1.一種適用于硅烷精餾氮?dú)饣厥展に?，其特征在于?/p>

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于硅烷精餾氮?dú)饣厥展に嚕涮卣髟谟?，所述卡接組件(5)包括第一固定塊(51)，所述第一固定塊(51)內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)第一彈簧伸縮件(52)，兩個(gè)所述第一彈簧伸縮件(52)輸出端各設(shè)置有一個(gè)卡接件(53)，兩個(gè)所述卡接件(53)上各設(shè)置有一個(gè)連接桿(54)，兩個(gè)所述連接桿(54)遠(yuǎn)離所述卡接件(53)的一段均貫穿至所述第一固定塊(51)外部，兩個(gè)所述連接桿(54)位于所述第一固定塊(51)外部的一端各設(shè)置有一個(gè)第一斜塊(55)，所述濾芯(6)頂部設(shè)置有第二固定塊(61)，所述第二固定塊(61)上開(kāi)設(shè)有兩個(gè)槽口(62)，兩個(gè)所述槽口(62)分別與兩個(gè)卡接件(53)位置對(duì)應(yīng)，所述第二固定塊(61)上開(kāi)設(shè)有兩個(gè)卡接槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種適用于硅烷精餾氮?dú)饣厥展に?，其特征在于，所述清潔組件(7)包括一端貫穿至所述安裝架(1)內(nèi)部的氣管(71)，所述氣管(71)輸出端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有一個(gè)齒圈(72)，所述齒圈(72)與一個(gè)圓盤(pán)件(73)連接，所述氣管(71)通過(guò)所述齒圈(72)與所述圓盤(pán)件(73)內(nèi)部連通，所述圓盤(pán)件(73)上設(shè)置有若干出氣孔，若干所述出氣孔均與所述圓盤(pán)件(73)內(nèi)部連通，所述圓盤(pán)件(73)上設(shè)置有若干毛刷，所述安裝架(1)內(nèi)設(shè)置有一個(gè)扭簧(76)，所述扭簧(76)輸出端設(shè)置有一個(gè)第一齒輪件(77)，所述第一齒輪件(77)與所述齒圈(72)嚙合。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種適用于硅烷精餾氮?dú)饣厥展に?，其特征在于，所述清潔組件(7)還包括滑動(dòng)連接在所述安裝架(1)上的第一齒條件(78)，所述第一齒條件(78)與一個(gè)第二齒輪件(79)嚙合，所述第二齒輪件(79)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述安裝架(1)上，所述第二齒輪件(79)上設(shè)置有一個(gè)第一斜齒輪件(710)，所述第一斜齒輪件(710)與一個(gè)第二斜齒輪嚙合，所述第二斜齒輪設(shè)置在一個(gè)傳動(dòng)軸(712)一端，所述傳動(dòng)軸(712)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述安裝架(1)上，所述傳動(dòng)軸(712)另一端設(shè)置有一個(gè)第三斜齒輪件(713)，所述第三斜齒輪件(713)與一個(gè)第四斜齒輪件(714)嚙合，所述第四斜齒輪設(shè)置在一個(gè)轉(zhuǎn)軸(715)，所述轉(zhuǎn)軸(715)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述安裝架(1)上，所述轉(zhuǎn)軸(715)上連接有兩個(gè)第一導(dǎo)線(xiàn)(716)的一端，兩個(gè)所述第一導(dǎo)線(xiàn)(716)的另一端分別一一對(duì)應(yīng)與兩個(gè)夾持塊(717)連接，兩個(gè)所述夾持塊(717)相互靠近的一側(cè)各開(kāi)設(shè)有一個(gè)半圓孔(718)，兩個(gè)所述半圓孔(718)相互對(duì)應(yīng)，兩個(gè)所述夾持塊(717)分別與四個(gè)第三彈簧伸縮件(719)輸出端連接，四個(gè)所述第三彈簧伸縮件(719)均固定在所述安裝架(1)上；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種適用于硅烷精餾氮?dú)饣厥展に?，其特征在于，所述限位組件(8)包括設(shè)置在所述安裝架(1)上的四個(gè)第九彈簧伸縮件(81)，四個(gè)所述第九彈簧伸縮件(81)輸出端各設(shè)置有一個(gè)推動(dòng)塊(82)，四個(gè)所述推動(dòng)塊(82)輸出端均設(shè)置有斜面，四個(gè)所述推動(dòng)塊(82)均有部分位于所述滑動(dòng)腔內(nèi)，四個(gè)所述推動(dòng)塊(82)上各設(shè)置有一個(gè)從動(dòng)齒條(83)件，四個(gè)從動(dòng)齒條(83)件分別一一對(duì)應(yīng)與四個(gè)從動(dòng)齒輪(84)件嚙合，四個(gè)所述從動(dòng)齒輪(84)件分別一一對(duì)應(yīng)與兩個(gè)從動(dòng)軸(85)兩端固定連接，兩個(gè)所述從動(dòng)軸(85)上各與兩個(gè)從動(dòng)導(dǎo)線(xiàn)(86)的一端連接，四個(gè)所述從動(dòng)導(dǎo)線(xiàn)(86)另一端分別與兩個(gè)從動(dòng)環(huán)連接，兩個(gè)所述第一從動(dòng)環(huán)(87)上各設(shè)置有若干從動(dòng)桿(88)，若干所述從動(dòng)桿(88)另一端分別與兩個(gè)所述第二從動(dòng)環(huán)(89)連接，兩個(gè)所述第二從動(dòng)環(huán)(89)上設(shè)置有若干從動(dòng)彈簧伸縮件(810)，若干所述從動(dòng)彈簧伸縮件(810)分別設(shè)置在兩個(gè)套環(huán)(811)上，兩個(gè)所述套環(huán)(811)均設(shè)置在所述安裝架(1)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種適用于硅烷精餾氮?dú)饣厥展に?，其特征在于，所述更換組件(9)包括設(shè)置在所述安裝架(1)上的兩個(gè)第四彈簧伸縮件(91)，兩個(gè)所述第四彈簧伸縮件(91)輸出端設(shè)置有一個(gè)擠壓塊(92)，所述擠壓塊(92)滑動(dòng)在所述滑動(dòng)腔內(nèi)，所述擠壓塊(92)上設(shè)置有一個(gè)第二齒條件(93)，所述第二齒條件(93)與一個(gè)第三齒輪件(94)嚙合，所述第三齒輪件(94)連接一個(gè)卷繞軸(95)，所述卷繞軸(95)上連接有一個(gè)第三導(dǎo)線(xiàn)(96)的一段，所述第三導(dǎo)線(xiàn)(96)的另一端連接有一個(gè)第二斜塊(97)，所述第二斜塊(97)設(shè)置在一個(gè)第五彈簧伸縮件(98)輸出端，所述第五彈簧伸縮件(98)設(shè)置在所述安裝架(1)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種適用于硅烷精餾氮?dú)饣厥展に?，其特征在于，所述更換組件(9)還包括兩個(gè)導(dǎo)軌(99)，兩個(gè)所述導(dǎo)軌(99)內(nèi)分別一一對(duì)應(yīng)滑動(dòng)連接有兩個(gè)滑動(dòng)桿(910)，兩個(gè)所述滑動(dòng)桿(910)分別一一對(duì)應(yīng)與一個(gè)橫桿(911)兩端固定連接，所述橫桿(911)上設(shè)置有兩個(gè)第六彈簧伸縮件(912)，兩個(gè)所述第六彈簧伸縮件(912)輸出端上各設(shè)置有一個(gè)第三斜塊(913)，兩個(gè)所述第三斜塊(913)分別與兩個(gè)所述卡接槽位置對(duì)應(yīng)，兩個(gè)所述滑動(dòng)桿(910)分別與兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)桿(914)的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(914)的另一端分別與兩個(gè)轉(zhuǎn)盤(pán)件(915)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)盤(pán)件(915)分別與一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸(916)兩端連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸(916)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述安裝架(1)上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸(916)上套設(shè)有一個(gè)第四齒輪件(917)，所述第四齒輪件(917)與一個(gè)第三齒條件(918)嚙合，所述第三齒條件(918)滑動(dòng)連接在所述安裝架(1)上，所述第三齒條件(918)上開(kāi)設(shè)有一個(gè)卡接口，所述卡接口與所述第二斜塊(97)位置對(duì)應(yīng)，所述第三齒條件(918)一端設(shè)置有一個(gè)伸縮桿(919)，所述伸縮桿(919)滑動(dòng)連接在一個(gè)伸縮套(920)內(nèi)，所述伸縮套(920)固定連接在所述安裝架(1)上，所述伸縮套(920)內(nèi)固定連接有一個(gè)彈簧件(921)的一端，所述彈簧件(921)另一端與所述伸縮桿(919)固定連接；

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種適用于硅烷精餾氮?dú)饣厥展に?，其特征在于，所述更換組件(9)還包括一端設(shè)置在所述第三齒條件(918)上的第四導(dǎo)線(xiàn)(922)，所述第四導(dǎo)線(xiàn)(922)貫穿所述伸縮桿(919)和所述伸縮套(920)，所述第四導(dǎo)線(xiàn)(922)另一端與一個(gè)第七彈簧伸縮件(923)連接，所述第七彈簧伸縮件(923)設(shè)置在一個(gè)第八彈簧伸縮件(924)輸出端，所述第八彈簧伸縮件(924)設(shè)置在所述安裝架(1)上，所述第七彈簧伸縮件(923)輸出端上設(shè)置有限位柱(925)，所述限位柱(925)滑動(dòng)連接在一個(gè)限位滑軌(926)內(nèi)，所述限位滑軌(926)設(shè)置在所述安裝架(1)上，所述第七彈簧伸縮件(923)輸出端滑動(dòng)在所述滑動(dòng)腔內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種適用于硅烷精餾氮?dú)饣厥展に?，其特征在于，包括精餾塔，所述精餾塔內(nèi)設(shè)置有若干冷凝器，若干所述冷凝器通過(guò)若干管道匯集至一個(gè)總管，所述總管連接至一個(gè)換熱器，所述換熱器與兩個(gè)進(jìn)氣緩沖罐連通。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種適用于硅烷精餾氮?dú)饣厥展に嚕涮卣髟谟?，兩個(gè)所述進(jìn)氣緩沖罐與一個(gè)氮?dú)鈮嚎s機(jī)連通，所述氮?dú)鈮嚎s機(jī)輸出端與一個(gè)所述濾芯(6)連接，所述濾芯(6)位于一個(gè)過(guò)濾器內(nèi)，所述過(guò)濾器輸出端設(shè)置有吹掃用氣緩沖罐，所述吹掃用氣緩沖罐連接有一個(gè)工藝氮?dú)夤蕖?/p>
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種適用于硅烷精餾氮?dú)饣厥展に?，涉及硅烷、乙硅烷和低溫精餾生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，通過(guò)限位組件的設(shè)置使得氣缸的輸出能夠解除限位組件對(duì)濾芯的限位，并在濾芯復(fù)位時(shí)快速對(duì)濾芯進(jìn)行限位以供下一次使用，當(dāng)濾芯在使用時(shí)過(guò)濾效果降低時(shí)，啟動(dòng)氣缸帶動(dòng)濾芯前往待清潔區(qū)域繼續(xù)清潔，并在清潔后將濾芯復(fù)位再次使用，使得濾芯能夠被快速清潔，保證過(guò)濾后氮?dú)饧兌确蠘?biāo)準(zhǔn)，且清潔組件在使用后能夠快速進(jìn)行復(fù)位以供下一次的使用，當(dāng)濾芯在清潔后再次出現(xiàn)過(guò)濾效果降低時(shí)，此時(shí)再次進(jìn)行清潔則清潔效果可能降低，啟動(dòng)氣缸帶動(dòng)濾芯前往待更換區(qū)域進(jìn)行更換新的濾芯，之后新的濾芯復(fù)位進(jìn)行使用，同時(shí)更換組件復(fù)位以進(jìn)行下一次使用。

技術(shù)研發(fā)人員：鄒來(lái)飛,卓兆甫,魏入鐸,沈慶,張佳樂(lè),楊飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：全椒亞格泰電子新材料科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2