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薄膜涂布裝置及薄膜涂布方法與流程

文檔序號(hào):12620800閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種薄膜涂布裝置及薄膜涂布方法。該薄膜涂布裝置包含一第一滾輪,一涂布模頭以及一第二滾輪。該第一滾輪具有一剛性表面。該涂布模頭設(shè)置于該第一滾輪的一側(cè),用以施加一涂布材料于該第一滾輪的剛性表面。該第二滾輪具有一彈性表面用以輸送一薄膜,且用以抵接于該第一滾輪的剛性表面。其中當(dāng)該第一滾輪及該第二滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),該第一滾輪的剛性表面及該第二滾輪的彈性表面于抵接位置的切線速度的方向相反。本發(fā)明薄膜涂布裝置可提高涂布材料厚度的均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員:夏國雄;陸敬文
受保護(hù)的技術(shù)使用者:臺(tái)虹科技股份有限公司
文檔號(hào)碼:201610007392
技術(shù)研發(fā)日:2016.01.07
技術(shù)公布日:2017.06.13

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