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一種微流控芯片的簡易快捷鍵合方法與流程

文檔序號:12147538閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種微流控芯片的簡易快捷鍵合方法,使用保護(hù)膜封蓋帶有開放式微通道或微腔體結(jié)構(gòu)的基片,形成完整封閉的微流控芯片,所述微流控芯片包括具有可重組裝特點(diǎn)的可逆鍵合型微流控芯片或具有高鍵合強(qiáng)度特點(diǎn)的不可逆鍵合型微流控芯片。本方法不受微流控芯片基質(zhì)材料限制,適用于多種材質(zhì)的微流控芯片制作,也無需超凈環(huán)境和熱壓機(jī)、高溫退火爐、陽極鍵合機(jī)、等離子清洗機(jī)、紫外臭氧清洗劑等輔助設(shè)備,同時(shí)避免了鍵合過程中微結(jié)構(gòu)變形和微通道堵塞等問題,簡化了微流控芯片鍵合的工藝流程、縮短了芯片生產(chǎn)時(shí)間、提高了微流控芯片鍵合的成品率,有利于促進(jìn)微流控芯片批量化生產(chǎn)制備和應(yīng)用普及。

技術(shù)研發(fā)人員:李剛;庫曉永;莊貴生
受保護(hù)的技術(shù)使用者:重慶大學(xué)
文檔號碼:201611063735
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.28
技術(shù)公布日:2017.03.08

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