涂布器、涂布裝置和涂布方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于從噴出縫噴出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜的涂布器、利用該涂布器在被涂布部件上形成涂布膜的涂布裝置、以及利用該涂布器在被涂布部件上形成涂布膜的涂布方法。
【背景技術(shù)】
[0002]作為在玻璃基板或膠片等被涂布部件上涂布涂布液而形成涂布膜的裝置公知具有涂布器的涂布裝置，其中該涂布器具有用于噴出涂布液的噴出縫。涂布器具有:供給涂布液的供給口 ；與供給口連接且在寬度方向上擴(kuò)寬涂布液的歧管；以及噴出涂布液的噴出縫。從供給口流入歧管的涂布液在歧管的寬度方向上擴(kuò)寬，成為在歧管內(nèi)暫時(shí)積存的狀態(tài)，然后通過(guò)噴出縫噴出到被涂布部件。由此，由于涂布液遍及噴出縫的整個(gè)寬度均勻地噴出，因此能夠形成均勻的膜厚的涂布膜。
[0003]通常，由于供給口設(shè)置在歧管的中央部，因此從供給口流入歧管的涂布液在歧管的寬度方向上未被完全地?cái)U(kuò)寬，噴出縫的中央部的噴出量相比端部會(huì)增加，其結(jié)果為，存在如下問(wèn)題:會(huì)形成寬度方向的中央部的膜厚變厚的涂布膜。
[0004]為了解決該問(wèn)題，提出了如下的涂布器:在涂布器中設(shè)置上下2段歧管，并通過(guò)連結(jié)縫將這些歧管之間連接(專利文獻(xiàn)1等)。根據(jù)該涂布器，在上段歧管中沿寬度方向擴(kuò)寬的涂布液進(jìn)一步在下段歧管中沿寬度方向擴(kuò)寬，由此從噴出縫噴出的涂布液遍及噴出縫的整個(gè)寬度更均勻化。由此，能夠形成寬度方向的膜厚均勻的涂布膜。
[0005]但是，在對(duì)涂布器填充涂布液時(shí)，有時(shí)在涂布器內(nèi)的歧管中殘留有氣泡(空氣)。并且，在涂布過(guò)程中，有時(shí)溶解在涂布液中的氣泡在涂布器內(nèi)發(fā)泡，或者當(dāng)對(duì)用于向涂布器供給涂布液的閥進(jìn)行開(kāi)閉時(shí)會(huì)混入氣泡，或者從噴出縫的末端吸入氣泡。
[0006]這樣，當(dāng)在涂布器內(nèi)存在氣泡時(shí)，在涂布開(kāi)始時(shí)，涂布?jí)毫Φ膫鞑ギa(chǎn)生延遲，從而涂布開(kāi)始部分的膜厚變薄，或者將氣泡噴出到被涂布部件，由此產(chǎn)生如下問(wèn)題:在涂布膜中產(chǎn)生針孔狀的涂布缺陷，或者混入到噴出縫的氣泡截?cái)嗤坎家旱牧鲃?dòng)，而在涂布膜上產(chǎn)生縱向條痕等涂布缺陷。
[0007]為了解決這種問(wèn)題，在歧管中設(shè)置用于排出氣泡的排出口，定期地將積存在涂布器內(nèi)的歧管中的氣泡排出到外部(專利文獻(xiàn)2等)。
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2013-176736號(hào)公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2006-212592號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]認(rèn)為能夠通過(guò)如下這樣的機(jī)構(gòu)將積存在涂布器內(nèi)的歧管中的氣泡從排出口排出到外部。
[0011]當(dāng)從設(shè)置于歧管的中央部的供給口對(duì)歧管內(nèi)供給涂布液時(shí)，涂布液沿著寬度方向在歧管內(nèi)流動(dòng)。此時(shí)，積存在歧管中的氣泡因涂布液的流動(dòng)而被擠出到設(shè)置于歧管的寬度方向兩端部的排出口。由此，將積存在歧管中的氣泡從排出口排出到外部。
[0012]在為了形成寬度方向的膜厚均勻的涂布膜而使歧管采用上下2段的結(jié)構(gòu)的涂布器中，涂布液的供給口設(shè)置于上段歧管。因此，從設(shè)置于上段歧管的供給口進(jìn)行涂布液向涂布器的供給。
[0013]供給到上段歧管的涂布液沿著寬度方向在歧管內(nèi)流動(dòng)，從而積存在歧管中的氣泡被擠出到設(shè)置于寬度方向兩端部的排出口，并通過(guò)排出口排出到外部。
[0014]涂布液通過(guò)連結(jié)縫從上段歧管流入下段歧管，積存在下段歧管中的氣泡被該流入的涂布液擠出而排出到外部。
[0015]然而，由于流入下段歧管的涂布液是從連結(jié)縫的整個(gè)寬度供給的，因此沿著歧管的寬度方向的流動(dòng)變?nèi)?。因此，將積存在下段歧管中的氣泡排出會(huì)花費(fèi)時(shí)間，其結(jié)果為，存在涂布器整體的氣泡的排出時(shí)間變長(zhǎng)這樣的問(wèn)題。
[0016]本發(fā)明是鑒于上述課題而完成的，其主要目的在于提供一種涂布器，雖然是具有多個(gè)歧管的涂布器，也能夠迅速地將積存在涂布器內(nèi)的氣泡排出到外部。
[0017]本發(fā)明的涂布器具有:第1供給口，其供給涂布液；第1歧管，其與第1供給口連接；噴出縫，其噴出涂布液；第2歧管，其與噴出縫連接；以及連結(jié)節(jié)流流路，其連結(jié)第1歧管和第2歧管，涂布器的特征在于，第1歧管連接有將積存在該第1歧管內(nèi)的氣泡排出到外部的第1排出口，第2歧管連接有供給涂布液的第2供給口和將積存在第2歧管內(nèi)的氣泡排出到外部的第2排出口。
[0018]本發(fā)明的涂布裝置的特征在于，具有:保持單元，其保持被涂布部件；上述涂布器，其向被涂布部件噴出涂布液；積液部，其積存涂布液；送液?jiǎn)卧鋵⒃摲e液部的涂布液輸送給涂布器；以及驅(qū)動(dòng)單元，其使保持單元上的被涂布部件與涂布器中的至少一方相對(duì)于另一方相對(duì)移動(dòng)。
[0019]本發(fā)明的涂布方法是從上述涂布器噴出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜的涂布方法，其特征在于，涂布方法包含如下的工序:第1工序，將積存在設(shè)置于涂布器內(nèi)的所有的歧管內(nèi)的氣泡排出到外部；以及第2工序，在第1工序之后，從涂布器的噴出縫噴出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜，在第1工序中，積存在第1歧管內(nèi)的氣泡借助從第1供給口朝向第1排出口流動(dòng)的涂布液而從第1排出口排出到外部，積存在第2歧管內(nèi)的氣泡借助從第2供給口朝向第2排出口流動(dòng)的涂布液而從第2排出口排出到外部，在第2工序中，停止從設(shè)置于第2歧管的第2供給口進(jìn)行的涂布液的供給。
[0020]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種涂布器，雖然是具有多個(gè)歧管的涂布器，也能夠?qū)⒎e存在涂布器內(nèi)的各個(gè)歧管中的氣泡可靠且迅速地排出到外部，由此形成均勻且不存在涂布缺陷的涂布膜。
【附圖說(shuō)明】
[0021]圖1的(a)、(b)是示意性示出本發(fā)明的一實(shí)施方式的涂布器的結(jié)構(gòu)的圖。
[0022]圖2的(a)?(d)是示出最初填充涂布液時(shí)的、排出氣泡的機(jī)構(gòu)的縱剖視圖。
[0023]圖3是示出當(dāng)在被涂布部件上形成涂布膜時(shí)，繼續(xù)從第2供給口供給涂布液的情況的狀態(tài)的圖。
[0024]圖4的(a)、(b)是示出本發(fā)明的另一實(shí)施方式的在被涂布部件上形成涂布膜的涂布方法的縱剖視圖。
[0025]圖5的(a)、(b)是示出本發(fā)明的另一實(shí)施方式的在被涂布部件上形成涂布膜的涂布裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
[0026]圖6是示出本發(fā)明的另一實(shí)施方式的涂布器的結(jié)構(gòu)的圖。
[0027]圖7的(a)、(b)是示出連結(jié)節(jié)流流路的變形例的圖。
[0028]標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0029]1:涂布裝置；2:載臺(tái)；3:驅(qū)動(dòng)裝置；4:配管；5:栗；6:容器；10:涂布器；11:上段歧管(第1歧管)；12:下段歧管(第2歧管)；21:連結(jié)節(jié)流流路；22:噴出縫；31:第1供給口 ；32:第2供給口 ；33:第1供給閥；34:第2供給閥；35:配管；36、37:貫通孔；38:涂布液供給控制單元；41:第1排出口 ；42:第2排出口 ；43:第1排出閥；44:第2排出閥；45、46:貫通孔；47、48:配管；49:氣泡排出控制單元；50:氣泡；60:傾斜面。
【具體實(shí)施方式】
[0030]以下，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。另外，本發(fā)明不限于以下的實(shí)施方式。并且，在不脫離實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的效果范圍的范圍中，可以適當(dāng)變更。
[0031]圖1的(a)、(b)是示意性示出本發(fā)明的一實(shí)施方式的涂布器的結(jié)構(gòu)的圖，圖1的(a)是橫剖視圖，圖1的(b)是縱剖視圖。
[0032]如圖1的(a)、(b)所示，本實(shí)施方式中的涂布器10具有供給涂布液的第1供給口31