本發(fā)明涉及硅烷、乙硅烷和低溫精餾生產(chǎn)，具體為一種適用于硅烷精餾氮氣回收工藝。

背景技術：

1、以小松法(硅鎂法)生產(chǎn)硅烷氣，需要硅鎂合金在水溶液、醇類和液氨介質(zhì)中，能被無機酸和鹵化銨分解產(chǎn)生硅烷，在制備反應原料硅鎂合金時，由于粗硅中含有p、as、c、b等非金屬雜質(zhì)，這些雜質(zhì)會與鎂形成鎂化物，這些化合物會在產(chǎn)生硅烷時形成揮發(fā)性的氫化物，如：ph3、as2h6、ch4、bh3等等，由于現(xiàn)有的吸附、過濾工藝對于這些小分子雜質(zhì)無法全部去除，需要結(jié)合精餾操作配合進行去除雜質(zhì)，而常壓硅烷的沸點較低(-112℃)，在采用常壓精餾的方式時，需要大量的冷量將硅烷冷凝至液相進行換熱，去除雜質(zhì)；因此采用液氮作為換熱器冷媒。

2、但實際在生產(chǎn)過程中需要大量的液氮進行降溫，導致大量的氣化后的氮氣浪費排放，由于氮氣的排放浪費，氮氣在被排放后想要對其進行收集，需要對其進行過濾，以防止資源浪費，但在過濾一段時間后需要對濾網(wǎng)進行取下清潔和更換，但由于人工的更換費時費力，不緊產(chǎn)生人力成本，還影響了對氮氣的收集效率。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是提供一種適用于硅烷精餾氮氣回收工藝，以解決上述現(xiàn)有技術中的不足之處。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術方案：

3、s1、將硅烷精餾塔的精餾尾氮各自的排放管線，匯總在一條排放總管上；

4、s2、使用空溫式換熱器將總管上的排放氮氣，升溫至室溫(20～30℃)，通入兩個進氣緩沖罐，保證氮氣排放穩(wěn)定，保護后端氮氣壓縮機；

5、s3、通過氮氣壓縮機將回收氮氣，進行加壓至0.6～0.8mpag，進入過濾器，去除回收氮氣中水分和顆粒雜質(zhì)；

6、s4、再通過露點和氧含量在線檢測，回收氮氣品質(zhì)達到設定至后，進入吹掃用氣緩沖罐，再進入氮氣罐，并入全廠工藝氮氣管網(wǎng)中；

7、所述過濾器內(nèi)設置有過濾結(jié)構(gòu)，包括安裝架，安裝架上設置有氣缸，所述安裝架上還設置有滑動腔，所述氣缸輸出端滑動連接在所述滑動腔內(nèi)，所述氣缸輸出端設置有兩個限位塊，所述氣缸輸出端上滑動連接有一個連接件，所述連接件位于兩個所述限位塊相互靠近位置，所述連接件下方通過一個卡接組件與一個濾芯連接；

8、所述安裝架上還設置有一個清潔組件，所述氣缸輸出端伸出時能夠帶動所述濾芯移動至所述清潔組件的待清潔區(qū)域內(nèi)，所述清潔組件能夠?qū)λ鰹V芯進行清潔；

9、所述安裝架上還設置有一個限位組件，所述限位組件能夠?qū)λ鰹V芯進行限位，且所述限位組件能夠在所述限位塊移動時解除對所述濾芯的限位；

10、所述安裝架上還設置有一個更換組件，所述氣缸輸出端收縮時能夠帶動所述濾芯移動至所述更換組件的待更換區(qū)域內(nèi)，所述更換組件能夠更換所述卡接組件所連接的濾芯。

11、進一步的，所述卡接組件包括第一固定塊，所述第一固定塊內(nèi)設置有兩個第一彈簧伸縮件，兩個所述第一彈簧伸縮件輸出端各設置有一個卡接件，兩個所述卡接件上各設置有一個連接桿，兩個所述連接桿遠離所述卡接件的一段均貫穿至所述第一固定塊外部，兩個所述連接桿位于所述第一固定塊外部的一端各設置有一個第一斜塊，所述濾芯頂部設置有第二固定塊，所述第二固定塊上開設有兩個槽口，兩個所述槽口分別與兩個卡接件位置對應，所述第二固定塊上開設有兩個卡接槽。

12、進一步的，所述清潔組件包括一端貫穿至所述安裝架內(nèi)部的氣管，所述氣管輸出端轉(zhuǎn)動連接有一個齒圈，所述齒圈與一個圓盤件連接，所述氣管通過所述齒圈與所述圓盤件內(nèi)部連通，所述圓盤件上設置有若干出氣孔，若干所述出氣孔均與所述圓盤件內(nèi)部連通，所述圓盤件上設置有若干毛刷，所述安裝架內(nèi)設置有一個扭簧，所述扭簧輸出端設置有一個第一齒輪件，所述第一齒輪件與所述齒圈嚙合。

13、進一步的，所述清潔組件還包括滑動連接在所述安裝架上的第一齒條件，所述第一齒條件與一個第二齒輪件嚙合，所述第二齒輪件轉(zhuǎn)動連接在所述安裝架上，所述第二齒輪件上設置有一個第一斜齒輪件，所述第一斜齒輪件與一個第二斜齒輪嚙合，所述第二斜齒輪設置在一個傳動軸一端，所述傳動軸轉(zhuǎn)動連接在所述安裝架上，所述傳動軸另一端設置有一個第三斜齒輪件，所述第三斜齒輪件與一個第四斜齒輪件嚙合，所述第四斜齒輪設置在一個轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接在所述安裝架上，所述轉(zhuǎn)軸上連接有兩個第一導線的一端，兩個所述第一導線的另一端分別一一對應與兩個夾持塊連接，兩個所述夾持塊相互靠近的一側(cè)各開設有一個半圓孔，兩個所述半圓孔相互對應，兩個所述夾持塊分別與四個第三彈簧伸縮件輸出端連接，四個所述第三彈簧伸縮件均固定在所述安裝架上；

14、所述安裝架上開設有放置腔，所述清潔組件還包括一端與一個所述限位塊固定連接的第二導線，所述第二導線另一端卷繞在所述扭簧輸出端，所述第二導線穿過所述放置腔，所述第二導線穿過兩個所述夾持塊之間，所述第二導線與兩個所述半圓孔位置對應，所述第二導線上固定設置有一個圓錐塊，所述清潔組件還包括一個位于所述放置腔內(nèi)的限位球，所述第二導線貫穿所述限位球。

15、進一步的，所述限位組件包括設置在所述安裝架上的四個第九彈簧伸縮件，四個所述第九彈簧伸縮件輸出端各設置有一個推動塊，四個所述推動塊輸出端均設置有斜面，四個所述推動塊均有部分位于所述滑動腔內(nèi)，四個所述推動塊上各設置有一個從動齒條件，四個從動齒條件分別一一對應與四個從動齒輪件嚙合，四個所述從動齒輪件分別一一對應與兩個從動軸兩端固定連接，兩個所述從動軸上各與兩個從動導線的一端連接，四個所述從動導線另一端分別與兩個從動環(huán)連接，兩個所述第一從動環(huán)上各設置有若干從動桿，若干所述從動桿另一端分別與兩個所述第二從動環(huán)連接，兩個所述第二從動環(huán)上設置有若干從動彈簧伸縮件，若干所述從動彈簧伸縮件分別設置在兩個套環(huán)上，兩個所述套環(huán)均設置在所述安裝架上。

16、進一步的，所述更換組件包括設置在所述安裝架上的兩個第四彈簧伸縮件，兩個所述第四彈簧伸縮件輸出端設置有一個擠壓塊，所述擠壓塊滑動在所述滑動腔內(nèi)，所述擠壓塊上設置有一個第二齒條件，所述第二齒條件與一個第三齒輪件嚙合，所述第三齒輪件連接一個卷繞軸，所述卷繞軸上連接有一個第三導線的一段，所述第三導線的另一端連接有一個第二斜塊，所述第二斜塊設置在一個第五彈簧伸縮件輸出端，所述第五彈簧伸縮件設置在所述安裝架上。

17、進一步的，所述更換組件還包括兩個導軌，兩個所述導軌內(nèi)分別一一對應滑動連接有兩個滑動桿，兩個所述滑動桿分別一一對應與一個橫桿兩端固定連接，所述橫桿上設置有兩個第六彈簧伸縮件，兩個所述第六彈簧伸縮件輸出端上各設置有一個第三斜塊，兩個所述第三斜塊分別與兩個所述卡接槽位置對應，兩個所述滑動桿分別與兩個轉(zhuǎn)動桿的一端轉(zhuǎn)動連接，兩個所述轉(zhuǎn)動桿的另一端分別與兩個轉(zhuǎn)盤件轉(zhuǎn)動連接，兩個所述轉(zhuǎn)盤件分別與一個轉(zhuǎn)動軸兩端連接，所述轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動連接在所述安裝架上，所述轉(zhuǎn)動軸上套設有一個第四齒輪件，所述第四齒輪件與一個第三齒條件嚙合，所述第三齒條件滑動連接在所述安裝架上，所述第三齒條件上開設有一個卡接口，所述卡接口與所述第二斜塊位置對應，所述第三齒條件一端設置有一個伸縮桿，所述伸縮桿滑動連接在一個伸縮套內(nèi)，所述伸縮套固定連接在所述安裝架上，所述伸縮套內(nèi)固定連接有一個彈簧件的一端，所述彈簧件另一端與所述伸縮桿固定連接；

18、兩個所述滑動桿上各設置有一個開槽，兩個所述開槽內(nèi)各設置有一個第二彈簧伸縮件，兩個所述第二彈簧伸縮件輸出端各設置有一個第四斜塊，兩個所述第四斜塊分別一一對應與兩個第一斜塊位置對應，兩個所述第四斜塊上各設置有一個導向柱，兩個所述導向柱分別一一對應滑動連接在兩個導向軌道內(nèi)，兩個所述導向軌道分別一一對應設置在兩個所述導軌上，兩個所述導向軌道內(nèi)各設置有一個第十彈簧伸縮件，兩個所述第十彈簧伸縮件輸出端各設置有一個第五斜塊。

19、進一步的，所述更換組件還包括一端設置在所述第三齒條件上的第四導線，所述第四導線貫穿所述伸縮桿和所述伸縮套，所述第四導線另一端與一個第七彈簧伸縮件連接，所述第七彈簧伸縮件設置在一個第八彈簧伸縮件輸出端，所述第八彈簧伸縮件設置在所述安裝架上，所述第七彈簧伸縮件輸出端上設置有限位柱，所述限位柱滑動連接在一個限位滑軌內(nèi)，所述限位滑軌設置在所述安裝架上，所述第七彈簧伸縮件輸出端滑動在所述滑動腔內(nèi)。

20、進一步的，包括精餾塔，所述精餾塔內(nèi)設置有若干冷凝器，若干所述冷凝器通過若干管道匯集至一個總管，所述總管連接至一個換熱器，所述換熱器與兩個進氣緩沖罐連通。

21、進一步的，兩個所述進氣緩沖罐與一個氮氣壓縮機連通，所述氮氣壓縮機輸出端與一個所述濾芯連接，所述濾芯位于一個過濾器內(nèi)，所述過濾器輸出端設置有一個吹掃用氣緩沖罐，所述吹掃用氣緩沖罐連接有一個工藝氮氣罐。

22、在上述技術方案中，本發(fā)明提供的一種適用于硅烷精餾氮氣回收工藝，通過氣缸帶動濾芯進行移動，通過限位組件的設置使得氣缸的輸出能夠解除限位組件對濾芯的限位，并在濾芯復位時快速對濾芯進行限位以供下一次使用，當濾芯在使用時過濾效果降低時，啟動氣缸帶動濾芯前往待清潔區(qū)域繼續(xù)清潔，并在清潔后將濾芯復位再次使用，使得濾芯能夠被快速清潔，此時濾芯過濾效果提升，保證過濾后氮氣純度符合標準，且清潔組件在使用后能夠快速進行復位以供下一次的使用，當濾芯在清潔后再次出現(xiàn)過濾效果降低時，此時再次進行清潔則清潔效果可能降低，啟動氣缸帶動濾芯前往待更換區(qū)域進行更換新的濾芯，之后新的濾芯復位進行使用，同時更換組件復位以進行下一次使用，通過對濾芯的快速清潔和快速更換，使得在濾芯內(nèi)雜質(zhì)過多影響氮氣純度時，能夠快速對濾芯進行清潔和更換，防止手工清潔和更換濾芯所造成的時間過長，使得對氮氣的收集效率提升。