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一種薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔裝置的制作方法

文檔序號(hào):11953366閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
一種薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔裝置,包括底座、裝載箱,所述底座一側(cè)設(shè)有支架,支架上下兩端各設(shè)有一個(gè)伺服電機(jī),伺服電機(jī)連接控制器,所述伺服電機(jī)經(jīng)皮帶連接固定在支架上端的滾軸,所述滾軸上下兩側(cè)各設(shè)有一根帶有氣孔的噴氣管,滾軸上設(shè)有毛刷,所述噴氣管一端連接CDA氣管,所述裝載箱套裝于兩個(gè)噴氣管的外側(cè),裝載箱一端經(jīng)固定卡扣和可旋轉(zhuǎn)螺絲連接不銹鋼門,所述不銹鋼門一端設(shè)有排氣口。解決了基片裝載箱清潔難度大的問題,具有清潔效果好、工作效率高、節(jié)省勞動(dòng)力的特點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員:魏小濤;王宏杰;周志虎
受保護(hù)的技術(shù)使用者:江西共青城漢能薄膜太陽能有限公司
文檔號(hào)碼:201620512074
技術(shù)研發(fā)日:2016.05.31
技術(shù)公布日:2016.12.07

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