(shè)置，所述掃描機(jī)構(gòu)4靠近所述導(dǎo)光臂3的另一端設(shè)置，且所述激光器1出射的激光由所述導(dǎo)光臂3的入射端進(jìn)入，并從所述導(dǎo)光臂3的出射端出射后進(jìn)入所述掃描機(jī)構(gòu)4，所述掃描機(jī)構(gòu)4可以轉(zhuǎn)動，并調(diào)整進(jìn)入其內(nèi)的激光的方向，使得激光穿出所述掃描機(jī)構(gòu)4后對清洗部位進(jìn)行掃描，并完成清洗。

本發(fā)明中，所述激光器1采用co₂激光器、紫外激光器或準(zhǔn)分子激光器中的任意一種，co₂激光器功率為200W，波長1064nm，紫外激光器出射激光的波長為355nm，準(zhǔn)分子激光器出射激光的波長范圍為100-285nm。

優(yōu)選地，作為本發(fā)明的一個實施例，所述機(jī)械手臂2為彎曲的內(nèi)部中空結(jié)構(gòu)且兩端開口，所述導(dǎo)光臂3沿著所述機(jī)械手臂2的彎曲方向設(shè)置在所述機(jī)械手臂2內(nèi)，且所述導(dǎo)光臂3的兩端分別延伸至所述機(jī)械手臂2的兩個端口處。通過上述方式可以將所述導(dǎo)光臂3內(nèi)置于所述機(jī)械手臂2內(nèi)，一方面與對所述導(dǎo)光臂3進(jìn)行有效的保護(hù)，另一方面可以更好的控制所述導(dǎo)光臂3隨著所述機(jī)械手臂2一同運(yùn)動，提高所述導(dǎo)光臂3的柔性。

優(yōu)選地，所述機(jī)械手臂2內(nèi)壁還設(shè)有多組用于固定所述導(dǎo)光臂3的固定架5，所述固定架5均等間隔的設(shè)置在所述機(jī)械手臂2內(nèi)壁上，每組所述固定架5有兩個，并分別設(shè)置在所述機(jī)械手臂2內(nèi)壁上相對兩側(cè)。通過所述固定架5可以將所述導(dǎo)光臂3更穩(wěn)定的設(shè)置在所述機(jī)械手臂2內(nèi)，避免隨著所述機(jī)械手臂2運(yùn)動的過程中所述導(dǎo)光臂3出現(xiàn)異位，影響光路的穩(wěn)定性。

優(yōu)選地、所述機(jī)械手臂2和導(dǎo)光臂3共軸線設(shè)置。通過上述方式可以進(jìn)一步提高對所述導(dǎo)光臂3控制精準(zhǔn)度，從而使得提高清洗精度。

本實施例中，所述機(jī)械手臂2包括底座6和多個平直的手臂組件7，且所述底座6和所述手臂組件7兩端均設(shè)有供激光穿過的開口，所述底座6設(shè)置在外部載體上，多個所述手臂組件7順次活動連接，靠近激光入射端的所述手臂組件7一端設(shè)置在所述底座6上，所述掃描機(jī)構(gòu)4通過法蘭8設(shè)置在靠近激光出射端的所述手臂組件7端部，所述導(dǎo)光臂3的入射端延伸至所述底座6上的開口處，出射端延伸至靠近激光出射端的所述手臂組件7開口處。通過上述方式可以增加所述機(jī)械手臂2的靈活性，從而間接的提高所述導(dǎo)光臂3的靈活性，使得所述機(jī)械手臂3可以全方位的帶動所述導(dǎo)光臂運(yùn)動，使得從所述掃描機(jī)構(gòu)4出射的激光可以對清洗部位無死角的掃描清洗。

本實施例中，所述導(dǎo)光臂3包括多根平直的導(dǎo)光管9，多根所述導(dǎo)光管9順次連通，相鄰兩根所述導(dǎo)光管9連接處遠(yuǎn)離彎曲方向一側(cè)均設(shè)有反光鏡10，激光從入射端的所述導(dǎo)光管9進(jìn)入并照射到所述反光鏡10上，經(jīng)由所述反光鏡8反射后進(jìn)入下一根所述導(dǎo)光管9，直至從出射端的所述導(dǎo)光管9出射后進(jìn)入所述掃描機(jī)構(gòu)4內(nèi)。通過上述結(jié)構(gòu)可以使得所述導(dǎo)光臂3可以進(jìn)行任意角度的調(diào)整，提高所述導(dǎo)光臂3的靈活性，通過所述反光鏡10一方面可以在所述導(dǎo)光臂3的彎折處調(diào)整激光的方向，使得激光能順利的穿出所述導(dǎo)光臂3，另一方面可以減少激光的散射，增強(qiáng)清洗效果，提高能量的利用率。

如圖1所示，本實施例中，所述機(jī)械手臂2由底座6和五個手臂組件7組成，所述導(dǎo)光臂3包括六根導(dǎo)光管9和六個反光鏡10，其中一個反光鏡10設(shè)置在所述導(dǎo)光臂3外，用于將所述激光器1出射的激光反射后進(jìn)入入射端的所述導(dǎo)光管9內(nèi)。

如圖2所示，優(yōu)選地，作為本發(fā)明的另一個實施例，所述導(dǎo)光臂3設(shè)置在所述機(jī)械手臂2的外部，且所述激光器1的激光出射端與所述導(dǎo)光臂3入射端連通，所述導(dǎo)光臂3的出射端與所述掃描機(jī)構(gòu)4的進(jìn)光口連通。通過上述方式可以增加所述導(dǎo)光臂3的設(shè)置方式多樣性，可以在不具備導(dǎo)光臂3內(nèi)置的技術(shù)條件下仍然可以實現(xiàn)所述導(dǎo)光臂3與所述機(jī)械手臂2的結(jié)合，從而完成光路的柔性調(diào)整。

優(yōu)選地，所述掃描機(jī)構(gòu)選用振鏡，所述振鏡包括驅(qū)動電機(jī)和光學(xué)反射鏡，所述驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動所述光學(xué)反射鏡轉(zhuǎn)動，入射的激光隨著所述光學(xué)反射鏡的轉(zhuǎn)動調(diào)整出射方向，使得激光穿出所述振鏡后對清洗部位進(jìn)行掃描，并進(jìn)行清洗。通過上述方式可以便于調(diào)整從所述掃描機(jī)構(gòu)出射的激光方向，并對清洗部位進(jìn)行掃描清洗，通過驅(qū)動電機(jī)的旋轉(zhuǎn)，帶動所述光學(xué)反射鏡轉(zhuǎn)動來調(diào)整激光的出射方向，擴(kuò)大了清洗范圍，并且盡可能避免清洗死角，提高清洗效果。

優(yōu)選地，所述掃描機(jī)構(gòu)4選用多棱鏡，所述多棱鏡包括高速電機(jī)和多面棱鏡，所述多面棱鏡具有多個反射面，并安裝在電機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸上，所述高速電機(jī)驅(qū)動所述多面棱鏡旋轉(zhuǎn)，入射的激光隨著所述多面棱鏡的轉(zhuǎn)動調(diào)整出射方向，使得激光穿出所述多棱鏡后對清洗部位進(jìn)行掃描，并進(jìn)行清洗。通過上述方式可以便于調(diào)整從所述掃描機(jī)構(gòu)出射的激光方向，并對清洗部位進(jìn)行掃描清洗，通過電機(jī)的旋轉(zhuǎn)，多面棱鏡可實現(xiàn)高速旋轉(zhuǎn)，從而實現(xiàn)大角度、高速的光束掃描提高了清洗效率，擴(kuò)大了清洗范圍，并且盡可能避免清洗死角，提高清洗效果。多棱鏡非常適用于高功率、高重頻的激光器進(jìn)行激光清洗，掃描速度可以達(dá)到300m/s，具有極高的掃描定位，提高了清洗速度，并且進(jìn)一步提高了清洗精度。

優(yōu)選地，作為本發(fā)明的另一個實施例，激光清洗裝置還包括激光指示器11，且所述激光指示器11發(fā)射指示激光，并沿著所述激光器1出射激光的光路傳輸并到達(dá)清洗部位。通過所述激光指示器11出射的指示激光，便于指示激光的準(zhǔn)確位置，從而便于所述掃描機(jī)構(gòu)4對清洗部位進(jìn)行精確掃描，并完成精確清洗。

優(yōu)選地，作為本發(fā)明的另一個實施例，激光清洗裝置還包括激光整形裝置12，所述激光整形裝置12設(shè)置在所述激光器1與所述導(dǎo)光臂3的入射端之間，用于對所述激光器1出射的激光進(jìn)行整形處理。上述進(jìn)一步方案的有益效果是：通過所述激光整形裝置12可以減少激光的熱積累效應(yīng)，保證清洗效果一致性。這里，所述激光整形裝置12采用現(xiàn)有的激光整形設(shè)備。

優(yōu)選地，作為本發(fā)明的另一個實施例，激光清洗裝置還包括除塵裝置13，所述除塵裝置13設(shè)置在所述掃描機(jī)構(gòu)4上，并用于在清洗時收集灰塵。通過所述除塵裝置，一方面可以防止激光清洗產(chǎn)生的污染物進(jìn)入逆向進(jìn)入光路并污染所述掃描機(jī)構(gòu)4、導(dǎo)光臂3和激光器1，另一方面可以收集清洗過程中產(chǎn)生的污染物，屋面污染物飛散，影響清洗效果，污染環(huán)境。

如圖3、4所示，所述除塵裝置13包括頂端和底端均開口的倒棱臺形腔體101，所述腔體101內(nèi)豎直的設(shè)有隔離板102，所述隔離板102將所述腔體101內(nèi)部分成出光腔103和吸塵腔104，所述腔體101的頂端固定有固定板105，所述固定板105上設(shè)有與所述出光腔103連通的激光加工口106，所述固定板105上設(shè)有與所述吸塵腔104頂端連通的吸塵孔107，激光器1固定在所述固定板105上，且激光器1發(fā)射的激光從所述激光加工口106進(jìn)入并穿過所述出光腔103后對清洗部位進(jìn)行清洗，吹風(fēng)設(shè)備通過所述激光加工口106向所述出光腔103通入壓縮氣體，吸風(fēng)設(shè)備通過所述吸塵孔107吸走所述吸塵腔104內(nèi)的空氣并帶走激光清洗過程中產(chǎn)生的污染物。

優(yōu)選地，作為本發(fā)明的另一個實施例，激光清洗裝置還包括監(jiān)測裝置14，所述監(jiān)測裝置設(shè)置在所述掃描機(jī)構(gòu)4上，用于實時監(jiān)測清洗部位。通過所述監(jiān)測將至14可以對清洗部位的清洗質(zhì)量進(jìn)行實時監(jiān)測，提高了清洗的可控性和清洗精度，便于觀察清洗效果。這里，所述監(jiān)測裝置14包括CCD圖形傳感器和監(jiān)視器。

優(yōu)選地，所述監(jiān)測裝置14還包括LED燈，用于補(bǔ)充照明，便于清晰地獲取清洗部位的圖像信息，輔助監(jiān)測。

本發(fā)明的一種基于柔性光路的激光清洗裝置，通過機(jī)械手臂2與導(dǎo)光臂3結(jié)合，并且導(dǎo)光臂3可以隨著所述機(jī)械手臂2全角度自由旋轉(zhuǎn)，將傳統(tǒng)的硬光路轉(zhuǎn)變成柔性光路，大大提高了裝置的靈活性，并且采用掃描機(jī)構(gòu)可以提高清洗效率和清洗精度，便于實現(xiàn)自動化控制。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。