技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種帶實(shí)時(shí)高度調(diào)節(jié)的晶圓噴淋頭結(jié)構(gòu)，包括固定安裝于噴淋頭安裝板上的豎向氣缸，所述豎向氣缸的活塞桿下端固定安裝有噴淋頭及測距儀，噴淋頭位于活塞桿的一側(cè)，測距儀位于活塞桿的下端；還包括一控制器，所述測距儀的輸出端與控制器的輸入端連接，所述控制器的輸出端與豎向氣缸的行程控制單元連接。本發(fā)明采用實(shí)時(shí)檢測噴淋距離，并實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)，提高噴淋的均勻度。

技術(shù)研發(fā)人員：呂耀安
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫宏納科技有限公司
文檔號碼：201610881589
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.09
技術(shù)公布日：2017.02.22