本實(shí)用新型涉及一種薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔裝置。

背景技術(shù)：

在薄膜太陽能電池生產(chǎn)過程中，將清洗后的導(dǎo)電玻璃裝入立式基片裝載箱，加熱到一定溫度后使用PECVD法在導(dǎo)電玻璃基片上沉積薄膜完成不同光吸收層電池的制作，是整個(gè)電池生產(chǎn)技術(shù)的關(guān)鍵步驟。在沉積過程中不可避免的會(huì)有粉塵顆粒附著于裝載箱體內(nèi)。殘留的粉塵顆粒需要清潔干凈，防止在TCO玻璃上沉積吸收層時(shí)出現(xiàn)針孔、透空等鍍膜不良現(xiàn)象的發(fā)生。對(duì)基片裝載箱清潔是PECVD工藝不可忽略的難題。

目前基片裝載箱的清潔一般采用人工清潔，對(duì)工件架清潔擦拭的范圍為：裝載箱兩端極板邊緣3-4cm,最后使用壓縮N2或壓縮空氣吹掃整個(gè)裝載箱后才能裝導(dǎo)電玻璃。由于基片裝載箱結(jié)構(gòu)復(fù)雜，鋁板之間的間距非常小，清潔死角很多，清潔難度大。使用傳統(tǒng)手工方法清潔，雖然可以保證清潔度，但工作量很大，影響工作效率，甚至可能減慢整個(gè)生產(chǎn)節(jié)拍。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型其目的就在于提供一種薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔裝置，解決了基片裝載箱清潔難度大的問題，具有清潔效果好、工作效率高、節(jié)省勞動(dòng)力的特點(diǎn)。

實(shí)現(xiàn)上述目的而采取的技術(shù)方案，包括底座、裝載箱，所述底座一側(cè)設(shè)有支架，支架上下兩端各設(shè)有一個(gè)伺服電機(jī)，伺服電機(jī)連接控制器，所述伺服電機(jī)經(jīng)皮帶連接固定在支架上端的滾軸，所述滾軸上下兩側(cè)各設(shè)有一根帶有氣孔的噴氣管，滾軸上設(shè)有毛刷，所述噴氣管一端連接CDA氣管，所述裝載箱套裝于兩個(gè)噴氣管的外側(cè)，裝載箱一端經(jīng)固定卡扣和可旋轉(zhuǎn)螺絲連接不銹鋼門，所述不銹鋼門一端設(shè)有排氣口。

有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比本實(shí)用新型的有如下優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是解決了由于基片裝載箱結(jié)構(gòu)復(fù)雜，鋁板之間的間距非常小，清潔死角很多，清潔難度大，使用傳統(tǒng)手工方法清潔，雖然可以保證清潔度，但工作量很大，影響工作效率，甚至可能減慢整個(gè)生產(chǎn)節(jié)拍的問題，提高了生產(chǎn)效率。

本裝置用于生產(chǎn)薄膜電池的裝載箱在沉積反應(yīng)結(jié)束后，會(huì)有粉塵顆粒殘留，殘留的粉塵顆粒需要清潔干凈，防止在TCO玻璃上沉積吸收層時(shí)出現(xiàn)針孔、透空等鍍膜不良現(xiàn)象的發(fā)生。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖之一。

圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖之二。

圖中所示：滾軸1、毛刷2、氣孔3、伺服電機(jī)4、皮帶5、控制器6、CDA氣管7、萬向輪8、固定卡扣9、可旋轉(zhuǎn)螺絲10、排氣口11。

具體實(shí)施方式

本裝置包括底座11、裝載箱14，如圖1、圖2所示，所述底座11一側(cè)設(shè)有支架13，支架13上下兩端各設(shè)有一個(gè)伺服電機(jī)4，伺服電機(jī)4連接控制器6，所述伺服電機(jī)4經(jīng)皮帶5連接固定在支架13上端的滾軸1，所述滾軸1上下兩側(cè)各設(shè)有一根帶有氣孔3的噴氣管15，滾軸1上設(shè)有毛刷2，所述噴氣管15一端連接CDA氣管7，所述裝載箱14套裝于兩個(gè)噴氣管15的外側(cè)，裝載箱14一端經(jīng)固定卡扣9和可旋轉(zhuǎn)螺絲10連接不銹鋼門16，所述不銹鋼門16一端設(shè)有排氣口12。

所述底座11、支架13下端設(shè)有萬向輪8。

所述不銹鋼門16為三角形。

工作原理

本裝置工作時(shí)，由滾軸1、毛刷2、氣孔3及噴氣管15組成的洗刷吹掃部件，通過調(diào)整萬向輪8沿極板之間空間處水平進(jìn)入裝載箱14內(nèi)部，該裝置主體可左右活動(dòng)10cm，不銹鋼門16通過固定卡扣9和可旋轉(zhuǎn)螺絲10固定在裝載箱14右側(cè)，通過控制器6，開啟伺服電機(jī)4轉(zhuǎn)動(dòng)，并在CDA氣管7內(nèi)通入CDA氣體。在伺服電機(jī)4和皮帶5的作用下，滾軸1帶動(dòng)毛刷2轉(zhuǎn)動(dòng)將基板間的粉塵顆粒揚(yáng)起，CDA氣體通過上下噴氣管15的氣孔3將粉塵顆粒吹出極板間；同時(shí)，洗刷吹掃部件在伺服電機(jī)4和皮帶5的作用下沿平行于極板的方向上下運(yùn)動(dòng)，與此同時(shí)開啟連接在裝載箱14右側(cè)不銹鋼門16上的排氣口12，并打開與排氣口12相連的抽氣裝置，不斷的將從裝載箱14內(nèi)部吹掃出來的粉塵顆粒排出，重復(fù)此過程，直到將整個(gè)極板清潔干凈后停止運(yùn)行。