。
[0058]優(yōu)選地，所述清洗執(zhí)行單元包括:五通接頭10、清洗控制閥20、清洗支管路26、清洗管路30、清洗噴嘴I 40、清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭I 41、清洗噴嘴II 42、清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭II 43、清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭III 44、清洗噴嘴III 45、清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭IV 46、清洗噴嘴IV 47 ;所述五通接頭10分別連通清洗管路30和清洗支管路26，所述清洗支管路26分別通過清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭
I41、清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭II 43、清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭III 44、清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭IV 46與貫穿所述清洗槽9的清洗噴嘴I 40、清洗噴嘴II 42、清洗噴嘴III45、清洗噴嘴IV 47相連，所述清洗控制閥20安裝在所述清洗管路30上。
[0059]優(yōu)選地，所述機(jī)械支撐結(jié)構(gòu)包括:緩沖容器支架1、安裝底板16、積液器支架17、高度調(diào)整螺母I 32、支撐桿I 33、支撐桿II 36、高度調(diào)整螺母II 37、傳感器安裝板39 ;所述緩沖容器支架1和積液器支架17均安裝在所述安裝底板16上，且分別用于支撐緩沖容器2和積液器18 ;所述支撐桿I 33和支撐桿II 36均安裝在清洗槽9上；所述傳感器安裝板39被支撐桿I 33和支撐桿II 36貫穿，并被支撐桿I 33上的高度調(diào)整螺母I 32和支撐桿II 36上的高度調(diào)整螺母II 37夾緊；所述高度調(diào)整螺母I 32和高度調(diào)整螺母II 37能夠調(diào)整所述傳感器安裝板39與所述清洗噴嘴I 40、清洗噴嘴II 42、清洗噴嘴III45、清洗噴嘴IV 47之間的距離。
[0060]優(yōu)選地，所述壓力傳感器5能夠?qū)崟r監(jiān)測所述增壓管路25中氣體的壓力；
[0061]當(dāng)需要增加清洗壓力時，通過調(diào)節(jié)增壓控制閥6提高壓力的設(shè)定值，并打開進(jìn)氣控制閥3，關(guān)閉氣體排放閥7 ;
[0062]當(dāng)需要減小清洗壓力時，通過調(diào)節(jié)增壓控制閥6降低壓力的設(shè)定值，并打開氣體排放閥7，關(guān)閉進(jìn)氣控制閥3。
[0063]具體地，清洗液進(jìn)入到積液器18中后，通過緩沖容器2中的氣體對積液器18中的清洗液進(jìn)行增壓，當(dāng)增壓壓力達(dá)到預(yù)定值后，開啟清洗控制閥20，清洗液從清洗噴嘴I 40、清洗噴嘴II 42、清洗噴嘴III 45、清洗噴嘴IV 47中高速流出，實(shí)現(xiàn)對傳感器I 31、傳感器
II34、傳感器III 35、傳感器IV 38的清洗，并可以根據(jù)清洗效果對增壓壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0064]優(yōu)選地，所述清洗執(zhí)行單元能夠通過清洗控制閥的開啟與關(guān)閉實(shí)現(xiàn)多種清洗方式，包括:脈沖清洗、穩(wěn)態(tài)清洗、混合清洗。
[0065]優(yōu)選地，所述清洗執(zhí)行單元能夠通過清洗控制閥20的開啟與關(guān)閉實(shí)現(xiàn)多種清洗方式，包括:脈沖清洗、穩(wěn)態(tài)清洗、混合清洗。
[0066]優(yōu)選地，所述的清洗噴嘴I 40、清洗噴嘴II 42、清洗噴嘴III45、清洗噴嘴IV47能夠繞清洗槽9的底座進(jìn)行45°范圍的角度調(diào)整，實(shí)現(xiàn)對傳感器的多角度清洗。
[0067]優(yōu)選地，所述清洗液供應(yīng)單元能夠通過控制所述自吸栗進(jìn)液閥I 22和自吸栗進(jìn)液閥II 23的開啟與關(guān)閉選擇不同的清洗液。
[0068]具體地，裝置在初始狀態(tài)時所有閥門處于關(guān)閉狀態(tài)，此時緩沖容器2和積液器18中均處于空置狀態(tài)。打開進(jìn)氣控制閥3，根據(jù)壓力傳感器5顯示的壓力參數(shù)對減壓器進(jìn)行調(diào)節(jié)獲得預(yù)定的壓力值；打開自吸抽液栗19、自吸栗進(jìn)液閥I 22、自吸栗出液閥21以及氣體排放閥7，清洗液進(jìn)入到積液器18中，而積液器18中的多余氣體通過氣體排放管路29排出。當(dāng)有清洗液從氣體排放管路29流出時，關(guān)閉自吸抽液栗19、自吸栗進(jìn)液閥I 22、自吸栗出液閥21和氣體排放閥7 ;打開增壓控制閥6對積液器18中的清洗液進(jìn)行增壓。打開清洗控制閥20，清洗液從清洗噴嘴I 40、清洗噴嘴II 42、清洗噴嘴III 45、清洗噴嘴IV 47中高速流出，實(shí)現(xiàn)傳感器I 31、傳感器II 34、傳感器III 35、傳感器IV 38的清洗。當(dāng)積液器18中的清洗液耗盡時，關(guān)閉增壓控制閥6，重復(fù)上述過程進(jìn)入下一清洗循環(huán)。
[0069]以上對本發(fā)明的具體實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本發(fā)明并不局限于上述特定實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變形或修改，這并不影響本發(fā)明的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種微小尺度盲腔內(nèi)壁表面凈化除垢裝置，其特征在于，包括:清洗液供應(yīng)單元、清洗液回收單元、氣體增壓單元、清洗執(zhí)行單元這四個單元以及機(jī)械支撐結(jié)構(gòu)，所述四個單元之間通過管路連接，管路上的閥門控制這四個單元之間的通斷，且所述四個單元均安裝在所述機(jī)械支撐結(jié)構(gòu)上； 所述清洗液供應(yīng)單元用于向清洗執(zhí)行單元提供清洗液； 所述清洗液回收單元用于回收清洗剩余的清洗液； 所述氣體增壓單元用于調(diào)節(jié)輸入氣體的壓力，實(shí)現(xiàn)不同力度的清洗； 所述清洗執(zhí)行單元用于實(shí)現(xiàn)多種方式的清洗，包括:洗液射流清洗、氣液兩相流清洗以及氣體風(fēng)淋清洗。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微小尺度盲腔內(nèi)壁表面凈化除垢裝置，其特征在于，所述清洗液供應(yīng)單元包括:氣體排放閥(7)、清洗液容器I (14)、清洗液容器II (15)、積液器(18)、自吸抽液栗(19)、自吸栗出液閥(21)、自吸栗進(jìn)液閥I (22)、自吸栗進(jìn)液閥II (23)、自吸栗出液管路(27)、自吸栗進(jìn)液管路(28)、氣體排放管路(29);所述清洗液容器I (14)、清洗液容器II (15)分別通過所述自吸栗進(jìn)液閥I (22)、自吸栗進(jìn)液閥II (23)與自吸栗進(jìn)液管路(28)的輸入端相連，所述自吸栗進(jìn)液管路(28)的輸出端與自吸抽液栗(19)相連，所述自吸抽液栗(19)通過自吸栗出液管路(27)向積液器(18)輸送清洗液，所述自吸栗出液管路(27)上安裝有自吸栗出液閥(21)，設(shè)置在積液器(18)上端的氣體排放管路(29)上安裝有氣體排放閥(7);且所述清洗液供應(yīng)單元的各個組件之間通過球頭螺帽的形式進(jìn)行連接和密封。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微小尺度盲腔內(nèi)壁表面凈化除垢裝置，其特征在于，所述清洗液回收單元包括:清洗防濺射板(8)、清洗槽(9)、清洗液回排閥I (11)、清洗液回排管路(12)、清洗液回排閥II (13);所述清洗防濺射板⑶以可拆卸的方式安裝在清洗槽(9)的周邊，清洗液回排管路(12)與清洗槽(9)相連，清洗液回排閥I (11)、清洗液回排閥II (13)均安裝在清洗液回排管路(12)上。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微小尺度盲腔內(nèi)壁表面凈化除垢裝置，其特征在于，所述氣體增壓單元包括:緩沖容器(2)、進(jìn)氣控制閥(3)、三通接頭(4)、壓力傳感器(5)、增壓控制閥(6)、進(jìn)氣管路(24)以及增壓管路(25);所述進(jìn)氣管路(24)通過三通接頭(4)與緩沖容器(2)相連，所述進(jìn)氣控制閥(3)安裝在所述進(jìn)氣管路(24)上，所述增壓管路(25)通過壓力傳感器(5)與所述三通接頭(4)相連，所述增壓控制閥(6)安裝在增壓管路(25)上；且所述緩沖容器(2)能夠通過所述增壓控制閥(6)對積液器(18)內(nèi)的清洗液進(jìn)行增壓。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微小尺度盲腔內(nèi)壁表面凈化除垢裝置，其特征在于，所述清洗執(zhí)行單元包括:五通接頭(10)、清洗控制閥(20)、清洗支管路(26)、清洗管路(30)、清洗噴嘴I (40)、清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭I (41)、清洗噴嘴II (42)、清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭II (43)、清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭III (44)、清洗噴嘴III (45)、清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭IV (46)、清洗噴嘴IV (47);所述五通接頭(10)分別連通清洗管路(30)和清洗支管路(26)，所述清洗支管路(26)分別通過清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭I (41)、清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭II (43)、清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭III (44)、清洗噴嘴轉(zhuǎn)接頭IV (46)與貫穿所述清洗槽(9)的清洗噴嘴I (40)、清洗噴嘴II (42)、清洗噴嘴III (45)、清洗噴嘴IV (47)相連，所述清洗控制閥(20)安裝在所述清洗管路(30)上。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微小尺度盲腔內(nèi)壁表面凈化除垢裝置，其特征在于，所述機(jī)械支撐結(jié)構(gòu)包括:緩沖容器支架(I)、安裝底板(16)、積液器支架(17)、高度調(diào)整螺母I (32)、支撐桿I (33)、支撐桿II (36)、高度調(diào)整螺母II (37)、傳感器安裝板(39);所述緩沖容器支架(I)和積液器支架(17)均安裝在所述安裝底板(16)上，且分別用于支撐緩沖容器(2)和積液器(18);所述支撐桿I (33)和支撐桿II (36)均安裝在清洗槽(9)上；所述傳感器安裝板(39)被支撐桿I (33)和支撐桿II (36)貫穿，并被支撐桿I (33)上的高度調(diào)整螺母I (32)和支撐桿II (36)上的高度調(diào)整螺母II (37)夾緊；所述高度調(diào)整螺母I (32)和高度調(diào)整螺母II (37)能夠調(diào)整所述傳感器安裝板(39)與所述清洗噴嘴I (40)、清洗噴嘴II (42)、清洗噴嘴III (45)、清洗噴嘴IV (47)之間的距離。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微小尺度盲腔內(nèi)壁表面凈化除垢裝置，其特征在于，所述壓力傳感器(5)能夠?qū)崟r監(jiān)測所述增壓管路(25)中氣體的壓力； 當(dāng)需要增加清洗壓力時，通過調(diào)節(jié)增壓控制閥(6)提高壓力的設(shè)定值，并打開進(jìn)氣控制閥(3)，關(guān)閉氣體排放閥(7); 當(dāng)需要減小清洗壓力時，通過調(diào)節(jié)增壓控制閥(6)降低壓力的設(shè)定值，并打開氣體排放閥(7)，關(guān)閉進(jìn)氣控制閥(3)。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微小尺度盲腔內(nèi)壁表面凈化除垢裝置，其特征在于，所述清洗執(zhí)行單元能夠通過清洗控制閥(20)的開啟與關(guān)閉實(shí)現(xiàn)多種清洗方式，包括:脈沖清洗、穩(wěn)態(tài)清洗、混合清洗。9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微小尺度盲腔內(nèi)壁表面凈化除垢裝置，其特征在于，所述的清洗噴嘴I (40)、清洗噴嘴II (42)、清洗噴嘴III (45)、清洗噴嘴IV (47)能夠繞清洗槽(9)的底座進(jìn)行45°范圍的角度調(diào)整，實(shí)現(xiàn)對傳感器的多角度清洗。10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微小尺度盲腔內(nèi)壁表面凈化除垢裝置，其特征在于，所述清洗液供應(yīng)單元能夠通過控制所述自吸栗進(jìn)液閥I (22)和自吸栗進(jìn)液閥II (23)的開啟與關(guān)閉選擇不同的清洗液。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種微小尺度盲腔內(nèi)壁表面凈化除垢裝置，包括：清洗液供應(yīng)單元、清洗液回收單元、氣體增壓單元、清洗執(zhí)行單元以及機(jī)械支撐結(jié)構(gòu)，所述四個單元之間通過管路連接，管路上的閥門控制各個單元之間的通斷，且所述四個單元均安裝在所述機(jī)械支撐結(jié)構(gòu)上；所述清洗液供應(yīng)單元用于向清洗執(zhí)行單元提供清洗液；所述清洗液回收單元用于回收清洗剩余的清洗液；所述氣體增壓單元用于調(diào)節(jié)輸入氣體的壓力，實(shí)現(xiàn)不同力度的清洗；所述清洗執(zhí)行單元用于實(shí)現(xiàn)多種方式的清洗；所述機(jī)械支撐結(jié)構(gòu)用于整個裝置的固定、定位、安裝以及支撐。本發(fā)明自動化程度高、使用方便、清洗效率高，可廣泛應(yīng)用于微小儀器內(nèi)腔的凈化除垢。
【IPC分類】B08B3/14, B08B3/02, B08B5/02, B08B3/08
【公開號】CN105234113
【申請?zhí)枴緾N201510655745
【發(fā)明人】王開廳, 王明迪, 邵青, 陳廣其, 俞春生, 郝紹纮
【申請人】上?？臻g推進(jìn)研究所
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年10月12日