]如圖1所示，實施方式I的液體處理裝置100在介電管101的內(nèi)部配置有第一電極102和第二電極103。第一電極102的至少一部分浸漬在介電管101內(nèi)的被處理水109中。第二電極103的至少一部分浸漬在介電管101內(nèi)的被處理水109中。在第一電極102與第二電極103之間連接有施加電壓的電源104。在第一電極102處連接有向介電管101內(nèi)供給氣體110的氣體供給部105。供給的氣體110形成覆蓋第一電極102的氣泡111。
[0053][包括第一電極的電極單元150a]
[0054]接著，對液體處理裝置100中的包括第一電極102的電極單元150進(jìn)行說明。電極單元150也可以為僅具有第一電極102的簡單的結(jié)構(gòu)。此外，電極單元150也可以使用各種結(jié)構(gòu)。例如，電極單元150也可以在第一電極102的周圍配置有絕緣體106。
[0055]以下，作為包括第一電極102的電極單兀150的一個例子，對以在第一電極102a的周圍形成空間108的方式配置有絕緣體的電極單元150a進(jìn)行說明。
[0056]圖2為表示實施方式I的液體處理裝置100的電極單元150a的一個例子的截面圖。圖2所示的電極單元150a具備第一電極102a、絕緣體106、以及保持塊121。
[0057]第一電極102a具備配置在介電管101內(nèi)的金屬電極部122、和被保持塊121連接固定并與電源104連接的金屬固定部123。在金屬電極部122的周圍，以形成空間108的方式設(shè)置有絕緣體106。絕緣體106設(shè)置有將介電管101內(nèi)部與絕緣體和金屬電極部122之間的空間108連通的開口部107。金屬固定部123在外周具備螺紋部124，并且在內(nèi)部具備貫通孔125。氣體供給部105經(jīng)由貫通孔125向空間108供給氣體110，氣體110以氣泡111的形式由開口部107向被處理水109中釋放。保持塊121在內(nèi)部具備與金屬固定部123的螺紋部124螺合的螺紋部126。
[0058]接著，對構(gòu)成液體處理裝置100的各結(jié)構(gòu)部件的具體例進(jìn)行說明。
[0059]〈介電管〉
[0060]例如，介電管101也可以由內(nèi)徑為5mm的圓筒管的硅膠管形成。介電管101只要是管狀的部件，可以由任意的形狀或大小構(gòu)成。介電管101的截面也可以為例如方形、三角形或其它多角形。此外，形成介電管101的材料并不限定于硅膠，只要是具有耐等離子體性、耐熱性的材料即可。實施方式I中，如圖1所示，被處理水(液體)109在介電管101內(nèi)由上游側(cè)(箭頭130)向下游側(cè)(箭頭131)流通。
[0061]此外，例如，介電管101的長度相對于介電管101的內(nèi)徑的比可以為5倍以上。例如，介電管101的內(nèi)徑可以為3mm以上。由此，由于介電管101的內(nèi)徑比等離子體的產(chǎn)生場所大，因此能夠抑制介電管101被等離子體損傷。例如，介電管101的內(nèi)徑可以為30mm以下。由此，能夠使液體處理裝置100小型化。
[0062]〈第一電極〉
[0063]第一電極102a的至少一部分配置在介電管101內(nèi)。如圖2所不，第一電極102a具備金屬電極部122和金屬固定部123。金屬電極部122和金屬固定部123也可以以不同大小、由不同材料的金屬形成。例如，金屬電極部122可以具有直徑為0.95mm的圓柱形狀，由鶴形成。例如，金屬固定部123可以具有直徑為3mm的圓柱形狀，由鐵形成。金屬電極部122的直徑只要為產(chǎn)生等離子體112的直徑即可，例如，直徑可以為2_以下。此外，金屬電極部122的形狀并不限定于圓柱形狀。介電管101內(nèi)的金屬電極部122也可以為一端到另一端的直徑實質(zhì)上沒有變化的柱形狀。這樣的柱狀電極與針狀的越向端部越細(xì)的在最端部沒有實質(zhì)厚度的形狀相比，能夠抑制電場在前端部過度集中，能夠抑制因使用而發(fā)生劣化。金屬電極部122的材料并不限定于鎢，也可以使用其它的耐等離子體性的金屬材料。例如，關(guān)于金屬電極部122的材料，雖然耐久性會惡化，但也可以由銅、鋁、鐵、鉑、或它們的合金形成。進(jìn)而，也可以在金屬電極部122的表面的一部分噴鍍添加有導(dǎo)電性物質(zhì)的氧化紀(jì)。添加有導(dǎo)電性物質(zhì)的氧化釔具有例如I?30 Ω cm的電阻率。通過噴鍍氧化釔，使電極壽命變長。
[0064]金屬固定部123的直徑并不限于3_，其尺寸只要是比金屬電極部122的直徑大即可。例如，金屬固定部123的材料只要是易于加工的金屬材料即可。金屬固定部123的材料例如為普通的螺釘所使用的材料，可以為銅、鋅、鋁、錫以及黃銅等。
[0065]第一電極102a例如可以通過將金屬電極部122壓入金屬固定部123來形成。這樣，通過在金屬電極部122中使用等離子體耐受性高的金屬材料，在金屬固定部123中使用易于加工的金屬材料，能夠?qū)崿F(xiàn)具有等離子體耐受性、同時制造成本低、特定穩(wěn)定化的第一電極102a。
[0066]在金屬固定部123的內(nèi)部也可以設(shè)置連接于氣體供給部105的貫通孔125。貫通孔125與在絕緣體106和金屬電極部122之間形成的空間108相連。因此，來自氣體供給部105的氣體110經(jīng)由貫通孔125供給到空間108。金屬電極部122被由該貫通孔125供給的氣體110覆蓋。貫通孔125也可以設(shè)置在金屬電極部122的重力方向的下側(cè)。通過將貫通孔125設(shè)置在金屬固定部123的重力方向的下側(cè)，使得金屬電極部122容易被由氣體供給部105供給的氣體110覆蓋。此外，貫通孔125的數(shù)量為2個以上時，能夠抑制貫通孔125中的壓力損失。例如，貫通孔125的直徑可以為0.3mm。但是，貫通孔125的形狀和大小并不限定于此。
[0067]在金屬固定部123的外周也可以設(shè)置螺紋部124。例如，金屬固定部123的外周的螺紋部124為外螺紋時，保持塊121中可以設(shè)置內(nèi)螺紋的螺紋部126。通過將螺紋部124與螺紋部126螺合，能夠?qū)⒌谝浑姌O102a固定在保持塊121中。此外，通過旋轉(zhuǎn)金屬固定部123，能夠準(zhǔn)確地調(diào)整金屬電極部122的端面相對于設(shè)置于絕緣體106的開口部107的位置。進(jìn)而，通過經(jīng)由螺紋部124將金屬固定部123與電源104連接并固定，由此可使電源104與第一電極102a的接觸電阻穩(wěn)定化，使第一電極102a的特性穩(wěn)定化。此外，經(jīng)由螺紋部126將氣體供給部105與第一電極102a連接并固定時，能夠可靠地將氣體供給部105與第一電極102a連接。這樣的想方設(shè)法與實際應(yīng)用時的防水措施或安全措施相關(guān)聯(lián)。
[0068]相對于被處理水109在介電管101內(nèi)流通的方向(圖1所示的箭頭131)，第一電極102a可以按照第一電極102a的長度方向朝向任意的方向的方式進(jìn)行配置。例如，第一電極102a可以按照在介電管101內(nèi)流通的被處理水109向朝第一電極102a的側(cè)面的方向流通的方式進(jìn)行配置。作為一個例子，如圖1所示，第一電極102a可以按照第一電極102a的長度方向與被處理水109在介電管101內(nèi)流通的方向(如圖1所示的箭頭131)垂直的方向進(jìn)行配置。為如圖1所示的第一電極102a的配置時，能夠抑制氣泡111在第一電極102a的周圍滯留。氣泡111例如通過由氣體供給部105供給的氣體110來形成。
[0069]換而言之，如圖1所示，第一電極102a的長度方向可以與在介電管101內(nèi)被處理水109由第二電極103向第一電極102a流通的方向相交。通過這樣的配置，能夠抑制氣泡111在第一電極102a的周圍滯留。另外，第一電極102a的長度方向與被處理水109的流通方向只要作為矢量相交即可。例如，第一電極102a的一端可以向流路中實際突出，也可以不突出。
[0070]〈第二電極〉
[0071 ] 第二電極103的至少一部分配置在介電管101內(nèi)。例如，第二電極103可以具有直徑為Imm的圓柱形狀，由鎢形成。第二電極103并不限定于該形狀、大小、材料。此外，第二電極103只要是由導(dǎo)電性的金屬材料形成即可。例如，第二電極103可以與第一電極102a同樣地由鐵、鎢、銅、鋁、鉑、或含有選自這些金屬中的一種或多種金屬的合金等材料形成。
[0072]例如，第一電極102a與第二電極103之間的距離可以為10mm。第一電極102a與第二電極103的距離只要是產(chǎn)生等離子體112的距離即可，并不限定于此。具備介電管101的液體處理裝置100中，與被處理水109流通的流路受到限制相伴地，第一電極102a與第二電極103之間的電通路的電阻值變高，有變得難以在第一電極102a與第二電極103之間發(fā)生放電的趨勢。因此，電極間的距離可以根據(jù)設(shè)置流路的介電管101的內(nèi)徑適當(dāng)設(shè)定。例如，第一電極102a與第二電極103之間的距離例如可以為Imm以上且15mm以下。介電管101的內(nèi)徑為5mm時，第一電極102a與第二電極103之間的距離可以為5mm以上且15以下的范圍。
[0073]第二電極103在介電管101內(nèi)相對于第一電極102a配置在上游側(cè)。通過這樣的配置，實施方式I的液體處理裝置100能夠高效地產(chǎn)生等離子體112。
[0074]<絕緣體>
[0075]絕緣體106以在第一電極102a的金屬電極部122的周圍形成空間108的方式配置。在空間108中由氣體供給部105供給氣體110，金屬電極部122被該氣體110覆蓋。因此，盡管電極的金屬即導(dǎo)電體露出部露出，金屬電極部122的外周面也形成為不與被處理水109直接接觸。絕緣體106例如可以為內(nèi)徑為Imm的圓筒形狀。但是，絕緣體106的大小、形狀并不限定于此。
[0076]絕緣體106具備開口部107