本實用新型涉及太陽電池片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域中的堿槽噴淋裝置，尤其涉及一種匹配鏈式擴散的刻蝕堿槽噴淋裝置。

背景技術(shù)：

太陽能電池片制造經(jīng)過擴散形成PN結(jié)后，需要通過刻蝕工序腐蝕硅片側(cè)面邊緣，防止邊緣導通漏電。擴散完的硅片通過刻蝕槽后，一般還需要經(jīng)過堿槽來去除表面形成的酥松的多孔硅結(jié)構(gòu)，保證鍍膜和背面鋁漿的燒結(jié)效果，減少色斑及漏電。

現(xiàn)在擴散技術(shù)有管式和鏈式兩種，其中鏈式擴散對比管式擴散，由于產(chǎn)能低，在磷源非常過量的情況下進行擴散，導致表面方阻低，且復合嚴重，需要通過手段將表面的一層非激活磷含量很高的硅去除，現(xiàn)有技術(shù)中通常采用堿腐蝕的手段提升方阻。

但是目前普通的堿噴淋裝置容易發(fā)生管道堵塞，并且無法解決不同軌道需要提升的方阻不一致的問題。

因此，亟待解決上述問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

實用新型目的：本實用新型的目的是提供一種可獨立控制堿液腐蝕每一道硅片時間，且實現(xiàn)不同軌道提升的方阻不一致的匹配鏈式擴散的刻蝕堿槽噴淋裝置。

技術(shù)方案：為實現(xiàn)以上目的，本實用新型所述的一種匹配鏈式擴散的刻蝕堿槽噴淋裝置，包括至少兩道平行設(shè)置的支架導軌，且兩個相鄰支架導軌構(gòu)成一用于腐蝕硅片的獨立堿道，該相鄰支架導軌上設(shè)有至少一個可沿支架導軌來回移動的用于均勻?qū)Я鲏A液的導流裝置，該導流裝置上設(shè)有進液口，且所述導流裝置的內(nèi)部均布有若干個與進液口相連通的流通管道，堿液由進液口流入導流裝置內(nèi)順著流通管道均勻滴落。該噴淋裝置取消了現(xiàn)有堿槽中的管道滴孔設(shè)計，采用導流裝置將滴液滴在硅片PN結(jié)表面，杜絕堿刀堵塞，從而避免硅片局部無法提升方阻和電池片效率低下等異?，F(xiàn)象；其次該噴淋裝置中通過控制每一獨立堿道上的導流裝置的位置、進液以及設(shè)置多組導流裝置來實現(xiàn)獨立控制每一堿道上的堿液腐蝕硅片的反應時間。

其中，所述導流裝置包括上下設(shè)置的進液板和導流板，該導流板和進液板之間榫卯連接。

優(yōu)選的，所述進液口位于進液板的上表面，該進液板的下表面開挖有用于容納液滴的空腔，該空腔內(nèi)均布有若干個與進液口相連通的進液凹槽。

再者，所述導流板的兩側(cè)面分別均布有若干個與進液凹槽相連通的導流柱，該導流板的底面均布有若干導流圓錐；堿液經(jīng)由進液凹槽流至導流柱上，順著導流柱匯至導流圓錐上并滴落。該噴淋裝置通過利用進液板配合導流板中均布的導流柱和導流圓錐有效避免了兩束堿液由于趨附而合并為一束堿液的情況，使其滴液經(jīng)由導流板均勻的滴落在硅片表面，且均勻腐蝕硅片。

進一步，所述支架導軌上沿其長度方向均布有若干個用于連接導流裝置的卡槽，同時所述導流裝置的兩端具有與卡槽相適配的連接端，該連接端的截面形狀與卡槽的截面形狀相一致。

工作原理：在鏈式擴散刻蝕工序中，堿液接觸硅片表面接觸的時間長短是至關(guān)重要的，而堿液對表面的沖擊并不重要，所以本實用新型利用進液板和導流板相結(jié)合的滴液方式代替現(xiàn)有技術(shù)中采用管孔堿液流沖刷的方式，通過調(diào)整導流板位置、供液或多組導流板來控制反應時間，利用導流板結(jié)構(gòu)代替孔洞結(jié)構(gòu)避免了堿刀堵塞和堿液流合并等現(xiàn)象。

有益效果：與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點：首先該噴淋裝置取消了現(xiàn)有堿槽中的管道滴孔設(shè)計，采用導流裝置將滴液滴在硅片PN結(jié)表面，杜絕堿刀堵塞，從而避免硅片局部無法提升方阻和電池片效率低下等異?，F(xiàn)象；其次該噴淋裝置中通過控制每一獨立堿道上的導流裝置的位置、進液以及設(shè)置多組導流裝置來實現(xiàn)獨立控制每一堿道上的堿液腐蝕硅片的反應時間；再者該噴淋裝置通過利用進液板配合導流板中均布的導流柱和導流圓錐有效避免了兩束堿液由于趨附而合并為一束堿液的情況，使其滴液經(jīng)由導流板均勻的滴落在硅片表面，且均勻腐蝕硅片；最后該噴淋裝置與原機臺兼容性高，更換簡易、體積小、結(jié)構(gòu)強度高，更耐用且清洗方便。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的爆炸示意圖；

圖3為本實用新型中導流裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型中導流裝置的剖面示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型的技術(shù)方案作進一步說明。

如圖1和圖2所示，本實用新型一種匹配鏈式擴散的刻蝕堿槽噴淋裝置，包括支架導軌1和導軌裝置2。該噴淋裝置內(nèi)至少平行設(shè)置兩道支架導軌1，且兩相鄰支架導軌1構(gòu)成一用于腐蝕硅片的獨立堿道，優(yōu)選的可設(shè)置6道相互平行的支架導軌1，則相應構(gòu)成5道獨立堿道。每一獨立堿道內(nèi)設(shè)有至少一個可沿支架導軌1來回移動的用于均勻?qū)Я鲏A液的導流裝置2，該導流裝置2上設(shè)有進液口3，且導流裝置2的內(nèi)部均布有若干個與進液口相連通的流通管道，堿液由進液口3流入導流裝置內(nèi)順著流通管道均勻滴落。該噴淋裝置取消了現(xiàn)有堿槽中的管道滴孔設(shè)計，采用導流裝置將滴液滴在硅片PN結(jié)表面，杜絕堿刀堵塞，從而避免硅片局部無法提升方阻和電池片效率低下等異?，F(xiàn)象；其次該噴淋裝置中通過控制每一獨立堿道上的導流裝置的位置、進液量、進液速度以及設(shè)置多組導流裝置來實現(xiàn)獨立控制每一堿道上的堿液腐蝕硅片的反應時間。

如圖3和圖4所示，上述導流裝置2包括上下設(shè)置的進液板4和導流板5，該導流板5和進液板4之間榫卯連接；具體的即在進液板的下表面兩端設(shè)置兩連接凸塊12，并在導流板上表面的對應位置設(shè)有與連接凸塊12相適配的連接凹槽13，連接凸塊12卡合在連接凹槽13內(nèi)實現(xiàn)進液板4和導流板5的連接。該實用新型的進液口3設(shè)于進液板4的上表面，該進液板4的下表面開挖有用于容納液滴的空腔6，該空腔6內(nèi)均布有若干個與進液口相連通的進液凹槽7。堿液由進液口3流入進液板4后經(jīng)由若干個進液凹槽7流至導流板5上。上述導流板5的兩側(cè)面分別均布有若干個與進液凹槽7相連通的導流柱8，該導流板5的底面均布有若干導流圓錐9；堿液經(jīng)由進液凹槽7流至導流柱8上，順著導流柱8匯至導流圓錐9上并滴落。導流圓錐9的結(jié)構(gòu)設(shè)計可有效避免現(xiàn)有設(shè)計中管孔滴落中因管孔歪斜導致的水流合并以及小孔堵塞等問題。該噴淋裝置通過利用進液板配合導流板中均布的導流柱和導流圓錐有效避免了兩束堿液由于趨附而合并為一束堿液的情況，使其滴液經(jīng)由導流板均勻的滴落在硅片表面，且均勻腐蝕硅片。

該噴淋裝置中支架導軌1上沿其長度方向均布有若干個用于連接導流裝置的卡槽10，同時所述導流裝置2的兩端具有與卡槽相適配的連接端11，該連接端11的截面形狀與卡槽10的截面形狀相一致。具體的截面形狀可以梯形、三角型、弧形或半圓形等。均布于支架導軌1兩側(cè)面的卡槽可一一錯位設(shè)置，可最大化節(jié)約成本。

工作原理：在鏈式擴散刻蝕工序中，堿液接觸硅片表面接觸的時間長短是至關(guān)重要的，而堿液對表面的沖擊并不重要，所以本實用新型利用進液板和導流板相結(jié)合的滴液方式代替現(xiàn)有技術(shù)中采用管孔堿液流沖刷的方式，通過調(diào)整導流板位置、供液或多組導流板來控制反應時間，利用導流板結(jié)構(gòu)代替孔洞結(jié)構(gòu)避免了堿刀堵塞和堿液流合并等現(xiàn)象。