技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種匹配鏈式擴散的刻蝕堿槽噴淋裝置，包括至少兩道平行設(shè)置的支架導(dǎo)軌，且兩相鄰支架導(dǎo)軌構(gòu)成一用于腐蝕硅片的獨立堿道，該相鄰支架導(dǎo)軌上設(shè)有至少一個可沿支架導(dǎo)軌來回移動的用于均勻?qū)Я鲏A液的導(dǎo)流裝置，該導(dǎo)流裝置上設(shè)有進液口，且所述導(dǎo)流裝置的內(nèi)部均布有若干個與進液口相連通的流通管道，堿液由進液口流入導(dǎo)流裝置內(nèi)順著流通管道均勻滴落。該噴淋裝置取消了現(xiàn)有堿槽中的管道滴孔設(shè)計，采用導(dǎo)流裝置將滴液滴在硅片PN結(jié)表面，杜絕堿刀堵塞，從而避免硅片局部無法提升方阻和電池片效率低下等異常現(xiàn)象。

技術(shù)研發(fā)人員：潘浩
受保護的技術(shù)使用者：無錫德鑫太陽能電力有限公司
文檔號碼：201720154745
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.21
技術(shù)公布日：2017.11.07